Свободное спекание и свойства нанодисперсной системы Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃

Приведены результаты исследований процесса свободного спекания, микроструктуры и свойств высокоплотных Si₃N₄-материалов, полученных из нанодисперсных порошков композиционного состава Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃. Показано, что эти самоармированные материалы с низким содержанием стеклофазы обладают прочностью Rb...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Datum:2011
1. Verfasser: Кайдаш, О.Н.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2011
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75188
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Свободное спекание и свойства нанодисперсной системы Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃ / О.Н. Кайдаш // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 4. — С. 895-902. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-75188
record_format dspace
spelling Кайдаш, О.Н.
2015-01-27T12:42:02Z
2015-01-27T12:42:02Z
2011
Свободное спекание и свойства нанодисперсной системы Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃ / О.Н. Кайдаш // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 4. — С. 895-902. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
1816-5230
PACS numbers: 62.20.Qp, 62.23.Pq, 81.05.Je, 81.07.Bc, 81.07.Wx, 81.20.Ev, 81.40.Np
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75188
Приведены результаты исследований процесса свободного спекания, микроструктуры и свойств высокоплотных Si₃N₄-материалов, полученных из нанодисперсных порошков композиционного состава Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃. Показано, что эти самоармированные материалы с низким содержанием стеклофазы обладают прочностью Rbm, превышающей 700 МПа, и трещиностойкостью K1с в 5,0 МПа⋅м¹/², а применение предварительной газотермической обработки исходных композиций даёт возможность повысить их прочностные свойства за счёт увеличения однородности микроструктуры и количественной доли анизометричных зёрен Si₃N₄ в материале.
Наведено результати досліджень процесу вільного спікання, мікроструктури та властивостей високощільних Si₃N₄-матеріялів, одержаних з нанодисперсних порошків композиційного складу Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃. Показано, що ці самоармовані матеріяли з низьким вмістом склофази мають міцність Rbm, яка перевищує 700 МПа, і тріщиностійкість K1с у 5,0 МПа⋅м¹/², а застосування попереднього газотермічного оброблення вихідних композицій дає можливість підвищити їх міцність за рахунок підвищення однорідности мікроструктури та кількости анізометричних зерен Si₃N₄ у матеріялі.
The results of investigation of the pressureless sintering, microstructure and properties of high-density Si₃N₄-based materials fabricated from nanodispersed Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃ composite powders are reported. As shown, these self-reinforced materials with low content of glass phase have a bending strength Rbm above 700 MPa and crack resistance K1с of 5.0 MPa⋅m¹/², and preliminary gas-thermal treatment of the initial powders increases strength owing to increasing the homogeneity of microstructure and the quantity of anisometric Si₃N₄ grains in the material.
ru
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Свободное спекание и свойства нанодисперсной системы Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Свободное спекание и свойства нанодисперсной системы Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃
spellingShingle Свободное спекание и свойства нанодисперсной системы Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃
Кайдаш, О.Н.
title_short Свободное спекание и свойства нанодисперсной системы Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃
title_full Свободное спекание и свойства нанодисперсной системы Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃
title_fullStr Свободное спекание и свойства нанодисперсной системы Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃
title_full_unstemmed Свободное спекание и свойства нанодисперсной системы Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃
title_sort свободное спекание и свойства нанодисперсной системы si₃n₄—y₂o₃—al₂o₃
author Кайдаш, О.Н.
author_facet Кайдаш, О.Н.
publishDate 2011
language Russian
container_title Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
format Article
description Приведены результаты исследований процесса свободного спекания, микроструктуры и свойств высокоплотных Si₃N₄-материалов, полученных из нанодисперсных порошков композиционного состава Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃. Показано, что эти самоармированные материалы с низким содержанием стеклофазы обладают прочностью Rbm, превышающей 700 МПа, и трещиностойкостью K1с в 5,0 МПа⋅м¹/², а применение предварительной газотермической обработки исходных композиций даёт возможность повысить их прочностные свойства за счёт увеличения однородности микроструктуры и количественной доли анизометричных зёрен Si₃N₄ в материале. Наведено результати досліджень процесу вільного спікання, мікроструктури та властивостей високощільних Si₃N₄-матеріялів, одержаних з нанодисперсних порошків композиційного складу Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃. Показано, що ці самоармовані матеріяли з низьким вмістом склофази мають міцність Rbm, яка перевищує 700 МПа, і тріщиностійкість K1с у 5,0 МПа⋅м¹/², а застосування попереднього газотермічного оброблення вихідних композицій дає можливість підвищити їх міцність за рахунок підвищення однорідности мікроструктури та кількости анізометричних зерен Si₃N₄ у матеріялі. The results of investigation of the pressureless sintering, microstructure and properties of high-density Si₃N₄-based materials fabricated from nanodispersed Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃ composite powders are reported. As shown, these self-reinforced materials with low content of glass phase have a bending strength Rbm above 700 MPa and crack resistance K1с of 5.0 MPa⋅m¹/², and preliminary gas-thermal treatment of the initial powders increases strength owing to increasing the homogeneity of microstructure and the quantity of anisometric Si₃N₄ grains in the material.
