Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000

Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000

Разработана параллельная реализация моделирования процессов фотолитографии для применения на суперкомпьютере СКИФ К-1000. Использование параллельных средств вычисления позволило получить хорошие результаты по ускорению процесса формирования изображения в слое фоторезиста и последующего автоматиче...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2008
Hauptverfasser: Дудкин, А.А., Инютин, А.В., Отвагин, А.В.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут проблем штучного інтелекту МОН України та НАН України 2008
Schlagworte:
Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7477
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 / А.А. Дудкин, А.В. Инютин, А.В. Отвагин // Штучний інтелект. — 2008. — № 4. — С. 348-352. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7477
record_format dspace
spelling Дудкин, А.А.
Инютин, А.В.
Отвагин, А.В.
2010-03-31T15:14:38Z
2010-03-31T15:14:38Z
2008
Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 / А.А. Дудкин, А.В. Инютин, А.В. Отвагин // Штучний інтелект. — 2008. — № 4. — С. 348-352. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
1561-5359
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7477
535.317:004.22
Разработана параллельная реализация моделирования процессов фотолитографии для применения на суперкомпьютере СКИФ К-1000. Использование параллельных средств вычисления позволило получить хорошие результаты по ускорению процесса формирования изображения в слое фоторезиста и последующего автоматического контроля оригиналов топологии.
Розроблена паралельна реалізація моделювання процесів фотолітографії для застосування на суперкомп’ютері СКІФ К-1000. Використання паралельних засобів обчислення дозволило одержати добрі результати з прискорення процесу формування зображення в шарі фоторезиста і подальшого автоматичного контролю оригіналів топології.
The parallel realization of modeling of photolithography processes was developed for application on supercomputer SKIF К-1000. Parallel means of calculation have allowed accelerating of image generation process in a photoresist layer and the subsequent automatic mask inspection.
ru
Інститут проблем штучного інтелекту МОН України та НАН України
Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений
Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000
Моделювання процесів фотолітографії на суперкомп’ютері СКІФ К-1000
Modelling of the Photolithography Processes on Supercomputer SKIF К-1000
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000
spellingShingle Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000
Дудкин, А.А.
Инютин, А.В.
Отвагин, А.В.
Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений
title_short Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000
title_full Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000
title_fullStr Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000
title_full_unstemmed Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000
title_sort моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере скиф к-1000
author Дудкин, А.А.
Инютин, А.В.
Отвагин, А.В.
author_facet Дудкин, А.А.
Инютин, А.В.
Отвагин, А.В.
topic Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений
topic_facet Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений
publishDate 2008
language Russian
publisher Інститут проблем штучного інтелекту МОН України та НАН України
format Article
title_alt Моделювання процесів фотолітографії на суперкомп’ютері СКІФ К-1000
Modelling of the Photolithography Processes on Supercomputer SKIF К-1000
description Разработана параллельная реализация моделирования процессов фотолитографии для применения на суперкомпьютере СКИФ К-1000. Использование параллельных средств вычисления позволило получить хорошие результаты по ускорению процесса формирования изображения в слое фоторезиста и последующего автоматического контроля оригиналов топологии. Розроблена паралельна реалізація моделювання процесів фотолітографії для застосування на суперкомп’ютері СКІФ К-1000. Використання паралельних засобів обчислення дозволило одержати добрі результати з прискорення процесу формування зображення в шарі фоторезиста і подальшого автоматичного контролю оригіналів топології. The parallel realization of modeling of photolithography processes was developed for application on supercomputer SKIF К-1000. Parallel means of calculation have allowed accelerating of image generation process in a photoresist layer and the subsequent automatic mask inspection.
issn 1561-5359
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7477
citation_txt Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 / А.А. Дудкин, А.В. Инютин, А.В. Отвагин // Штучний інтелект. — 2008. — № 4. — С. 348-352. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT dudkinaa modelirovanieprocessovfotolitografiinasuperkompʹûtereskifk1000
AT inûtinav modelirovanieprocessovfotolitografiinasuperkompʹûtereskifk1000
AT otvaginav modelirovanieprocessovfotolitografiinasuperkompʹûtereskifk1000
AT dudkinaa modelûvannâprocesívfotolítografíínasuperkompûterískífk1000
AT inûtinav modelûvannâprocesívfotolítografíínasuperkompûterískífk1000
AT otvaginav modelûvannâprocesívfotolítografíínasuperkompûterískífk1000
AT dudkinaa modellingofthephotolithographyprocessesonsupercomputerskifk1000
AT inûtinav modellingofthephotolithographyprocessesonsupercomputerskifk1000
AT otvaginav modellingofthephotolithographyprocessesonsupercomputerskifk1000
first_indexed 2025-11-30T13:27:16Z
last_indexed 2025-11-30T13:27:16Z
_version_ 1850857680463200256

Ähnliche Einträge