Фазовий склад і терморезистивні властивості плівкових систем Ge/Fe і Ag/Fe
Вивчено особливості фазового складу, кристалічної структури та терморезистивних властивостей плівкових систем Ge/Fe і Ag/Fe. Наведено експериментальні результати, які встановлюють кореляцію між структурно- фазовим складом плівкових систем та їх електрофізичними властивостями. The features of the ph...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
|---|---|
| Datum: | 2012 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2012
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75865 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Фазовий склад і терморезистивні властивості плівкових систем Ge/Fe і Ag/Fe / О.В. Власенко, О.В. Пилипенко, Л.В. Однодворець // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2012. — Т. 10, № 3. — С. 511-518. — Бібліогр.: 6 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859590370390704128 |
|---|---|
| author | Власенко, О.В. Пилипенко, О. В. Однодворець, Л. В. |
| author_facet | Власенко, О.В. Пилипенко, О. В. Однодворець, Л. В. |
| citation_txt | Фазовий склад і терморезистивні властивості плівкових систем Ge/Fe і Ag/Fe / О.В. Власенко, О.В. Пилипенко, Л.В. Однодворець // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2012. — Т. 10, № 3. — С. 511-518. — Бібліогр.: 6 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| description | Вивчено особливості фазового складу, кристалічної структури та терморезистивних властивостей плівкових систем Ge/Fe і Ag/Fe. Наведено експериментальні результати, які встановлюють кореляцію між структурно-
фазовим складом плівкових систем та їх електрофізичними властивостями.
The features of the phase composition, crystal structure, and thermoresistive
properties of film Ge/Fe and Ag/Fe systems are studied. Experimental results
are presented, with which a correlation between the structural and phase composition
of film systems and their electrophysical properties is revealed.
Изучены особенности фазового состава, кристаллической структуры и терморезистивных свойств плёночных систем Ge/Fe и Ag/Fe. Приведены экспериментальные результаты, которые устанавливают корреляцию между
структурно-фазовым составом плёночных систем и их электрофизическими
свойствами.
|
| first_indexed | 2025-11-27T13:49:59Z |
| format | Article |
| fulltext |
511
PACS numbers: 68.37.Lp, 68.55.Nq,68.60.Dv,72.15.Jf,73.40.Jn,73.50.Lw 73.61.At
Фазовий склад і терморезистивні властивості плівкових
систем Ge/Fe і Ag/Fe
О. В. Власенко, О. В. Пилипенко, Л. В. Однодворець
Сумський державний університет,
вул. Римського-Корсакова, 2,
40007 Суми, Україна
Вивчено особливості фазового складу, кристалічної структури та терморе-
зистивних властивостей плівкових систем Ge/Fe і Ag/Fe. Наведено експе-
риментальні результати, які встановлюють кореляцію між структурно-
фазовим складом плівкових систем та їх електрофізичними властивостями.
The features of the phase composition, crystal structure, and thermoresistive
properties of film Ge/Fe and Ag/Fe systems are studied. Experimental results
are presented, with which a correlation between the structural and phase com-
position of film systems and their electrophysical properties is revealed.
Изучены особенности фазового состава, кристаллической структуры и тер-
морезистивных свойств плёночных систем Ge/Fe и Ag/Fe. Приведены экс-
периментальные результаты, которые устанавливают корреляцию между
структурно-фазовым составом плёночных систем и их электрофизическими
свойствами.
Ключові слова: Ge/Fe, Ag/Fe, фазовий склад, терморезистивні властивості,
термічний коефіцієнт опору.
(Отримано 7 липня 2011 р.)
1. ВСТУП
Тонкоплівкові приладові плівкові системи типу феромагнетик/на-
півпровідник і феромагнетик/шляхетний метал широко застосову-
ються в сучасній мікроелектроніці та сенсорному приладобудуванні
для створення нагромаджувачів інформації великої місткости, вимі-
рювачів малих та великих електричних струмів, магнетовимірюва-
чів, діод і транзисторів Шотткі, елементів спінтроніки та діягности-
чних приладів. Відносна простота формування багатошарових стру-
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Nanosystems, Nanomaterials, Nanotechnologies
2012, т. 10, № 3, сс. 511—518
© 2012 ІМФ (Інститут металофізики
ім. Г. В. Курдюмова НАН України)
Надруковано в Україні.