issn 1816-5230
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75188
citation_txt Свободное спекание и свойства нанодисперсной системы Si₃N₄—Y₂O₃—Al₂O₃ / О.Н. Кайдаш // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 4. — С. 895-902. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT kaidašon svobodnoespekanieisvoistvananodispersnoisistemysi3n4y2o3al2o3
first_indexed 2025-11-25T11:43:27Z
last_indexed 2025-11-25T11:43:27Z
_version_ 1850513976686804992
fulltext 895 PACS numbers:62.20.Qp, 62.23.Pq,81.05.Je,81.07.Bc,81.07.Wx,81.20.Ev, 81.40.Np Свободное спекание и свойства нанодисперсной системы Si3N4—Y2O3—Al2O3 О. Н. Кайдаш Институт сверхтвердых материалов им. В. Н. Бакуля НАН Украины, ул. Автозаводская, 2, 04074 Киев, Украина Приведены результаты исследований процесса свободного спекания, мик- роструктуры и свойств высокоплотных Si3N4-материалов, полученных из нанодисперсных порошков композиционного состава Si3N4—Al2O3—Y2O3. Показано, что эти самоармированные материалы с низким содержанием стеклофазы обладают прочностью Rbm, превышающей 700 МПа, и трещи- ностойкостью K1с в 5,0 МПа⋅м1/2, а применение предварительной газотер- мической обработки исходных композиций даёт возможность повысить их прочностные свойства за счёт увеличения однородности микроструктуры и количественной доли анизометричных зёрен Si3N4 в материале. Наведено результати досліджень процесу вільного спікання, мікрострук- тури та властивостей високощільних Si3N4-матеріялів, одержаних з нано- дисперсних порошків композиційного складу Si3N4—Al2O3—Y2O3. Показа- но, що ці самоармовані матеріяли з низьким вмістом склофази мають міц- ність Rbm, яка перевищує 700 МПа, і тріщиностійкість K1с у 5,0 МПа⋅м1/2, а застосування попереднього газотермічного оброблення вихідних компози- цій дає можливість підвищити їх міцність за рахунок підвищення однорі- дности мікроструктури та кількости анізометричних зерен Si3N4 у матері- ялі. The results of investigation of the pressureless sintering, microstructure and properties of high-density Si3N4-based materials fabricated from nanodis- persed Si3N4—Al2O3—Y2O3 composite powders are reported. As shown, these self-reinforced materials with low content of glass phase have a bending strength Rbm above 700 MPa and crack resistance K1с of 5.0 MPa⋅m1/2, and pre- liminary gas-thermal treatment of the initial powders increases strength ow- ing to increasing the homogeneity of microstructure and the quantity of ani- sometric Si3N4 grains in the material. Ключевые слова: нитрид кремния, Si3N4, нанодисперсный порошок, сво- бодное спекание, прочность. Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Nanosystems, Nanomaterials, Nanotechnologies 2011, т. 9, № 4, сс. 895—902 © 2011 ІМФ (Інститут металофізики ім. Г. В. Курдюмова НАН України) Надруковано в Україні. Фотокопіювання дозволено тільки відповідно до ліцензії 896 О. Н. КАЙДАШ (Получено 21 ноября 2010 г.) Нанокристаллическая керамика привлекает значительный интерес из-за обещания новых интересных свойств (механических, оптиче- ских, электрических, магнитных и др.), чувствительных к размеру кристаллитов [1, 2]. В последнее десятилетие для изготовления мелкозернистых материалов широко применяют нанодисперсные порошки [3]. Для их получения либо сепарируют наиболее мелкую фракцию порошков, полученных традиционным методом (напри- мер, азотированием) путем седиментации или воздушной класси- фикации, либо разрабатывают новые процессы получения – наиболее активно развиваются способы плазмохимического синте- за, совместного осаждения, разложения диимида или высокоэнер- гетического