Формирование эффективных эмиттеров электронов при лазерном испарении ориентированных углеродных нанотрубок

Исследованы процессы эмиссии электронов с поверхности ориентированных углеродных нанотрубок на Ni-подложке под действием импульсного лазерного излучения миллисекундной длительности. При значении энергии лазерного импульса E ≥ 0,3 Дж происходит испарение углеродных нанотрубок с поверхности Ni-подложк...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Date:2012
Main Authors: Сидорченко, И.М., Щур, Д.В., Нищенко, М.М., Шевченко, Н.А., Боголепов, В.А., Дубовой, А.Г.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2012
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75220
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Формирование эффективных эмиттеров электронов при лазерном испарении ориентированных углеродных нанотрубок / И.М. Сидорченко, Д.В. Щур, М.М. Нищенко, Н.А. Шевченко, В.А. Боголепов, А.Г. Дубовой // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2012. — Т. 10, № 1. — С. 169-176. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859763232919519232
author Сидорченко, И.М.
Щур, Д.В.
Нищенко, М.М.
Шевченко, Н.А.
Боголепов, В.А.
Дубовой, А.Г.
author_facet Сидорченко, И.М.
Щур, Д.В.
Нищенко, М.М.
Шевченко, Н.А.
Боголепов, В.А.
Дубовой, А.Г.
citation_txt Формирование эффективных эмиттеров электронов при лазерном испарении ориентированных углеродных нанотрубок / И.М. Сидорченко, Д.В. Щур, М.М. Нищенко, Н.А. Шевченко, В.А. Боголепов, А.Г. Дубовой // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2012. — Т. 10, № 1. — С. 169-176. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
description Исследованы процессы эмиссии электронов с поверхности ориентированных углеродных нанотрубок на Ni-подложке под действием импульсного лазерного излучения миллисекундной длительности. При значении энергии лазерного импульса E ≥ 0,3 Дж происходит испарение углеродных нанотрубок с поверхности Ni-подложки и осаждение углерода на молибденовом аноде в виде слоя, состоящего из сферических наночастиц размерами от 50 до 500 нм. Это приводит к смене знака эмиссионного тока (эмиссия с анода на катод). Образовавшаяся на Мо-аноде структура является более эффективным эмиттером по сравнению с эмиттером из плотноупакованных ориентированных многослойных нанотрубок на Ni-подложке. Досліджено процеси емісії електронів з поверхні орієнтованих вуглецевих нанорурок на Ni-підложжі під дією імпульсного лазерного випромінення мілісекундної тривалости. При значенні енергії лазерного імпульсу E ≥ 0,3 Дж відбувається випаровування вуглецевих нанорурок з поверхні Ni-підложжя і осадження вуглецю на молібденовій аноді у вигляді шару, що складається зі сферичних вуглецевих наночастинок розмірами від 50 до 500 нм. Це призводить до зміни знаку емісійного струму (емісія з аноди на катоду). Структура, що утворилася на Мо-аноді, є більш ефективним емітером у порівнянні з емітером зі щільноупакованих орієнтованих багатошарових нанорурок на Ni-підложжі. The processes of electron emission from the surface of oriented carbon nanotubes on the Ni substrate under the influence of pulsed laser energy are investigated. In the case of the laser pulse energy E ≥ 0.3 J, the carbonnanotubes’ evaporation from the surface of Ni substrate and further carbon deposition on the molybdenum anode in the form of film, which consists of spherical carbon nanoparticles with sizes from 50 to 500 nm, take place. This leads to a change in the sign of the emission current (emission flows from the anode to the cathode). Structure formed on the Mo anode is more efficient emitter as compared with the emitter of close-packed oriented multilayer nanotubes on the Ni substrate.
