Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме
Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EBPVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Привед...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
|---|---|
| Дата: | 2010 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2010
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/73202 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме / Л.А. Крушинская, Я.А. Стельмах // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2010. — Т. 8, № 4. — С. 1003-1014. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862729702087589888 |
|---|---|
| author | Крушинская, Л.А. Стельмах, Я.А. |
| author_facet | Крушинская, Л.А. Стельмах, Я.А. |
| citation_txt | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме / Л.А. Крушинская, Я.А. Стельмах // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2010. — Т. 8, № 4. — С. 1003-1014. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| description | Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EBPVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Приведены также результаты измерений микротвёрдости и электрической прочности конденсатов оксида алюминия.
Досліджено залежності морфології поверхні, структури і фазового складу товстих конденсатів Al₂O₃, одержаних методою EBPVD, від температури конденсації. Виявлено присутність наноструктурної складової різної морфології та фазового складу в широкому інтервалі температур конденсації. Наведено також результати міряння мікротвердости та електричної міцности конденсатів оксиду алюмінію.
The dependences of surface morphology, structure, and phase composition of thick Al₂O₃ condensates obtained by EBPVD on the condensation temperature are studied. The presence of nanostructured components of different morphology and phase composition in a wide temperature condensation range is revealed. The results of measurements of the microhardness and electric strength of aluminium-oxide condensates are presented.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:15:54Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-73202 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1816-5230 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T19:15:54Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Крушинская, Л.А. Стельмах, Я.А. 2015-01-06T14:25:45Z 2015-01-06T14:25:45Z 2010 Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме / Л.А. Крушинская, Я.А. Стельмах // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2010. — Т. 8, № 4. — С. 1003-1014. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 1816-5230 PACS numbers: 62.20.Qp, 68.37.Lp, 81.05.Je, 81.15.Ef, 81.15.Jj, 81.40.Wx, 85.40.Sz https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/73202 Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EBPVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Приведены также результаты измерений микротвёрдости и электрической прочности конденсатов оксида алюминия. Досліджено залежності морфології поверхні, структури і фазового складу товстих конденсатів Al₂O₃, одержаних методою EBPVD, від температури конденсації. Виявлено присутність наноструктурної складової різної морфології та фазового складу в широкому інтервалі температур конденсації. Наведено також результати міряння мікротвердости та електричної міцности конденсатів оксиду алюмінію. The dependences of surface morphology, structure, and phase composition of thick Al₂O₃ condensates obtained by EBPVD on the condensation temperature are studied. The presence of nanostructured components of different morphology and phase composition in a wide temperature condensation range is revealed. The results of measurements of the microhardness and electric strength of aluminium-oxide condensates are presented. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме Article published earlier |
| spellingShingle | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме Крушинская, Л.А. Стельмах, Я.А. |
| title | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| title_full | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| title_fullStr | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| title_full_unstemmed | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| title_short | Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| title_sort | структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/73202 |
| work_keys_str_mv | AT krušinskaâla strukturainekotoryesvoistvatolstyhkondensatovoksidaalûminiâpolučaemyhélektronnolučevymispareniemiosaždeniemparovoifazyvvakuume AT stelʹmahâa strukturainekotoryesvoistvatolstyhkondensatovoksidaalûminiâpolučaemyhélektronnolučevymispareniemiosaždeniemparovoifazyvvakuume |