размола. Нитрид кремния интенсивно изучается более 40 лет [4]. Керами- ческие материалы на основе нитрида кремния разрабатывались главным образом для высокотемпературного применения. Кова- лентное соединение Si3N4 при повышенных температурах обеспечи- вает малую деградацию прочности и трещиностойкости, а высокое сопротивление ползучести контролируется процессами на межзе- ренных границах. Обзор полученных за последние двадцать лет мелкозернистых керамик на основе Si3N4 приведен в [5]. Для полу- чения наноразмерной керамики из нанопорошков следует снизить температуру спекания и подавить рост зерен. Для этого широко ис- пользуют давление в процессе спекания: горячее прессование (hot pressing), горячее изостатическое прессование (hot isostatic pressing) или спекание импульсными токами (SPS–spark plasma sintering). Однако наиболее привлекательной и дешевой технологи- ей получения материалов остается свободное спекание (pressureless sintering). В данной работе приведены результаты исследований, направ- ленных на разработку высокоплотного нитридокремниевого мате- риала из нанодисперсных порошков композиционного состава Si3N4 + Al2O3 + Y2O3 с использованием технологии свободного спека- ния. Исходные порошки получены методом плазмохимического синтеза путем азотирования кремния полупроводниковой чистоты, содержащего добавки оксидов алюминия и иттрия в АО «Неомат» (г. Рига, Латвия). Отличительная особенность порошков от обыч- ных композиций состоит в том, что их фазовый состав формируется непосредственно в процессе синтеза. Для получения опытных образцов применяли исходные порошки двух составов (табл. 1), а также для деагломерации порошковых композиций предварительно обработанный порошок. Предвари- тельная газотермическая обработка состояла из многоступенчатого СВОБОДНОЕ СПЕКАНИЕ И СВОЙСТВА ДИСПЕРСНОЙ СИСТЕМЫ Si3N4—Y2O3—Al2O3 897 отжига, одновременно повышающего технологичность производ- ства (снижающего удельную поверхность порошков) и способству- ющего очищению от примесей Siсв, кислорода и α → β-фазовому пе- реходу в Si3N4 (см. табл. 1) и последующего размола для гомогени- зации композиции [6, 7]. После предварительной газотермической обработки (ТОБ) содержание свободного кремния снизилось до 0,1— 0,2 масс.%, углерода до 0,02 масс.%, кислорода на 1—1,2%. Для устранения влияния вредных технологических примесей железа или кальция обработка смесей осуществлялась в барабане, футерованном нитридом кремния шарами из нитрида кремния в среде ацетона. В качестве пластификатора использовали 0,5% рас- твор синтетического каучука в бензине. Прессовали образцы в стальных прессформах при давлении Р = 100 МПа. Пористость прессовок составляла 51—52%. Спекание выполняли в печи ЭСШВ с вольфрамовым нагревателем при температурах 1660—1750°С в сре- де азота в течение 1 часа. Использовались тигли из SiC и засыпка из Si3N4. Исследование превращений при нагреве исходных порошковых композиций в интервале температур 25—1700°С в среде аргона вы- полняли методом дифференциального термического анализа на приборе ДТА/ДСК, разработанном в Институте сверхтвердых мате- риалов [8]. Скорость нагрева 60°С/мин. Изучение структуры исходных порошков и спеченных образцов выполняли сочетанием следующих методов: рентгеновского фазо- вого анализа, просвечивающей электронной микроскопии тонких фольг и угольных реплик от естественных изломов образцов, раст- ровой электронной микроскопии по шлифам и изломам, рентгено- спектрального микроанализа. Использовали дифрактометр ДРОН- 2, просвечивающий электронный микроскоп ПЭМ-У, растровый электронный микроскоп с микроанализатором Camebax