first_indexed 2025-12-02T04:49:22Z
format Article
fulltext 169 PACS numbers:68.37.Hk, 78.45.+h,79.60.Jv,79.70.+q,81.05.ub,81.16.Mk, 85.35.Kt Формирование эффективных эмиттеров электронов при лазерном испарении ориентированных углеродных нанотрубок И. М. Сидорченко, Д. В. Щур*, М. М. Нищенко, Н. А. Шевченко, В. А. Боголепов *, А. Г. Дубовой * Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины, бульв. Акад. Вернадского, 36, 03680, ГСП, Киев-142, Украина *Институт проблем материаловедения им. И. Н. Францевича НАН Украины, ул. Кржижановского, 3, 03680, ГСП, Киев-142, Украина Исследованы процессы эмиссии электронов с поверхности ориентирован- ных углеродных нанотрубок на Ni-подложке под действием импульсного лазерного излучения миллисекундной длительности. При значении энер- гии лазерного импульса E ≥ 0,3 Дж происходит испарение углеродных нанотрубок с поверхности Ni-подложки и осаждение углерода на молибде- новом аноде в виде слоя, состоящего из сферических наночастиц размера- ми от 50 до 500 нм. Это приводит к смене знака эмиссионного тока (эмис- сия с анода на катод). Образовавшаяся на Мо-аноде структура является более эффективным эмиттером по сравнению с эмиттером из плотноупако- ванных ориентированных многослойных нанотрубок на Ni-подложке. Досліджено процеси емісії електронів з поверхні орієнтованих вуглеце- вих нанорурок на Ni-підложжі під дією імпульсного лазерного випромі- нення мілісекундної тривалости. При значенні енергії лазерного імпульсу E ≥ 0,3 Дж відбувається випаровування вуглецевих нанорурок з поверхні Ni-підложжя і осадження вуглецю на молібденовій аноді у вигляді шару, що складається зі сферичних вуглецевих наночастинок розмірами від 50 до 500 нм. Це призводить до зміни знаку емісійного струму (емісія з аноди на катоду). Структура, що утворилася на Мо-аноді, є більш ефективним емітером у порівнянні з емітером зі щільноупакованих орієнтованих ба- гатошарових нанорурок на Ni-підложжі. The processes of electron emission from the surface of oriented carbon nano- tubes on the Ni substrate under the influence of pulsed laser energy are in- vestigated. In the case of the laser pulse energy E ≥ 0.3 J, the carbon- nanotubes’ evaporation from the surface of Ni substrate and further carbon Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Nanosystems, Nanomaterials, Nanotechnologies 2012, т. 10, № 1, сс. 169—176 © 2012 ІМФ (Інститут металофізики ім. Г. В. Курдюмова НАН України) Надруковано в Україні. Фотокопіювання дозволено тільки відповідно до ліцензії 170 И. М. СИДОРЧЕНКО, Д. В. ЩУР, М. М. НИЩЕНКО и др. deposition on the molybdenum anode in the form of film, which consists of spherical carbon nanoparticles with sizes from 50 to 500 nm, take place. This leads to a change in the sign of the emission current (emission flows from the anode to the cathode). Structure formed on the Mo anode is more efficient emitter as compared with the emitter of close-packed oriented multilayer nanotubes on the Ni substrate. Ключевые слова: углеродные нанотрубки, электронная эмиссия, лазер- ное излучение, инверсия тока. (Получено 10 января 2011 г.) 1. ВВЕДЕНИЕ В последнее время внимание исследователей привлекает проблема использования углеродных нанотрубок (УНТ) в качестве катодных материалов. В литературе встречается много работ, посвященных автоэмиссионным характеристикам индивидуальных УНТ, что связано со значительным коэффициентом усиления электрического поля на их концах (до 103) [1]. Реже встречаются упоминания об ав- тоэлектронной эмиссии из массива УНТ, так как в этом случае, в связи с эффектом экранирования соседями, усиление электриче- ского поля фактически не наблюдается [2]. В работе [3] УНТ проявили себя не только как источник авто- электронной эмиссии, но и интенсивной термоэлектронной