Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000

• Date: 2008
• Main Authors: Дудкин, А.А., Инютин, А.В., Отвагин, А.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут проблем штучного інтелекту МОН України та НАН України 2008
• Subjects: Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7477
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 / А.А. Дудкин, А.В. Инютин, А.В. Отвагин // Штучний інтелект. — 2008. — № 4. — С. 348-352. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Разработана параллельная реализация моделирования процессов фотолитографии для применения на
 суперкомпьютере СКИФ К-1000. Использование параллельных средств вычисления позволило получить
 хорошие результаты по ускорению процесса формирования изображения в слое фоторезиста и последующего
 автоматического контроля оригиналов топологии. Розроблена паралельна реалізація моделювання процесів фотолітографії для застосування на
 суперкомп’ютері СКІФ К-1000. Використання паралельних засобів обчислення дозволило одержати
 добрі результати з прискорення процесу формування зображення в шарі фоторезиста і подальшого
 автоматичного контролю оригіналів топології. The parallel realization of modeling of photolithography processes was developed for application on
 supercomputer SKIF К-1000. Parallel means of calculation have allowed accelerating of image generation
 process in a photoresist layer and the subsequent automatic mask inspection.