Фотокопіювання дозволено
тільки відповідно до ліцензії
512 О. В. ВЛАСЕНКО, О. В. ПИЛИПЕНКО, Л. В. ОДНОДВОРЕЦЬ
ктур такого типу, їх унікальні фізичні властивості та широкий спек-
тер можливостей застосування пояснює зацікавленість до експери-
ментального і теоретичного дослідження електрофізичних і магне-
торезистивних властивостей та фазових перетворень у процесі тер-
мооброблення при різних умовах перемішування окремих компо-
нент системи. Так у роботі [1] вказано на інтенсивні дифузійні проце-
си в системі Ge/Fe, що призводить до утворення розмитих інтерфей-
сів. У мультишарах Ag/Fe можливо формування упорядкованих
структур, оскільки їх компоненти не перемішуються [2]. За даними
роботи [3], при одночасному осадженні компонент не більше 20 ат.%
Ag може бути розчинено в ґратниці ОЦК-Fe. Авторами [4] методою
імпульсного лазерного розпорошення при кімнатній температурі бу-
ли одержані плівкові стопи Fe—Ag, які при концентрації Ag до 15%
мають ОЦК-структуру, а при концентраціях Ag від 15 до 40% –
двофазний склад (ОЦК-Fe + ГЦК-Ag). Ці результати вказують на те,
що взаємна дифузія атомів Fe і Ag практично відсутня.
Штучно створені системи типу феромагнетик/напівпровідник і
феромагнетик/шляхетний метал мають широкі перспективи з точ-
ки зору їх використання для створення елементів оперативної
пам’яті на магнетних наноструктурах, багатофункціональних сен-
сорів, термостабільних спінових діод і транзисторів [5].
2. МЕТОДИКА І ТЕХНІКА ЕКСПЕРИМЕНТУ
Для одержання двошарових плівкових зразків на основі Fe і Ge або
Ag використовувалася вакуумна устава типу ВУП-5М. Пошарова
конденсація і термовідпалювання плівкових систем Ge/Fe/П здійс-
нювались терморезистивною методою при температурі підкладки
(П) Тп ≅ 300 К і відпалювання Т ≅ 900 К, а у випадку системи Ag/Fe
Тп ≅ 500 К і Тв ≅ 900 К.
Вимірювання електричного опору виконувалося в автоматичному
режимі за допомогою програмно-апаратного комплексу (рис. 1). Ке-
рування процесом термовідпалювання здійснювалось програмним
забезпеченням у стилі багатовіконного інтерфейсу, розробленим у
середовищі графічного програмування LabVIEW. На вкладках голо-
вного вікна програми розташовані елементи керування (вони зада-
ють параметри термовідпалення, зчитування інформації та роботи
програмно-апаратного комплексу) та деякі з елементів виводу інфо-
рмації. Вимірювання електричного опору виконувалось за чотири-
точковою схемою з використанням 8-канальних 16-бітних сигма-
дельта АЦП ADAM-4018 і ADAM-4118 [6]. Для визначення величи-
ни опору кожного зразка було сконструйовано окремий вимірюва-
льний контур на основі сталих резисторів високого класу точности.
Кристалічна структура і фазовий склад зразків досліджувався
методами електронної мікроскопії та електронографії (прилад
СКЛАД І ТЕРМОРЕЗИСТИВНІ ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВКОВИХ СИСТЕМ Ge/Fe І Ag/Fe 513
ПЕМ-125К).
3. РЕЗУЛЬТАТИ ТА ЇХ ОБГОВОРЕННЯ
Дослідження фазового складу плівкових систем на основі Fe і Ge
вказують на його залежність від температур підкладки і відпалю-
вання. Зокрема, при конденсації плівок Ge на аморфні підкладки
(плівка вуглецю, ситал) вони також мають аморфну структуру, а
при конденсації на плівку Fe – квазиаморфну (ка-Ge, відносно ни-
зькі температури підкладки) або кристалічну (к-Ge) структуру.