эмиссии при низких температурах. Нагрев нанотрубок в этой работе осу- ществлялся с помощью лампы инфракрасного диапазона. Более высокие температуры могут быть получены локально под действи- ем лазерного излучения, что позволит увеличить эмиссионный ток, произвести испарение материала и осуществить модификацию по- верхности мишени. Так, в работе [4] изучена эффективность электронной эмиссии до и после лазерного облучения углеродных плёнок и определены по- роговые плотности мощности лазерного излучения, при которых происходят изменения эмиссионных характеристик и модифика- ция геометрии поверхности катодов. Для этой цели образцы в виде плёнки из наноразмерных кристаллитов графита облучались на воздухе импульсным излучением YAG:Nd3+ лазера (λ = 1,06 мкм) в режиме, обеспечивающим её испарение и изменение исходной мор- фологии плёнки (q > 18 MВт/см 2, Е = 50 мДж, τ = 22 нс). После ла- зерной обработки образцы помещались в вакуумную камеру (Р = 10 −4 Па), где и выполнялись исследования полевой эмиссии с данного образца. При этом не было обнаружено усиление автоэмис- сии из областей, облучённых лазерными импульсами. Дальнейшее развитие экспериментальных работ в этом направлении целесооб- разно выполнять путём объединения указанных выше задач и ис- ФОРМИРОВАНИЕ ЭМИТТЕРОВ ЭЛЕКТРОНОВ ПРИ ИСПАРЕНИИ НАНОТРУБОК 171 пользования лазерного излучения для модификации эмиттера электронов, измерения эмиссионных свойств и определения общего электрического заряда, переносимого эмиссионным током за один лазерный импульс. В настоящей работе изучены процессы эмиссии электронов с по- верхности ориентированных углеродных нанотрубок (УНТ) на Ni- подложке, которые служили катодом, под действием лазерного из- лучения миллисекундной длительности. Нагрев поверхности като- да лазерным излучением позволил увеличить эмиссионный ток, произвести испарение материала и осуществить модификацию по- верхности мишени. Образцы в процессе лазерного облучения нахо- дились в вакуумной камере Р = 10 −2 Па, что способствовало умень- шению концентрации примесей, оседающих на образцы в процессе лазерной обработки. 2. МЕТОДИКА ПОЛУЧЕНИЯ ОБРАЗЦОВ И ВЫПОЛНЕНИЯ ИССЛЕДОВАНИЙ Образцы ориентированных плотноупакованных углеродных нано- трубок (УНТ) на Ni-подложке были получены методом каталитиче- ского пиролиза ацетилена в смеси с гелием (≅ 1:9 соответственно). Пластинка никеля (подложка) помещалась в проточный кварцевый реактор, и в среде гелия выполнялся нагрев до температуры 600— 630°С. После чего подавался ацетилен в течение 3—4 минут, и затем реактор охлаждался при расходе гелия 5—6 см/ч. При исследовании эмиссионных характеристик образца, нагрев нанотрубок осуществлялся импульсами YAG:Nd3+ лазера (λ = 1,06 мкм) миллисекундной (1—3 мс) длительности с радиусом гауссова пятна 0,028 см. Эффективность электронной эмиссии определялась по величине напряжения, до которого заряжались эмитированны- ми электронами обкладки конденсатора ёмкостью 10 мкФ. Предпо- лагается, что длительность импульса электронной эмиссии слабо зависит от энергии в интересующем нас диапазоне, тогда плотность эмиссионного тока J будет пропорциональна заряду q, а, следова- тельно, и напряжению U на обкладках конденсатора: 2 4 , I q CU J S S D = = = τ τπ где С – ёмкость; U – напряжение на обкладках конденсатора; τ – длительность импульса электронной эмиссии; D – диаметр гауссо- ва пятна. Электронно-микроскопические снимки и результаты рентгено- спектрального микроанализа были получены на сканирующем электронном микроскопе Jeol JSM-6490 LV с волнодисперсионным 172 И. М. СИДОРЧЕНКО, Д. В. ЩУР, М. М. НИЩЕНКО и др. спектрометром Inca. 3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЕ На рисунке 1 приведена зависимость напряжения на обкладках конденсатора U от энергии лазерного импульса