SX-50. Определение прочностных характеристик при комнатной темпе- ратуре выполняли методом трехточечного изгиба на шлифованных штабиках 3,5×5×45 мм. Измерение осуществляли на разрывной ТАБЛИЦА 1. Характеристики порошков в исходном состоянии (числи- тель) и после предварительной газотермической термообработки (знаме- натель). Состав нанодисперсных, порошковых композиций, Удельная поверхность Фазовый состав Si3N4, % Элементный состав порошковой композиции, % (по массе) % (по массе) м2/гр α β Siобщ N Y Al Siсв С Si3N4—5%Y2O3—2%Al2O3 28/13 48*/38 52/62 55,7 36,1 3,9 1,1 1,1 0,1 Si3N4—5%Y2O3—5%Al2O3 35/16 40*/35 60/65 52,7 35,9 4,0 2,7 2,1 0,1 Примечание: ∗ – следы аморфной фазы. 898 машине Виккерс мере Ma стандарт отпечатк В исх округлой мостико лых кон образом б, табл. связующ стиковы га идет п разовани ляет спе спектрам жатся O, а Рис. 1. Эл дисперсн (×10500) ющими м ТАБЛИЦ нитрида к Порошк компози Исходн Газотерми обработа Heckert, р су измерял atsuzawa M тной метод ков индент ходном со й формы (р вые связи. нгломерато поликрис 2). Они пр щей фазой. ые связи. Та процесс ко ия межзер екание час м распреде , Y и Al. а лектронно-м ной компози (а) и после микроэлектр ЦА 2. Хара кремния. Диапа овая иция осн соста ная 0,0 ически анная 0,0 О. расстояние ли при наг MXT70. Вя дике, измер тора Викке остоянии рис. 1, а) и . Встречаю ов. После о таллическ редставляю Между ко аким образ онгломерац енной стек стиц в сво еления эле б микроскопи иции Si3N4— газотермич ронограмма ктеристика азон размеро новная вляющая д 03—0,05 0 05—0,1 0 . Н. КАЙДАШ е между о грузке 10 Н язкость ра ряя длину ерса. между на имеются п ются также отжига в п кие беспори ют собой г онгломерат зом, в проц ции частиц клофазы, к ободнонасы ементов в ическое изоб —2%Al2O3— ческой обра ами (б, г). а порошков ов, мкм другие 0,1—0,2 о 0,1—0,5 у бесп Ш порами 30 Н на цифр азрушения радиальны анодиспер преимущес е агрегаты порошке со истые кон группы ча тами имею цессе газот ц. Это прои которая, ф ыпанном с межзерен в бражение ч 5%Y2O3 в аботки (в) (× вых наноко Мор основная составляющ округлая фор неправильна угловая форм пористое сост 0 мм. Твер овом микр я рассчиты ых трещин сными ча ственно точ частиц в в одержатся гломераты стиц, соед ются точечн ермическо исходит за актически остоянии. нной связк г астиц порош исходном с ×5500) с соо мпозиций н рфология ая д рма угло (редк ая ма, тояние пра о рдость по ротвердо- ывали по н из углов астицами чечные и виде рых- главным ы (рис. 1, диненные ные и мо- ого отжи- а счет об- и, опреде- Судя по ке, содер- г шка нано- состоянии ответству- на основе другие овая форма ко встреч.) авильная огранка СВОБОДНОЕ СПЕКАНИЕ И СВОЙСТВА ДИСПЕРСНОЙ СИСТЕМЫ Si3N4—Y2O3—Al2O3 899 Рентгеновский фазовый анализ показал наличие небольшого ко- личества аморфной фазы, α-Si3N4 и β-Si3N4. После отжига наблюда- лось увеличение содержания β-Si3N4 в композиции (табл. 1). Анализируя данные дифференциального термического анализа исходной порошковой композиции Si3N4—2%Al2O3—5%Y2O3 можно заключить, что экзоэффект при 1075°С связан с процессом газовы- деления, приводящим к очистке поверхностных слоев от кислорода (улетучиванием SiO2) и известным при спекании нанодисперсных порошков. Двухступенчатый эндоэффект в интервале температур 1250—1400°С обусловлен плавлением стеклофазы переменного со- става, которая кристаллизуется в процессе охлаждения в интервале температур 1370—1220°С. Рентгеновский структурный анализ под- твердил, что экзоэффект при 1475°С связан с α → β-превращением в Si3N4. Работы Митомо показали, что для получения мелкозерни- стой керамики