Плівки Fe, незалежно від температури підкладки, мають кристалі-
чну структуру. Двошарові плівки Ge(20)/Fe(30)/П у невідпаленому
і відпаленому стані (рис. 2, табл. 1 і 2) мають кристалічну будову за
а
б
Рис. 1. Структурна схема автоматизованої системи для дослідження тер-
морезистивних властивостей плівкових матеріялів та зовнішній вигляд
головного вікна програми для автоматичного відпалювання зразків за
схемою «нагрівання—охолодження».
514 О. В. ВЛАСЕНКО, О. В. ПИЛИПЕНКО, Л. В. ОДНОДВОРЕЦЬ
виключенням, що у першому випадку утвориться незначна кіль-
кість аморфного GeO2 (a-GeO2). На електронограмах від термовідпа-
лених зразків (рис. 2, б) фіксуються лінії к-GeO2, ОЦК-Fe та гекса-
гональної фази GeFe.
Типові електронограми і мікрознімки структури плівкових сис-
тем Ag/Fe/П у невідпаленому і відпаленому стані представлено на
рис. 3. Розшифрування електронограм (табл. 3 і 4) вказують на не-
значну розчинність атомів Fe у плівці Ag, оскільки параметер ґрат-
ниці Ag в цілому має величину дещо меншу в порівнянні з масив-
ними зразками.
Розшифрування електронограм щойносконденсованої та термос-
табілізованої плівкової системи Ag(30)/Fe(30)/П представлено в
табл. 3 і 4. Як витікає з цих результатів, у даній плівковій системі
зберігається індивідуальність окремих шарів, що можна пояснити
особливістю формування зразків методою пошарової конденсації.
Рис. 2. Мікроструктура і відповідні їй електронограми невідпаленої плів-
кової системи Ge(20)/Fe(30)/П (а) та відпаленої до 900 К (б). В дужках
указана товщина в нм.
Рис. 3. Мікроструктура невідпаленої (а) та відпаленої до Т = 800 К (б) плів-
ки Ag(30)/Fe(30)/П.
Т
А
Б
Л
И
Ц
Я
1
. Р
о
з
ш
и
ф
р
у
в
а
н
н
я
е
л
е
к
т
р
о
н
о
г
р
а
м
и
в
ід
щ
о
й
н
о
с
к
о
н
д
е
н
с
о
в
а
н
о
ї
п
л
ів
к
и
к
а
-G
e
(2
0
)/
F
e
(3
0
)/
П
.
№
I
,
в
.о
.
d
h
k
l,
Å
h
k
l
Ф
а
з
а
a
,
Å
1
С
3
,5
2
8
1
1
0
а
-G
e
O
2
–
2
Д
С
2
,0
3
1
1
3
1
1
0
к
а
-G
e
О
Ц
К
-F
e
–
2
,8
6
0
3
с
л
1
,8
1
1
3
1
1
к
а
-G
e
–
4
С
1
,4
4
2
0
0
О
Ц
К
-F
e
2
,8
6
1
5
С
1
,1
9
7
3
2
4
к
а
-G
e
–
6
с
л
1
,0
8
9
4
2
0
к
а
-G
e
–
7
с
л
0
,9
1
3
1
0
О
Ц
К
-F
e
2
,8
5
8
8
с
л
0
,8
3
2
2
2
О
Ц
К
-F
e
2
,8
5
9
Д
С
–
д
у
ж
е
с
и
л
ь
н
а
,
С
–
с
и
л
ь
н
а
,
с
л
–
с
л
а
б
к
а
F
e
a
=
2
,8
5
9
Т
А
Б
Л
И
Ц
Я
2
. Р
о
з
ш
и
ф
р
у
в
а
н
н
я
е
л
е
к
т
р
о
н
о
г
р
а
м
и
в
ід
т
е
р
м
о
в
ід
п
а
л
е
н
о
ї
д
о
9
0
0
К
п
л
ів
к
о
в
о
ї
с
и
с
т
е
м
и
к
-G
e
(2
0
)/
F
e
(3
0
)/
П
.
