Газочувствительные и светочувствительные варикапы для датчиков
Получены варикапы на основе оксидов редкоземельных и многовалентных металлов, чувствительные к газам и свету. The gas-sensitive and radiation-sensitive varicaps on the base of oxides of multicurrency and rareearth metals have been described. Varicaps have been obtained by oxidation of metals films o...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2000 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2000
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70945 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Газочувствительные и светочувствительные варикапы для датчиков / О.Н. Негоденко, И.Г. Ищенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 4. — С. 38-39. — Бібліогр.: 1 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859695596576702464 |
|---|---|
| author | Негоденко, О.Н. Ищенко, И.Г. |
| author_facet | Негоденко, О.Н. Ищенко, И.Г. |
| citation_txt | Газочувствительные и светочувствительные варикапы для датчиков / О.Н. Негоденко, И.Г. Ищенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 4. — С. 38-39. — Бібліогр.: 1 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Получены варикапы на основе оксидов редкоземельных и многовалентных металлов, чувствительные к газам и свету.
The gas-sensitive and radiation-sensitive varicaps on the base of oxides of multicurrency and rareearth metals have been described. Varicaps have been obtained by oxidation of metals films on silicon surface with formation of p i n-structure in oxide. The varicaps characteristics in relation from action of ammonia aqueous solution vapours, smoke, wet air and light have been illustrated. Insertion of varicap in schematic diagram of negatron analog allows to obtain gas-sensitive sensor with frequency output.
|
| first_indexed | 2025-12-01T00:56:35Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 4
38
ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÛ ÄËß ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
Ïîëó÷åíû âàðèêàïû íà îñíîâå îêñèäîâ
ðåäêîçåìåëüíûõ è ìíîãîâàëåíòíûõ ìå-
òàëëîâ, ÷óâñòâèòåëüíûå ê ãàçàì è
ñâåòó.
Ñ öåëüþ ïîëó÷åíèÿ ãàçî- è ñâåòî÷óâñòâèòåëü-
íûõ äàò÷èêîâ èçãîòîâëåíû è èññëåäîâàíû âàðèêàïû
íà îñíîâå îêñèäîâ ðåäêîçåìåëüíûõ è ìíîãîâàëåíò-
íûõ ìåòàëëîâ.
Îêñèäû ïîëó÷àëèñü íàïûëåíèåì Er, Eu, Dy, Gd, V,
Sm, Si, Ho, V�Ho, V�Eu, V�Nd, V�Dy, V�Sm, V�Er,
V�Cu íà êðåìíèé ÊÝÔ 5 ñîîòâåòñòâóþùèõ ýëåìåí-
òîâ ñ ïîñëåäóþùèì èõ îêèñëåíèåì ïîä äåéñòâèåì
èçëó÷åíèÿ îò ãàëîãåííûõ ëàìï â óñëîâèÿõ óëüòðà-
ôèîëåòîâîãî èçëó÷åíèÿ (400°Ñ, 10 ñ). Êîíñòðóêöèÿ
âàðèêàïà ïîêàçàíà íà ðèñ. 1.
Ïîëó÷åííûå îêñèäû èìåþò p�i�n-ñòðóêòóðó, ïî-
ýòîìó ñ óâåëè÷åíèåì íàïðÿæåíèÿ ñìåùåíèÿ (Uñì)
åìêîñòü (Ñâ) óìåíüøàåòñÿ (ðèñ. 2). Âàðèêàï íà îñ-
íîâå îêñèäà Eu èìåë ìàêñèìàëüíûé êîýôôèöèåíò
ïåðåêðûòèÿ ïî åìêîñòè (ÊÑ=20 ïðè |Uñì| ≤ 40 Â).