предпочтительным является использование узкого распределение размера зерен в β-Si3N4 [9]. Увеличение содержания образующейся на основе добавок окси- дов стеклофазы оказывает положительную роль в уплотнении при свободном спекании (табл. 3) и получении плотных материалов, формировании зеренной структуры с высоким содержанием анизо- метричных зерен, характеризующихся высоким фактором формы (рис. 2, табл. 4), а также способствует упрочнению. С другой сторо- ны, присутствие стеклофазы значительно ухудшает высокотемпе- ратурные свойства материалов – снижается прочность и сопротив- ление ползучести. Одно из эффективных решений повышения этих свойств – кристаллизация межзеренной фазы. Микроструктура керамики на основе нитрида кремния бимо- дальна и состоит из мелких равноосных и удлиненных зерен. В об- разцах различных составов, спеченных в интервале Т = 1660— 1750°С, присутствуют зерна Si3N4 трех морфологических разновид- ностей (см. рис. 3): два вида равноосных, имеющих округлую и по- ТАБЛИЦА 3. Характеристики спекания нанодисперсных материалов на основе Si3N4 (усадка Δl/l, плотность Dтeop, потеря массы Δm/m) и их физи- ко-механические свойства (предел прочности при изгибе Rbm, трещино- стойкость K1с и твердость по Виккерсу НV). Состав материала, % (по массе) Δl/l, % Dтeoр, %Δm/m, %Rbm, МПаK1с, МПа⋅м1/2 НV, ГПа Si3N4—2%Al2O3— 5%Y2O3 17,1 95 0,2 520±30 4,5±0,3 15,8±0,5 Si3N4—2%Al2O3— 5%Y2O3 (ТОБ) 16,9 97 0,3 830±40 4,6±0,2 15,5±0,4 Si3N4—5%Al2O3— 5%Y2O3 19,9 97 0,3 720±60 6,0±0,2 15,3±0,5 900 лиэдрич нейными масштаб цов и сод Наибо цов, пол ную терм туре ани вает выс где соср различн емное со Она обра рованны По да что расп Рис. 2. Ти свет угол 1700°С и Si3N4—2% ТАБЛИЦ на процес позиции Темпера спекания 1660 1700 1750 1750 (Т ческую фор и поверхно б зерен изм держания в ольшая дол лученных мообработк изометричн сокие меха едоточены ой морфол одержание азует сплош ые включен анным рен ределение а ипичные эл льных репли из исходной %Al2O3—5%Y ЦА 4. Влиян сс формиро на основе Si тура я, °С Диап 0 0 0 ОБ) О. рму, и удл остями огр меняются с в них окси ля анизом на основе ку. Именн ных зерен анические ы округлые логии соде е этой фазы шные прос ния размер нтгеноспек фаз в обра ектронные ик от излом й (а) и терм Y2O3. Увели ние темпера ования стру i3N4. пазон размер мкм 0,1—0,3 0,1—0,5 0,3—0,5 0,3—0,4 . Н. КАЙДАШ линенные ранки по дл с ростом т идов. етричных порошков о присутст с высоким е свойства е зерна, и ержится св ы составля слойки тол рами 0,005— трального азцах явля микрофрак мов) с образц мически обр ичение 1350 атуры и пр уктуры при ов, Фактор 3 3— 5 4— Ш с морфоло лине. Коли температур зерен хар в, прошедш твие в мелк м фактором материало в местах вязующая яет ≅ 5%, лщиной ≤ 0 —0,05 мкм анализа м ется достат ктограммы ( цов, спеченн работанной 0. редваритель спекании н р формы ани 3 —4 5 —5 огически п ичественна ры спекани актерна дл ших предв козернисто м формы о ов [4]. В у сопряжен фаза (рис. а после ТО 0,001 мкм . можно зак точно одно б (изображени ных при тем (б) наноком ьной термоо нанодисперс Общее содер зометричных 10 40 50 70 прямоли- ая доля и ия образ- ля образ- варитель- ой струк- обеспечи- участках, ния зерен . 