№
I
,
в
.о
.
d
h
k
l,
Å
h
k
l
Ф
а
з
а
a
,
Å
1
с
л
3
,5
2
6
1
1
0
к
-G
e
O
2
–
2
с
л
2
,8
7
9
1
0
2
к
-G
e
O
2
–
3
с
л
2
,5
0
3
1
1
0
Г
Ц
Т
-G
e
F
e
5
,0
0
2
4
Д
С
2
,0
2
9
0
0
2
1
0
1
Г
Ц
Т
-G
e
F
e
О
Ц
К
-F
e
–
–
5
с
л
1
,6
2
3
1
0
3
О
Ц
К
-F
e
–
6
с
л
1
,5
1
8
2
1
1
Г
Ц
Т
-G
e
F
e
–
7
с
л
1
,4
4
5
3
0
0
Г
Ц
Т
-G
e
F
e
5
,0
0
4
8
с
л
1
,2
5
1
2
2
0
Г
Ц
Т
-G
e
F
e
5
,0
0
3
9
с
л
1
,1
4
7
2
0
3
Г
Ц
Т
-G
e
F
e
–
1
0
с
л
1
,0
4
1
2
0
2
1
О
Ц
К
-F
e
–
Г
Ц
Т
–
г
р
а
н
е
ц
е
н
т
р
о
в
а
н
а
т
е
т
р
а
г
о
н
а
л
ь
н
а
G
e
F
e
a
=
5
,0
0
3
СКЛАД І ТЕРМОРЕЗИСТИВНІ ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВКОВИХ СИСТЕМ Ge/Fe І Ag/Fe 515
Т
А
Б
Л
И
Ц
Я
3
. Р
о
з
ш
и
ф
р
у
в
а
н
н
я
е
л
е
к
т
р
о
н
о
г
р
а
м
и
в
ід
щ
о
й
н
о
с
к
о
д
е
н
с
о
в
а
н
о
ї
п
л
ів
к
о
в
о
ї
с
и
с
т
е
м
и
A
g
(3
0
)/
F
e
(3
0
)/
П
.
№
I
,
в
.о
.
d
h
k
l,
Å
Ф
а
з
а
h
k
l
a
,
Å
1
C
2
,3
5
8
0
A
g
1
1
1
4
,0
8
4
2
Д
С
2
,0
4
0
6
2
,0
2
0
0
A
g
;
F
e
2
0
0
1
1
0
4
,0
8
1
;
2
,8
7
6
3
с
р
1
,4
4
2
9
1
,4
3
8
7
A
g
;
F
e
2
2
0
2
0
0
4
,0
8
1
;
2
,8
7
7
4
с
р
1
,2
3
4
8
A
g
3
1
1
4
,0
8
7
5
с
р
1
,1
8
0
0
1
,1
6
9
8
A
g
;
F
e
2
2
2
2
1
1
4
,0
8
7
;
2
,8
6
5
6
с
л
1
,0
2
2
0
1
,0
2
1
0
A
g
;
F
e
4
0
0
2
2
0
4
,0
8
8
;
2
,8
6
7
7
с
л
0
,9
3
7
0
A
g
3
3
1
4
,0
8
4
9
с
л
0
,9
1
3
5
A
g
4
2
0
4
,0
8
5
A
g
a
=
4
,0
8
5
,
F
e
a
=
2
,8
7
1
Т
А
Б
Л
И
Ц
Я
4
.Р
о
з
ш
и
ф
р
у
в
а
н
н
я
е
л
е
к
т
р
о
н
о
г
р
а
м
и
в
ід
т
е
р
м
о
в
ід
п
а
л
е
н
о
ї
д
о
8
0
0
К
п
л
ів
к
о
в
о
ї
с
и
с
т
е
м
и
A
g
(3
0
)/
F
e
(3
0
)/
П
.
