Получение кремниевых нитевидных нанокристаллов

• Datum: 2011
• Hauptverfasser: Дружинин, А.А., Островский, И.П., Ховерко, Ю.Н., Ничкало, С.И.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2011
• Schriftenreihe: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75193
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Получение кремниевых нитевидных нанокристаллов / А.А. Дружинин, И.П. Островский, Ю.Н. Ховерко, С.И. Ничкало // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 4. — С. 925-932. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Представлены результаты серии экспериментальных исследований по выращиванию нитевидных нанокристаллов (ННК) кремния методом химического парового осаждения в открытой проточной системе по механизму «пар—жидкость—кристалл» (ПЖК). В результате выполненных ростовых экспериментов получены ННК кремния со средним диаметром ≅ 100 нм. На основе метода кинетического эксперимента выполнено моделирование аксиального и радиального роста ННК. Кроме того, были определены следующие кинетические параметры роста: эффективное перенасыщение в газовой фазе, кинетический коэффициент кристаллизации и критический диаметр. Показано, что кристаллы диаметром 50—70 нм растут по механизму ПЖК, в то время как кристаллы больших диаметров растут согласно двум механизмам – ПЖК и ПК, что обусловливает формирование более выраженных гетероструктур с кристаллическим ядром и внешней пористой оболочкой.