Е, падающего на поверхность вертикально расположенных УНТ на Ni-подложке. Видно, что при Е < 0,3 Дж напряжение на обкладках конденсатора растёт до U = 0,4 В, проходит через максимум, затем падает, дости- гая нуля при 0,74 Дж. Дальнейшее увеличение Е приводит к явле- нию инверсии эмиссионного тока – изменяется его направление. При этом эмиссионный ток с обратным знаком повышает напряже- ние на обкладках конденсатора до значения U = —3 В при энергии лазерного импульса Е = 1,5 Дж (рис. 1), что соответствует плотно- сти эмиссионного тока J = 13 А/см2. В случае обратной электронной эмиссии энергия заряженного эмиссионным током конденсатора возрастает более чем в 20 раз, по сравнению со случаем прямой электронной эмиссии. Обнаруженный эффект смены знака электронной эмиссии связан с тем, что под действием лазерного излучения при энергии импуль- са 0,2—0,7 Дж происходит удаление углерода с нанотрубок и оса- ждение его на Мо-проволоку (анод). В результате чего увеличивает- ся коэффициент отражения лазерного луча от поверхности катода, которым в данном случае становится никелевая подложка. Коэф- фициент отражения никеля для длины волны 1,06 мкм составляет Рис. 1. Зависимость напряжения на конденсаторе от энергии лазерного импульса при облучении образца ориентированных УНТ наNi-подложке. ФОРМИРОВАНИЕ ЭМИТТЕРОВ ЭЛЕКТРОНОВ ПРИ ИСПАРЕНИИ НАНОТРУБОК 173 60—70% [5], по сравнению с таковым для слоя УНТ, который прак- тически не отражает. Отражённый лазерный луч попадает на анод и вызывает обратную электронную эмиссию (рис. 2). На рисунке 2 отображены три варианта воздействия лазерного излучения на поверхность мишени УНТ на Ni: 1. слабое поглощение Мо-анодом отраженного лазерного излуче- ния; 2. лазерный луч (прямой и отраженный) не попадают на Мо-анод; 3. лазерный луч (прямой и отраженный) поглощаются Мо-анодом. В случае 1 наблюдалась слабая инверсия эмиссионного тока; в случае 2 инверсия эмиссионного тока не наблюдалась, что вызвано попаданием отраженного лазерного луча в пространство между проволочными Мо-анодами; в случае 3 луч, отражаясь, попадает на анод и приводит к эмиссии с Мо [6]. Электронно-микроскопические исследования показали, что в ис- ходном состоянии УНТ плотноупакованы и расположены перпен- дикулярно поверхности никелевой подложки (рис. 3, а). В процессе лазерного воздействия в зоне облучения образуется кратер диамет- ром 350—450 мкм (рис. 3, б). Исследования Мо-анода при помощи СЭМ показали, что на по- верхности образовалась наноструктурная пленка. При рассмотре- нии этой пленки с увеличением 3⋅105 (рис. 4) видно, что она состоит из сферических частиц разных размеров (от микрометров до десят- ков нанометров), расположенных плотно друг к другу. По данным рентгеноспектрального микроанализа установлено, что в состав пленки входит углерод в концентрации более 95 вес.% и незначи- тельные концентрации примесей Мо, О, Ca и K. Согласно данным приведенным на рис. 1, сформированная углеродная структура яв- ляется более эффективным эмиттером по сравнению с эмиттером из Рис. 2. Схема переноса УНТ с Ni-подложки (катод) на Мо-проволоку (анод) под воздействием лазерного излучения, поясняющая смену направления эмиссионного тока. 174 И. М. СИДОРЧЕНКО, Д. В. ЩУР, М. М. НИЩЕНКО и др. плотноупакованных ориентированных многослойных нанотрубок на Ni подложке. Высокие эмиссионные свойства анода обусловлены наличием большого количества наноструктур на поверхности. Согласно [7], если достижение полного термодинамического равновесия между частицами при их слиянии наступает значительно медленнее, чем их равновесие по электронам, то возникает специфический коопе- ративный эффект – взаимное заряжение малых частиц. Оно осу- ществляется путём перехода электронов с одних частиц на другие посредством квантового туннелирования