Ионно-плазменное нанесение наноструктурированных многокомпонентныхпокрытий на термолабильные материалы

• Published in: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Date: 2014
• Main Authors: Осипов, Л.С., Полоцкий, Д.Ю., Беспалов, С.А., Сницар, М.С., Невмержицкий, В.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75951
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Ионно-плазменное нанесение наноструктурированных
 многокомпонентныхпокрытий на термолабильные материалы / Л.С. Осипов, Д.Ю. Полоцкий, С.А. Беспалов, М.С. Сницар, В.И. Невмержицкий// Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 1. — С. 73-80. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Исследованы состав и структура многокомпонентных плёнок, сформированных с помощью вакуумно-дугового источника с локализацией разряда
 вблизи рабочей поверхности катода, изготовленного из стандартных сплавов. При нанесении в прямом потоке в плёнках сохраняется табличный состав, плотность, электропроводность и другие физико-технические характеристики материала катода. Досліджено склад і структуру багатокомпонентних плівок, сформованих за
 допомогою вакуумно-дугового джерела з локалізацією розряду поблизу робочої поверхні катоду, виготовленого зі стандартних стопів. При нанесенні у
 прямому потоці в плівках зберігається табличний склад, густина, електропровідність та інші фізико-технічні характеристики матеріалу катоду. Composition and structure of the multicomponent films are investigated in the
 case when they are fabricated by the vacuum-arc source with the discharge located
 near the working surface of the cathode made of the standard alloys. The
 table composition, density, electric conductivity and other physical and technical
 specifications of the cathode material are saved when the deposition occurs
 in the direct flow.