Âûñîêèé êîýôôèöèåíò ïåðåêðûòèÿ ïî åìêîñòè íà-
áëþäàåòñÿ òàêæå ó âàðèêàïîâ íà îñíîâå îêñèäà Sm
(ÊÑ =5 ïðè |Uñì | ≤ 20 Â), îêñèäîâ V�Er (ÊÑ =3,3 ïðè
|Uñì| ≤ 30 Â), îêñèäîâ V�Dy è V�Sm (ÊÑ =4,3 ïðè
|Uñì| ≤ 10 Â). Ó âàðèêàïîâ íà îñíîâå äðóãèõ îêñè-
äîâ ÊÑ≤2,5.
 ýêñïåðèìåíòàõ â êàìåðó åìêîñòüþ 1,5 ë ñ âà-
ðèêàïàìè ââîäèëèñü âîäíûé ðàñòâîð àììèàêà, èçî-
ïðîïèëîâûé ñïèðò â îáúåìå 0,5 ìë, äëÿ ñîçäàíèÿ
äûìà ïîìåùàëàñü òëåþùàÿ âàòà (îáúåì 0,5 ñì3),
îòíîñèòåëüíàÿ âëàæíîñòü âîçäóõà â êàìåðå óâåëè-
÷èâàëàñü îò 60 äî 98% ïóòåì ïðîêà÷êè âîçäóõà ñ
îòíîñèòåëüíîé âëàæíîñòüþ 98%.
Åìêîñòü íåêîòîðûõ âàðèêàïîâ óâåëè÷èâàëàñü ïîä
äåéñòâèåì ïàðîâ âîäíîãî ðàñòâîðà àììèàêà, âëàæíî-
ãî âîçäóõà, ïàðîâ èçîïðîïèëîâîãî ñïèðòà, ñâåòà ýëåê-
òðîëàìïû. Ñòåïåíü óâåëè÷åíèÿ åìêîñòè ðàçëè÷íà.
Íàïðèìåð, ïîä äåéñòâèåì â òå÷åíèå 30 ìèí ïàðîâ
âîäíîãî ðàñòâîðà àììèàêà (25%) ó âàðèêàïà ñ îêñè-
äîì Ho åìêîñòü âîçðàñòàëà îò 200 äî 2000 ïÔ, ñ
îêñèäîì V�Gd � îò 300 äî 800 ïÔ, ñ îêñèäîì V�
Ho � îò 200 äî 840 ïÔ, ñ îêñèäîì V�Er � îò 300
äî 1000 ïÔ. Ïîä äåéñòâèåì ñâåòà ýëåêòðîëàìïû
ìîùíîñòüþ 25 Âò, ðàñïîëîæåííîé íà ðàññòîÿíèè
3 ñì îò âàðèêàïà ñ îêñèäîì V�Ho, åìêîñòü âîçðàñòà-
ëà îò 400 äî 980 ïÔ, ñ îêñèäîì Gd � îò 200 äî
540 ïÔ, ñ îêñèäîì Sm � îò 360 äî 700 ïÔ. Ïîä
äåéñòâèåì ïàðîâ èçîïðîïèëîâîãî ñïèðòà â òå÷åíèå
40 ìèí ó âàðèêàïà ñ îêèäîì V�Ho åìêîñòü âîçðàñ-
òàëà îò 120 äî 300 ïÔ. Ó âàðèêàïà íà îñíîâå îêñè-
äà V ïîä äåéñòâèåì âëàæíîãî âîçäóõà åìêîñòü âîç-
ðàñòàëà îò 300 äî 1200 ïÔ, íà îñíîâå îêñèäà
V�Er � îò 300 äî 700 ïÔ. Òàêèå ãàçû êàê Cl2, ÑÎõ
íà åìêîñòü âàðèêàïîâ íå âëèÿëè. Âîçäåéñòâèå NOx
ÃÀÇÎ×ÓÂÑÒÂÈÒÅËÜÍÛÅ È ÑÂÅÒÎ×ÓÂÑÒÂÈÒÅËÜÍÛÅ
ÂÀÐÈÊÀÏÛ ÄËß ÄÀÒ×ÈÊÎÂ
Ê. ò. í. Î. Í. ÍÅÃÎÄÅÍÊÎ, È. Ã. ÈÙÅÍÊÎ
Ðîññèÿ, Òàãàíðîãñêèé ãîñ. ðàäèîòåõíè÷åñêèé óí-ò
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
10.05 2000 ã.
