Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме

• Veröffentlicht in: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Datum: 2010
• Hauptverfasser: Крушинская, Л.А., Стельмах, Я.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2010
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/73202
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме / Л.А. Крушинская, Я.А. Стельмах // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2010. — Т. 8, № 4. — С. 1003-1014. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EBPVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Привед...