или обычных процессов электропроводности. Это может быть связано с различием энергии а б Рис. 3. Электронно-микроскопический снимок катода УНТ на Ni: а – до лазерного облучения; б – после лазерного облучения. Рис. 4. Электронно-микроскопический снимок наноструктурной пленки на Мо-аноде. ФОРМИРОВАНИЕ ЭМИТТЕРОВ ЭЛЕКТРОНОВ ПРИ ИСПАРЕНИИ НАНОТРУБОК 175 Ферми у наночастиц разных размеров. Особенно это должно про- явиться при сильном их разбросе по размерам. В этом случае мини- мум свободной энергии достигается, если электроны из частицы с большим μ переходят в частицу с меньшим μ, что приведёт к вырав- ниванию электрохимических потенциалов частиц. Для малых частиц размерная зависимость энергии Ферми может быть также вызвана квантованием электронных уровней. Впервые идея о том, что размерное квантование электронных уровней может привести к появлению сил взаимного заряжения, была высказана в [8]. Было показано, что если поверхность отталкивает электрон (от- рицательный заряд на поверхности), то электроны переходят с меньшей частицы на большую. Если же поверхность притягивает электрон (положительный заряд на поверхности), то направление перехода противоположное. Между наночастицами, зарядившими- ся относительно друг друга в результате таких процессов, возника- ют электростатические силы. Электрическое поле, возникшее меж- ду частицами в плоскости эмиттера, складывается с внешним по- лем, перпендикулярным плоскости эмиттера (аномальный эффект Шоттки [9, 10]), что приводит к понижению эффективной работы выхода и к повышению эмиссионных характеристик образца. 4. ВЫВОДЫ 1. Установлена знакопеременная электронная эмиссия с поверхно- сти ориентированных плотноупакованных УНТ на Ni-подложке под действием лазерного излучения: при Е < 0,3 Дж электроны эмитируют с поверхности катода, а при Е > 0,74 Дж эмиссия пре- имущественно происходит с поверхности анода из-за удаления нанотрубок с поверхности катода, что приводит к появлению нано- структурной углеродной пленки на аноде, обусловливающей эф- фективную эмиссию электронов и увеличение коэффициента отра- жения излучения катода. 2. Эмиссионные показатели полученной наноструктурной пленки, состоящей из наночастиц сферической формы со значительным разбросом по диаметрам, значительно выше, чем у массива ориен- тированных плотноупакованных УНТ на Ni-подложке. ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА 1. Yu. V. Gulyaev, L. A. Chernozatonskii, Z. Ya. Kosakovskaya et al., Revue ‘Le Vide, les Couches Minces’, Supplément No. 271: 322 (1994). 2. Г. С. Бочаров, А. В. Елецкий, ЖТФ, 75, № 7: 126 (2005). 3. Ю. В. Гуляев, Н. И. Синицын, Г. В. Торгашов и др., Микроэлектроника, 26, № 2: 84 (1997). 4. А. Н. Образцов, А. П. Волков, Г. М. Михеев и др., ЖТФ, 75, вып. 6: 136 176 И. М. СИДОРЧЕНКО, Д. В. ЩУР, М. М. НИЩЕНКО и др. (2005). 5. А. Прядко, http://rus.625.net.ru/625/2005/01/prjadko.htm. 6. М. М. Нищенко, Н. А. Шевченко, Д. В. Щур, В. А. Боголепов, А. Г. Дубо- вой, И. М. Сидорченко, Перспективные материалы, № 3: 10 (2010). 7. Э. Л. Нагаев, УФН, 162, № 9: 49 (1992). 8. Э. Л. Нагаев, ФТТ, 25, № 5: 1439 (1983). 9. Л. А. Ашкинази, В. С. Петров, Материалы электронных эмиттеров. Ч. II. Термоэлектронные катоды: Учебное пособие (Москва: Моск. гос. ин-т элек- троники и математики: 1997). 10. Б. М. Царев, Контактная разность потенциалов и её влияние на работу электровакуумных приборов (Москва—Ленинград: Гостехиздат: 1949).
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-75220
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1816-5230
language Russian
last_indexed 2025-12-02T04:49:22Z
publishDate 2012
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
record_format dspace
spelling Сидорченко, И.М.
Щур, Д.В.
Нищенко, М.М.
Шевченко, Н.А.
Боголепов, В.А.
Дубовой, А.Г.
