Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000
Разработана параллельная реализация моделирования процессов фотолитографии для применения на
 суперкомпьютере СКИФ К-1000. Использование параллельных средств вычисления позволило получить
 хорошие результаты по ускорению процесса формирования изображения в слое фоторезиста и последую...
Gespeichert in:
| Datum: | 2008 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут проблем штучного інтелекту МОН України та НАН України
2008
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7477 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 / А.А. Дудкин, А.В. Инютин, А.В. Отвагин // Штучний інтелект. — 2008. — № 4. — С. 348-352. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862632545946959872 |
|---|---|
| author | Дудкин, А.А. Инютин, А.В. Отвагин, А.В. |
| author_facet | Дудкин, А.А. Инютин, А.В. Отвагин, А.В. |
| citation_txt | Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 / А.А. Дудкин, А.В. Инютин, А.В. Отвагин // Штучний інтелект. — 2008. — № 4. — С. 348-352. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| description | Разработана параллельная реализация моделирования процессов фотолитографии для применения на
суперкомпьютере СКИФ К-1000. Использование параллельных средств вычисления позволило получить
хорошие результаты по ускорению процесса формирования изображения в слое фоторезиста и последующего
автоматического контроля оригиналов топологии.
Розроблена паралельна реалізація моделювання процесів фотолітографії для застосування на
суперкомп’ютері СКІФ К-1000. Використання паралельних засобів обчислення дозволило одержати
добрі результати з прискорення процесу формування зображення в шарі фоторезиста і подальшого
автоматичного контролю оригіналів топології.
The parallel realization of modeling of photolithography processes was developed for application on
supercomputer SKIF К-1000. Parallel means of calculation have allowed accelerating of image generation
process in a photoresist layer and the subsequent automatic mask inspection.
|
| first_indexed | 2025-11-30T13:27:16Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7477 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1561-5359 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-30T13:27:16Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут проблем штучного інтелекту МОН України та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Дудкин, А.А. Инютин, А.В. Отвагин, А.В. 2010-03-31T15:14:38Z 2010-03-31T15:14:38Z 2008 Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 / А.А. Дудкин, А.В. Инютин, А.В. Отвагин // Штучний інтелект. — 2008. — № 4. — С. 348-352. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1561-5359 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7477 535.317:004.22 Разработана параллельная реализация моделирования процессов фотолитографии для применения на
 суперкомпьютере СКИФ К-1000. Использование параллельных средств вычисления позволило получить
 хорошие результаты по ускорению процесса формирования изображения в слое фоторезиста и последующего
 автоматического контроля оригиналов топологии. Розроблена паралельна реалізація моделювання процесів фотолітографії для застосування на
 суперкомп’ютері СКІФ К-1000. Використання паралельних засобів обчислення дозволило одержати
 добрі результати з прискорення процесу формування зображення в шарі фоторезиста і подальшого
 автоматичного контролю оригіналів топології. The parallel realization of modeling of photolithography processes was developed for application on
 supercomputer SKIF К-1000. Parallel means of calculation have allowed accelerating of image generation
 process in a photoresist layer and the subsequent automatic mask inspection. ru Інститут проблем штучного інтелекту МОН України та НАН України Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 Моделювання процесів фотолітографії на суперкомп’ютері СКІФ К-1000 Modelling of the Photolithography Processes on Supercomputer SKIF К-1000 Article published earlier |
| spellingShingle | Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 Дудкин, А.А. Инютин, А.В. Отвагин, А.В. Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений |
| title | Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 |
| title_alt | Моделювання процесів фотолітографії на суперкомп’ютері СКІФ К-1000 Modelling of the Photolithography Processes on Supercomputer SKIF К-1000 |
| title_full | Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 |
| title_fullStr | Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 |
| title_full_unstemmed | Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 |
| title_short | Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 |
| title_sort | моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере скиф к-1000 |
| topic | Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений |
| topic_facet | Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7477 |
| work_keys_str_mv | AT dudkinaa modelirovanieprocessovfotolitografiinasuperkompʹûtereskifk1000 AT inûtinav modelirovanieprocessovfotolitografiinasuperkompʹûtereskifk1000 AT otvaginav modelirovanieprocessovfotolitografiinasuperkompʹûtereskifk1000 AT dudkinaa modelûvannâprocesívfotolítografíínasuperkompûterískífk1000 AT inûtinav modelûvannâprocesívfotolítografíínasuperkompûterískífk1000 AT otvaginav modelûvannâprocesívfotolítografíínasuperkompûterískífk1000 AT dudkinaa modellingofthephotolithographyprocessesonsupercomputerskifk1000 AT inûtinav modellingofthephotolithographyprocessesonsupercomputerskifk1000 AT otvaginav modellingofthephotolithographyprocessesonsupercomputerskifk1000 |