Формування металевого характеру електропровідности у вакуумних конденсатах міді, нанесених на поверхню підшару кремнію субатомової товщини

• Veröffentlicht in: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Datum: 2013
• Hauptverfasser: Бігун, Р.І., Бучковська, М.Д., Стасюк, З.В., Леонов, Д.С.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainisch
• Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2013
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75920
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Формування металевого характеру електропровідности у
 вакуумних конденсатах міді, нанесених на поверхню підшару
 кремнію субатомової товщини
 / Р.І. Бігун, М.Д. Бучковська, З.В. Стасюк, Д.С. Леонов
 // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2013. — Т. 11, № 2. — С. 259-267. — Бібліогр.: 9 назв. — укр.

В умовах надвисокого вакууму (тиск залишкових газів P ≤ 10⁻⁷ Па) досліджено вплив морфології плівок міді, нанесених на поверхню скла, покриту підшаром кремнію масовою товщиною dSi ≤ 5 нм, на особливості розмірних залежностей електропровідности плівок. Результати експерименту кількісно описано з вико...