3). Объ- ОБ ≅ 7%. и изоли- ключить, ородным. ие на про- мпературе мпозиции обработки сной ком- ржание х зерен, % СВОБОДНО Диапазо ставляет обогаще нии обра Микро Именно позиция ния, и структур сравним спекани Увели ски обра дисперсн морфоло печиваю материал ладают г точная ф компози вестно, ч значение Попытки го, что т SiAlONе Таким нанодисп Y2O3 поз материал ботки и ственную Рис. 3. Ти просвет) с ОЕ СПЕКАНИ он размеро т 0,05—0,1 нные Y, N азуется так оструктура присутств ях способс таким обр ры [10]. П мы с прочно и без давле ичение про аботанной ностью зер огии и пов ющих само лов невысо грубозерни фаза α-Si3N ите значени что мелкоз ем трещин и увеличен рещиносто е, формиру м образом, персных п зволяет пол л, а прим исходных п ю долю ани ипичный ф с зернами р ИЕ И СВОЙСТВ ов изолиро мкм. Кро N, O. Это по кже оксини а всех пол вие аморфн твует проц разом при Прочностн остью мате ения [11, 1 очностных смеси, по рен, одноро вышением оармирован окая. Как истые мате N4. С увели ие твердост зернистая ностойкост ния K1с мат ойкость на ующемся на , в данной порошковы лучить в у менение пр порошков изометричн фрагмент ми азличной м ВА ДИСПЕРС ованных вк оме этого и озволяет п итрид. лученных ного нитри цессу гом иводит к з ные свойст ериалов на 12]. характер о-видимом одным расп количеств ние матери правило, б ериалы, в ичением с ти понижа структура ти по сравн териалов [ апрямую за а удлиненн й работе п ых компо условиях св редварител дает возм ных зерен икрострукт морфологии СНОЙ СИСТЕМ ключений имеются л редположи материало ида кремни огенного з значительн тва получе а основе ни истик (таб му, связано пределение ва анизотр иала. Твер более высо которых одержания ается [13]. всегда обл нению с гр 14] привел ависит от с ных зернах показано, ч зиций сос вободного льной газо можность Si3N4 в мат туры образц .Увеличени МЫ Si3N4—Y2O оксидных локальные ить, что пр ов мелкозе ия в исходн зародышео ному изме енных мат трида крем бл. 3) для о с более ем зерен ра опных зер рдость пол кой твердо присутству я оксидной Из литера ладет более рубозернис ли к поним содержани х β-Si3N4. что испол става Si3N спекания термическ повысить териале. цов (изобра ие 80000. O3—Al2O3 901 х фаз со- участки ри спека- ернистая. ных ком- образова- ельчению атериалов мния при термиче- высокой азличной рен, обес- лученных остью об- ует оста- й фазы в атуры из- е низким стой [10]. манию то- ия Al в β′- льзование N4—Al2O3— прочный кой обра- количе- ажение на 902 О. Н. КАЙДАШ ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА 1. K. Lu, International Materials Reviews, 53, No. 1: 21 (2008). 2. X. H. Wang and I. W. Chen, Nanomaterials Handbook (Boca Raton—Taylor and Francis Group: 2006), p. 359. 3. О. Н. Кайдаш, Породоразрушающий инструмент (ИСМ НАН Украины: 2010), р. 26. 4. F. Riley, J. Am. Ceram. Soc., 83, No. 2: 245 (2000). 5. T. Nishimura, X. Xu, K. Kimoto et al., Science and Technology of Advanced Materials, No. 8: 635 (2007). 6. Я. А. Крыль, А. А. Исаков, С. А. Артемюк и др., Порошковая металлургия, № 3: 8 (1993). 7. Я. А. Крыль, О. Н. Кайдаш, Е. Ю. Павлова, Сверхтвердые материалы, № 3: 23 (1993). 8. А. В. Золотухин, Сверхтвердые материалы, № 1: 15 (1996). 9. M. Mitomo, H. Hirotsuru, T. Nishimura et al., J. Am. Ceram. Soc., 80, No. 1: 211 (1997). 10. P. Šajgalik and J. Dusza, Silicon Nitride 93. Key Engineering Materials (Swit- zerland: Trans. Tech. Publications: 1994), vols. 89—91, p. 171. 11. W. Hermel, M. Herrmann, and I. Schulz, Silicon Nitride 93. Key Engineering Materials (Switzerland: Trans. Tech. Publications: 1994), vols. 89—91, p. 181. 12. T. Yamada, Y. Kanetsuki, K. Fueda et al., Silicon Nitride 93. Key Engineering Materials (Switzerland: Trans. Tech. Publications: 1994), vol. 89—91, p. 177. 13. M. Knutson-Wedel, L. K. L. Flak, and T. Ekström, Silicon Nitride 93. Key En- gineering Materials (Switzerland: Trans. Tech. Publications: 1994), vols. 89— 91, p. 153. 14. E. Y. Sun, P. F. Becher, K. P. Plucknett et al., J. Am. Ceram. Soc., 81, No. 11: 2831 (1998).