Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме
Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EBPVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Привед...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
|---|---|
| Дата: | 2010 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2010
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/73202 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме / Л.А. Крушинская, Я.А. Стельмах // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2010. — Т. 8, № 4. — С. 1003-1014. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Резюме: | Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EBPVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Приведены также результаты измерений микротвёрдости и электрической прочности конденсатов оксида алюминия.
Досліджено залежності морфології поверхні, структури і фазового складу товстих конденсатів Al₂O₃, одержаних методою EBPVD, від температури конденсації. Виявлено присутність наноструктурної складової різної морфології та фазового складу в широкому інтервалі температур конденсації. Наведено також результати міряння мікротвердости та електричної міцности конденсатів оксиду алюмінію.
The dependences of surface morphology, structure, and phase composition of thick Al₂O₃ condensates obtained by EBPVD on the condensation temperature are studied. The presence of nanostructured components of different morphology and phase composition in a wide temperature condensation range is revealed. The results of measurements of the microhardness and electric strength of aluminium-oxide condensates are presented.
|
|---|---|
| ISSN: | 1816-5230 |