Îïïîíåíòû ê. ò. í. Â. Í. ÊÎÒÎÂ,
ê. ô.-ì. í. Â. È. ÑÈÄÎÐÎÂ
∅1,5 ìì
0,
2
ì
ì
p
i
n
Îêñèä
n-Si
�Uñì
Ðèñ. 1
V�Cu
0
Ñâ, ïF
600
500
400
300
200
100
10 20 30 U, B
Ðèñ. 2
n-Si�SmxOy
n-Si�VxOy�CuxOy
n-Si�VxOy�SmxOy
n-Si�VxOy�DyxOy
n-Si�VxOy�ErxOy
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 4
39
ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÛ ÄËß ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
Ðèñ. 3
C1
47 íÔ
R1
1,2 ê
R5
120
R2
240
R3
1,2 ê
R4
240
Ñâ
VT4
VT3
VT2
VT1
Âûõ.
+Å (10 Â)
âåëî ê çíà÷èòåëüíîìó óìåíüøåíèþ åìêîñòè çà ñ÷åò
ñòðàâëèâàíèÿ âåðõíèõ ïðîâîäÿùèõ êîíòàêòîâ. Ïîñ-
ëå ïðåêðàùåíèÿ âîçäåéñòâèÿ âíåøíèõ ôàêòîðîâ åì-
êîñòü âàðèêàïîâ âîçâðàùàëàñü ê èñõîäíîé âåëè÷èíå
çà 2�5 ìèí.
Âêëþ÷åíèå âàðèêàïîâ â ñõåìó àíàëîãà íåãàòðîíà
(ðèñ. 3), îïèñàííîãî â [1], âåëî ê èçìåíåíèþ ïåðèî-
äà êîëåáàíèé ïîä äåéñòâèåì âíåøíèõ ôàêòîðîâ, ÷òî
ïîçâîëÿåò ïîëó÷èòü ãàçî÷óâñòâèòåëüíûé äàò÷èê ñ
÷àñòîòíûì âûõîäîì. Íàïðèìåð, ïîä äåéñòâèåì â òå-
÷åíèå 20 ìèí ïàðîâ âîäíîãî ðàñòâîðà àììèàêà íà
âàðèêàï ñ îêñèäîì Gd ïåðèîä êîëåáàíèé âîçðàñòàë
îò 0,36·10�7 äî 0,6·10�7 ñ, ñ îêñèäîì V�Gd � îò
0,5·10�7 äî 1,1·10�7 ñ, ñ îêñèäîì V�Dy � îò 0,4·10�7
äî 0,62·10�7 ñ. Ñëàáåå áûëà ðåàêöèÿ íà âîçäåéñòâèå
äûìà îò âàòû â òå÷åíèå 5 ìèí èëè ñâåòà ýëåêòðî-
ëàìïû ìîùíîñòüþ 25 Âò.
Àêòèâíîå ñîïðîòèâëåíèå ïî ïîñòîÿííîìó òîêó
îáðàòíî ñìåùåííîãî âàðèêàïà ïîä äåéñòâèåì ñâåòà
ýëåêòðîëàìïû íàèáîëåå ñèëüíî ìåíÿëîñü ó âàðèêà-
ïîâ ñ îêñèäàìè V�Dy (îò 4 äî 2 ÌÎì), V�Sm
(îò 5 äî 2,5 ÌÎì). Ñîïðîòèâëåíèå ïî ïåðåìåííîìó
òîêó (÷àñòîòà 1êÃö) íàèáîëåå ñèëüíî èçìåíÿëîñü
ó âàðèêàïîâ ñ îêñèäîì V�Dy (îò 1,5 ÌÎì äî
70 êÎì).