№
I
,
в
.о
.
d
h
k
l,
Å
Ф
а
з
а
h
k
l
a
,
Å
1
C
2
,3
5
9
8
A
g
1
1
1
4
,0
8
7
2
Д
С
2
,0
4
4
1
2
,0
3
5
0
A
g
;
F
e
2
0
0
1
1
0
4
,0
8
8
;
2
,8
7
8
3
с
р
1
,4
4
1
8
1
,4
3
4
7
A
g
;
F
e
2
2
0
2
0
0
4
,0
7
8
;
2
,8
6
9
4
с
р
1
,2
3
1
1
A
g
3
1
1
4
,0
8
3
5
с
р
1
,1
7
7
5
1
,1
7
1
5
A
g
;
F
e
2
2
2
2
1
1
4
,0
7
9
;
2
,8
6
9
6
с
л
1
,0
2
0
5
1
,0
1
4
8
A
g
;
F
e
4
0
0
2
2
0
4
,0
8
2
;
2
,8
7
0
7
с
л
0
,9
3
5
2
A
g
3
3
1
4
,0
7
6
8
с
л
0
,9
1
3
9
A
g
4
2
0
4
,0
8
7
A
g
a
=
4
,0
8
3
,
F
e
a
=
2
,8
7
0
516 О. В. ВЛАСЕНКО, О. В. ПИЛИПЕНКО, Л. В. ОДНОДВОРЕЦЬ
СКЛАД І ТЕРМОРЕЗИСТИВНІ ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВКОВИХ СИСТЕМ Ge/Fe І Ag/Fe 517
Типові температурні залежності питомого опору ρ(T) і термічного
коефіцієнта опору β(T) для систем на основі Ge і Fe представлено на
рис. 4. Їх характерною особливістю є велике значення ρ і, відповід-
но, – відносно мале значення β, що можна пояснити утворенням
обмежених твердих розчинів атомів Ge у шарі Fe.
Можна стверджувати, що, в цьому випадку, як і в системі
Ag/Fe/П, до великої міри зберігається індивідуальність окремих
шарів. Максимум, який спостерігається при температурі відпалю-
вання 700 К, можна пояснити частковою рекристалізацією ка-Ge
(перехід ка-Ge → к-Ge) з утворенням кристалітів фази Ge2Fe, яка
при подальшому відпалюванні до 900 К переходить у фазу GeFe.
Рис. 4. Температурні залежності ρ і β для системи Ge(40)/Fe(30)/П. Рим-
ськими цифрами вказані номери термостабілізаційних циклів.
а б
Рис. 5. Температурні залежності ρ і β для системи Ag(30)/Fe(30)/П (а) та
Ag(10)/Fe(30)/П (б). Загальна концентрація атомів Ag у плівковій системі
складає 37 (а) і 17 (б) ат.%.
518 О. В. ВЛАСЕНКО, О. В. ПИЛИПЕНКО, Л. В. ОДНОДВОРЕЦЬ
Дослідження терморезистивних властивостей плівкової системи
на основі Ag і Fe (рис. 5) вказують на те, що вони також мають від-
носно великий ρ і малий β, що можна пояснити утворенням обме-
жених твердих розчинів атомів Ge у шарах Fe (система Ge/Fe) та
атомів Fe у шарах Ag (система Ag/Fe). Цей висновок до великої мі-
ри підтверджується результатами електронографічної аналізи
(табл. 3 і 4).
4. ВИСНОВКИ
Виконані дослідження структурно-фазового стану і електрофізич-
них властивостей плівкових систем на основі ка- (або а-) Ge і Fe та
Ag і Fe вказують на те, що при пошаровій конденсації з наступним
термовідпалюванням цих систем не реалізуються до кінця умови
стабілізації твердих розчинів атомів Ge у шарах Fe та атомів Fe у
шарах Ag, у зв’язку з утворенням фаз GeFe і Ge2Fe у першому випа-
дку та неефективністю дифузійних процесів при термообробленні в
другому. Поряд з цим, відносно велике значення питомого опору і,
відповідно, мале значення термічного коефіцієнта опору можуть
якісно свідчити про утворення обмежених твердих розчинів.
