Зображення обкладинки

Влияние потенциала смещения на подложке на структурные и механические свойства пленок a-SiC:H

В работе исследовано влияние отрицательного потенциала смещения на подложке (UD) на структуру и механические свойства аморфного карбида кремния, полученного методом газофазового осаждения, усиленного высокочастотной плазмой (PECVD). Пленки охарактеризованы с помощью атомно-силового микроскопа (АСМ),...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Дата:	2010
Автори:	Иващенко, В.И., Порада, О.К., Иващенко, Л.А., Дуб, С.Н., Тимофеева, И.И., Гришнова, Л.А.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2010
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/72614
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Влияние потенциала смещения на подложке на структурные и механические свойства пленок a-SiC:H / В.И. Иващенко, О.К. Порада, Л.А. Иващенко, С.Н. Дуб, И.И. Тимофеева, Л.А. Гришнова // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2010. — Т. 8, № 2. — С. 277-285. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
за авторством: Порада, А.К., та інші
Опубліковано: (2010)

Переохлаждение при кристаллизации пленок висмута на германиевой подложке
за авторством: Колендовский, М.М., та інші
Опубліковано: (2007)

Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
за авторством: Belousov, I. V.
Опубліковано: (2007)

Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
за авторством: Дуб, С.Н., та інші
Опубліковано: (2009)

Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке
за авторством: Сокол, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)

Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2012)

Модуляционные характеристики вектора Стокса оптического излучения при деформациях сжатия–растяжения пленок иттриевых феррит-гранатов на немагнитной подложке
за авторством: Шевченко, Т.И., та інші
Опубліковано: (2015)

Автоэмиссионные свойства острийных катодов на основе пленок графена на SiC
за авторством: Конакова, Р.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Изменение морфологической структуры конденсированных пленок Sn, Bi и Sn-Bi на С-подложке при плавлении ↔ кристаллизации
за авторством: Гладких, Н.Т., та інші
Опубліковано: (2009)

Errata: Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Динамика решетки и теплоемкость двумерного моноатомного кристалла на подложке
за авторством: Анцыгина, Т.Н., та інші
Опубліковано: (2002)

Гидродинамические, физико-механические характеристики и структурные параметры волокнистых дренажных фильтров
за авторством: Бугай, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2001)

Физико-механические характаристики аморфных углеродных пленок, полученных из паров бензола
за авторством: Грицкевич, Р.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Механические и теплофизические свойства композита АlN – SiC
за авторством: Фесенко, И.П.
Опубліковано: (2006)

Реконструкция заряженной пленки гелия на металлической подложке
за авторством: Шикин, В., та інші
Опубліковано: (1997)

Структурные особенности формируемых покрытий и плёнок тугоплавких соединений
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2016)

Влияние высоковольтного постоянного потенциала смещения на структуру и свойства многослойного композиционного материала MoN/CrN с разной толщиной слоев
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2016)

Влияние скорости подвигания лавы на смещения пород в выемочных выработках
за авторством: Демченко, А.И.
Опубліковано: (2004)

Влияние потенциала смещения и давления азота на структурно-напряженное состояние и свойства нитридных покрытий, полученных испарением высокоэнтропийных сплавов вакуумно-дуговым методом
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Оптические и механические свойства плёнок TbSb
за авторством: Джабуа, З., та інші
Опубліковано: (2017)

Структурные особенности и механические свойства магниевых сплавов, подвергнутых равноканальному угловому прессованию
за авторством: Исламгалиев, Р.К., та інші
Опубліковано: (2007)

Асимметрия и абсолютные смещения солнечных фотосферных линий
за авторством: Атрощенко, И.Н., та інші
Опубліковано: (1990)

Температурная зависимоть смачивания в переохлаждённых конденсатах на углеродной подложке
за авторством: Дукаров, С.В., та інші
Опубліковано: (2003)

Влияние смещения центра тяжести грузового вагона на устойчивость его движения и интенсивность износа колес
за авторством: Лапина, Л.Г., та інші
Опубліковано: (2010)

Спектроскопия аморфного углерода на стеклянной подложке и на тонком слое меди
за авторством: Барабаш, М.Ю., та інші
Опубліковано: (2017)

Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии
за авторством: Цысарь, М.А.
Опубліковано: (2013)

Моделирование влияния катионного состава расплава на структурные особенности электрохимически активных частиц
за авторством: Соловьев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Плазменно-дуговая плавка на дисперсной подложке в подвижном горизонтальном кристаллизаторе
за авторством: Коледа, В.Н., та інші
Опубліковано: (2012)

Переохлаждение при кристаллизации эвтектики Ge-Au на аморфной германиевой подложке
за авторством: Сухов, Р.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние электронного облучения на оптические свойства пленок нанокристаллического SiC на подложках из монокристалла Al₂O₃
за авторством: Семенов, A.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Эффект обменного смещения в антиферромагнетике, содержащем ферромагнитные кластеры
за авторством: Панкратова, М.Л., та інші
Опубліковано: (2018)

Влияние температуры обработки на структурные и оптические свойства наноструктурированных ZnO:Al-плёнок, формируемых золь–гель-методом
за авторством: Сидский, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Детектирование объекта на изображении и определение его смещения на двух различных изображениях
за авторством: Азаренко, Д.С.
Опубліковано: (2013)

Механические свойства и структурные параметры поли- и монокристаллического тантала разной чистоты в области температур 4,2…300 К
за авторством: Ажажа, В.М., та інші
Опубліковано: (2003)

Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
за авторством: Куликовский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)

Модель обменного смещения в трехслойной структуре ФМ/АФМ/ФМ
за авторством: Панкратова, М.Л., та інші
Опубліковано: (2015)

Структурные особенности и физико-механические свойства аморфоподобных покрытий AlN–TiB₂–TiSi₂
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2015)

Зависимость амплитуды магнитоквантовых осцилляций сопротивления металлических микроконтактов от напряжения смещения
за авторством: Бобров, Н.Л., та інші
Опубліковано: (1995)

Определение эвтектической температуры изолированных двухфазных наночастиц Au-Ge на аморфной углеродной подложке
за авторством: Крышталь, А.П.
Опубліковано: (2015)