Ïîëó÷åííûå õàðàêòåðèñòèêè âàðèêàïîâ íà îñíî-
âå èññëåäîâàííûõ ðåäêîçåìåëüíûõ è ìíîãîâàëåíò-
íûõ ìåòàëëîâ ïîäòâåðæäàåò ÷óâñòâèòåëüíîñòü ðÿäà
âàðèêàïîâ ê ïàðàì âîäíîãî ðàñòâîðà àììèàêà, äûìó,
âëàæíîìó âîçäóõó è ñâåòó, ÷òî ïîçâîëÿåò èñïîëüçî-
âàòü èõ ïðè ñîçäàíèè ãàçî- è ñâåòî÷óâñòâèòåëüíûõ
äàò÷èêîâ ñ ÷àñòîòíûì âûõîäîì.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Íåãîäåíêî Î. Í., Ìèðîøíè÷åíêî Ñ. Ï. Êàñêîä-
íûå àíàëîãè íåãàòðîíîâ // Ïîëóïðîâîäíèêîâàÿ ýëåêòðî-
íèêà â òåõíèêå ñâÿçè.� Ì. : Ðàäèî è ñâÿçü, 1986.�
Âûï. 26.� Ñ. 29.
Í
Î
Â
Û
Å
Ê
Í
È
Ã
È
Ïðîêîïüåâ Å. Ï., Òèìîøåíêîâ Ñ. Ï., Ãðàôóòèí Â. È., Ìÿñèùåâà
Ã. Ã., Ôóíòèêîâ Þ. Â. Ïîçèòðîíèêà èîííûõ êðèñòàëëîâ, ïîëó-
ïðîâîäíèêîâ è ìåòàëëîâ.� Ì. : ÌÃÈÝÒ, 1999.� 176 ñ.
Èçëîæåíû òåîðåòè÷åñêèå îñíîâû ïîçèòðîíèêè èîííûõ êðèñòàëëîâ, ïîëóïðîâîäíè-
êîâ è ìåòàëëîâ, íà êîòîðûõ áàçèðóåòñÿ íîâûé ìåòîä èññëåäîâàíèé ýëåêòðîííîé è
äåôåêòíîé ñòðóêòóðû òâåðäîãî òåëà � àííèãèëÿöèÿ ïîçèòðîíîâ. Ðàçâèòûå òåîðåòè-
÷åñêèå ïðåäñòàâëåíèÿ î ïîçèòðîííûõ ñîñòîÿíèÿõ, ïîçèòðîííûõ ïðîöåññàõ è ïîçèòðîí-
íîé àííèãèëÿöèè èñïîëüçîâàíû äëÿ èíòåðïðåòàöèè ýêñïåðèìåíòîâ ïî àííèãèëÿöèè
ïîçèòðîíîâ â ïîëóïðîâîäíèêàõ, èîííûõ êðèñòàëëàõ è ìåòàëëàõ. Îñîáîå âíèìàíèå
óäåëåíî âîïðîñàì ïðèìåíåíèÿ ìåòîäà àííèãèëÿöèè äëÿ èññëåäîâàíèé ýëåêòðîííîé è
äåôåêòíîé ñòðóêòóðû ýòèõ îáúåêòîâ.
Ïðåäñòàâëÿåò èíòåðåñ äëÿ øèðîêîãî êðóãà íàó÷íûõ ðàáîòíèêîâ, çàíèìàþùèõñÿ
ìåòîäàìè èññëåäîâàíèé ñòðîåíèÿ âåùåñòâà.