Роботу виконано в межах бюджетної тематики №0112U001381 при
фінансовій підтримці МОНМС України.
ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
1. Л. А. Чеботкевич, А. В. Огнев, Ю. П. Иванов, K. Lenz, А. И. Ильин, К. С.
Ермаков, ФТТ, 51: 1761 (2009).
2. T. Phalet and M. J. Prandolini, Phys. Rev. B, 71: 144301 (2005).
3. S. Kahl and H.-U. Krebs, Phys. Rev. B, 63: 172103 (2000).
4. F. Liu, Applied Physics A, 81: 4343 (2005).
5. В. Е. Буравцова, Е. А. Ганьшина, В. С. Гущин, С. И. Касаткин, А. М. Мура-
вьев, Н. В. Плотникова, Ф. А. Пудонин, ФТТ, 46, № 5: 864 (2004).
6. В. О. Зленко, С. І. Проценко, Р. Сафаріч, Журнал нано- та електронної фі-
зики, 1, № 2: 34 (2009).
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-75865 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1816-5230 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-11-27T13:49:59Z |
| publishDate | 2012 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Власенко, О.В. Пилипенко, О. В. Однодворець, Л. В. 2015-02-05T13:06:49Z 2015-02-05T13:06:49Z 2012 Фазовий склад і терморезистивні властивості плівкових систем Ge/Fe і Ag/Fe / О.В. Власенко, О.В. Пилипенко, Л.В. Однодворець // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2012. — Т. 10, № 3. — С. 511-518. — Бібліогр.: 6 назв. — укр. 1816-5230 PACSnumbers:68.37.Lp,68.55.Nq,68.60.Dv,72.15.Jf,73.40.Jn,73.50.Lw73.61.At https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75865 Вивчено особливості фазового складу, кристалічної структури та терморезистивних властивостей плівкових систем Ge/Fe і Ag/Fe. Наведено експериментальні результати, які встановлюють кореляцію між структурно- фазовим складом плівкових систем та їх електрофізичними властивостями. The features of the phase composition, crystal structure, and thermoresistive properties of film Ge/Fe and Ag/Fe systems are studied. Experimental results are presented, with which a correlation between the structural and phase composition of film systems and their electrophysical properties is revealed. Изучены особенности фазового состава, кристаллической структуры и терморезистивных свойств плёночных систем Ge/Fe и Ag/Fe. Приведены экспериментальные результаты, которые устанавливают корреляцию между структурно-фазовым составом плёночных систем и их электрофизическими свойствами. Роботу виконано в межах бюджетної тематики №0112U001381 при фінансовій підтримці МОНМС України. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Фазовий склад і терморезистивні властивості плівкових систем Ge/Fe і Ag/Fe Article published earlier |
| spellingShingle | Фазовий склад і терморезистивні властивості плівкових систем Ge/Fe і Ag/Fe Власенко, О.В. Пилипенко, О. В. Однодворець, Л. В. |
| title | Фазовий склад і терморезистивні властивості плівкових систем Ge/Fe і Ag/Fe |
| title_full | Фазовий склад і терморезистивні властивості плівкових систем Ge/Fe і Ag/Fe |
| title_fullStr | Фазовий склад і терморезистивні властивості плівкових систем Ge/Fe і Ag/Fe |
| title_full_unstemmed | Фазовий склад і терморезистивні властивості плівкових систем Ge/Fe і Ag/Fe |
| title_short | Фазовий склад і терморезистивні властивості плівкових систем Ge/Fe і Ag/Fe |
| title_sort | фазовий склад і терморезистивні властивості плівкових систем ge/fe і ag/fe |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75865 |
| work_keys_str_mv | AT vlasenkoov fazoviiskladítermorezistivnívlastivostíplívkovihsistemgefeíagfe AT pilipenkoov fazoviiskladítermorezistivnívlastivostíplívkovihsistemgefeíagfe AT odnodvorecʹlv fazoviiskladítermorezistivnívlastivostíplívkovihsistemgefeíagfe |