2015-01-27T17:44:04Z
2015-01-27T17:44:04Z
2012
Формирование эффективных эмиттеров электронов при лазерном испарении ориентированных углеродных нанотрубок / И.М. Сидорченко, Д.В. Щур, М.М. Нищенко, Н.А. Шевченко, В.А. Боголепов, А.Г. Дубовой // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2012. — Т. 10, № 1. — С. 169-176. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
1816-5230
PACS numbers: 68.37.Hk, 78.45.+h, 79.60.Jv, 79.70.+q, 81.05.ub, 81.16.Mk, 85.35.Kt
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75220
Исследованы процессы эмиссии электронов с поверхности ориентированных углеродных нанотрубок на Ni-подложке под действием импульсного лазерного излучения миллисекундной длительности. При значении энергии лазерного импульса E ≥ 0,3 Дж происходит испарение углеродных нанотрубок с поверхности Ni-подложки и осаждение углерода на молибденовом аноде в виде слоя, состоящего из сферических наночастиц размерами от 50 до 500 нм. Это приводит к смене знака эмиссионного тока (эмиссия с анода на катод). Образовавшаяся на Мо-аноде структура является более эффективным эмиттером по сравнению с эмиттером из плотноупакованных ориентированных многослойных нанотрубок на Ni-подложке.
Досліджено процеси емісії електронів з поверхні орієнтованих вуглецевих нанорурок на Ni-підложжі під дією імпульсного лазерного випромінення мілісекундної тривалости. При значенні енергії лазерного імпульсу E ≥ 0,3 Дж відбувається випаровування вуглецевих нанорурок з поверхні Ni-підложжя і осадження вуглецю на молібденовій аноді у вигляді шару, що складається зі сферичних вуглецевих наночастинок розмірами від 50 до 500 нм. Це призводить до зміни знаку емісійного струму (емісія з аноди на катоду). Структура, що утворилася на Мо-аноді, є більш ефективним емітером у порівнянні з емітером зі щільноупакованих орієнтованих багатошарових нанорурок на Ni-підложжі.
The processes of electron emission from the surface of oriented carbon nanotubes on the Ni substrate under the influence of pulsed laser energy are investigated. In the case of the laser pulse energy E ≥ 0.3 J, the carbonnanotubes’ evaporation from the surface of Ni substrate and further carbon deposition on the molybdenum anode in the form of film, which consists of spherical carbon nanoparticles with sizes from 50 to 500 nm, take place. This leads to a change in the sign of the emission current (emission flows from the anode to the cathode). Structure formed on the Mo anode is more efficient emitter as compared with the emitter of close-packed oriented multilayer nanotubes on the Ni substrate.
ru
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Формирование эффективных эмиттеров электронов при лазерном испарении ориентированных углеродных нанотрубок
Article
published earlier
spellingShingle Формирование эффективных эмиттеров электронов при лазерном испарении ориентированных углеродных нанотрубок
Сидорченко, И.М.
Щур, Д.В.
Нищенко, М.М.
Шевченко, Н.А.
Боголепов, В.А.
Дубовой, А.Г.
title Формирование эффективных эмиттеров электронов при лазерном испарении ориентированных углеродных нанотрубок
title_full Формирование эффективных эмиттеров электронов при лазерном испарении ориентированных углеродных нанотрубок
title_fullStr Формирование эффективных эмиттеров электронов при лазерном испарении ориентированных углеродных нанотрубок
title_full_unstemmed Формирование эффективных эмиттеров электронов при лазерном испарении ориентированных углеродных нанотрубок
title_short Формирование эффективных эмиттеров электронов при лазерном испарении ориентированных углеродных нанотрубок
title_sort формирование эффективных эмиттеров электронов при лазерном испарении ориентированных углеродных нанотрубок
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75220
work_keys_str_mv AT sidorčenkoim formirovanieéffektivnyhémitterovélektronovprilazernomispareniiorientirovannyhuglerodnyhnanotrubok
AT ŝurdv formirovanieéffektivnyhémitterovélektronovprilazernomispareniiorientirovannyhuglerodnyhnanotrubok
AT niŝenkomm formirovanieéffektivnyhémitterovélektronovprilazernomispareniiorientirovannyhuglerodnyhnanotrubok
AT ševčenkona formirovanieéffektivnyhémitterovélektronovprilazernomispareniiorientirovannyhuglerodnyhnanotrubok
AT bogolepovva formirovanieéffektivnyhémitterovélektronovprilazernomispareniiorientirovannyhuglerodnyhnanotrubok
AT dubovoiag formirovanieéffektivnyhémitterovélektronovprilazernomispareniiorientirovannyhuglerodnyhnanotrubok