Äîïîëíèòåëüíàÿ èíôîðìàöèÿ ïî òåë. (095) 532-9832, e-mail: ipk@rnd.miee.ru
â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â
ï
îðòô
åë
å
ðåä
àê
ö
è
è
â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè â ïîðòôåëå ðåäàêöèè
â
ï
îð
òô
åë
å
ðå
ä
àê
ö
è
è
Ø
Ø
Ø
Ø
Àêóñòîîïòè÷åñêèé àíàëèçàòîð ñïåêòðà. Â. Â. Äàíèëîâ (Óêðàèíà, ã. Äîíåöê)
Êðåìíèåâûé èíòåãðàëüíûé ãàëüâàíîìàãíèòîðåêîìáèíàöèîííûé ýëåìåíò.
Ô. Ä. Êàñèìîâ, ß. Þ. Ãóñåéíîâ (Àçåðáàéäæàí, ã. Áàêó)
Äåéñòâèå ðàäèàöèè íà õàðàêòåðèñòèêè ìàãíèòî÷óâñòâèòåëüíûõ òðàíçèñòî-
ðîâ. Ë. Ô. Âèêóëèíà, Ï. Þ. Ìàðêîëåíêî, Î. Á. Øåâ÷óê (Óêðàèíà, ã. Îäåññà)
Òåïëîâûå ðåæèìû ôîðìèðîâàíèÿ îìè÷åñêèõ êîíòàêòîâ ê àðñåíèäó ãàëëèÿ.
À. Â. Èâàùóê (Óêðàèíà, ã. Êèåâ)
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70945 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T00:56:35Z |
| publishDate | 2000 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Негоденко, О.Н. Ищенко, И.Г. 2014-11-16T20:15:00Z 2014-11-16T20:15:00Z 2000 Газочувствительные и светочувствительные варикапы для датчиков / О.Н. Негоденко, И.Г. Ищенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 4. — С. 38-39. — Бібліогр.: 1 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70945 Получены варикапы на основе оксидов редкоземельных и многовалентных металлов, чувствительные к газам и свету. The gas-sensitive and radiation-sensitive varicaps on the base of oxides of multicurrency and rareearth metals have been described. Varicaps have been obtained by oxidation of metals films on silicon surface with formation of p i n-structure in oxide. The varicaps characteristics in relation from action of ammonia aqueous solution vapours, smoke, wet air and light have been illustrated. Insertion of varicap in schematic diagram of negatron analog allows to obtain gas-sensitive sensor with frequency output. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Компоненты для электронной аппаратуры Газочувствительные и светочувствительные варикапы для датчиков Газочутливі та світлочутливі варікапидля датчиків Gas-sensitive and radiation-sensitive varicaps for sensors Article published earlier |
| spellingShingle | Газочувствительные и светочувствительные варикапы для датчиков Негоденко, О.Н. Ищенко, И.Г. Компоненты для электронной аппаратуры |
| title | Газочувствительные и светочувствительные варикапы для датчиков |
| title_alt | Газочутливі та світлочутливі варікапидля датчиків Gas-sensitive and radiation-sensitive varicaps for sensors |
| title_full | Газочувствительные и светочувствительные варикапы для датчиков |
| title_fullStr | Газочувствительные и светочувствительные варикапы для датчиков |
| title_full_unstemmed | Газочувствительные и светочувствительные варикапы для датчиков |
| title_short | Газочувствительные и светочувствительные варикапы для датчиков |
| title_sort | газочувствительные и светочувствительные варикапы для датчиков |
| topic | Компоненты для электронной аппаратуры |
| topic_facet | Компоненты для электронной аппаратуры |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70945 |
| work_keys_str_mv | AT negodenkoon gazočuvstvitelʹnyeisvetočuvstvitelʹnyevarikapydlâdatčikov AT iŝenkoig gazočuvstvitelʹnyeisvetočuvstvitelʹnyevarikapydlâdatčikov AT negodenkoon gazočutlivítasvítločutlivívaríkapidlâdatčikív AT iŝenkoig gazočutlivítasvítločutlivívaríkapidlâdatčikív AT negodenkoon gassensitiveandradiationsensitivevaricapsforsensors AT iŝenkoig gassensitiveandradiationsensitivevaricapsforsensors |