Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме

• Veröffentlicht in: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Datum: 2010
• Hauptverfasser: Крушинская, Л.А., Стельмах, Я.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Russisch
• Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2010
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/73202
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме / Л.А. Крушинская, Я.А. Стельмах // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2010. — Т. 8, № 4. — С. 1003-1014. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EBPVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Приведены также результаты измерений микротвёрдости и электрической прочности конденсатов оксида алюминия. Досліджено залежності морфології поверхні, структури і фазового складу товстих конденсатів Al₂O₃, одержаних методою EBPVD, від температури конденсації. Виявлено присутність наноструктурної складової різної морфології та фазового складу в широкому інтервалі температур конденсації. Наведено також результати міряння мікротвердости та електричної міцности конденсатів оксиду алюмінію. The dependences of surface morphology, structure, and phase composition of thick Al₂O₃ condensates obtained by EBPVD on the condensation temperature are studied. The presence of nanostructured components of different morphology and phase composition in a wide temperature condensation range is revealed. The results of measurements of the microhardness and electric strength of aluminium-oxide condensates are presented.