Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии
Определена адгезионная прочность тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах (кремнии Кр0, оптическом стекле К8) c применением метода атомноиловой микроскопии и использованием многопроходного сканирования образца с постепенным внедрением зонда атомно-силового микроскопа в исследуемую пове...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
|---|---|
| Дата: | 2014 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2014
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75964 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Определение адгезионной прочности тонких оксидных
 покрытий на диэлектрических материалах
 методом атомно-силовой микроскопии / С.А. Билоконь, М.А. Бондаренко, Ю.Ю. Бондаренко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 295-302. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862699206888652800 |
|---|---|
| author | Билоконь, С.А. Бондаренко, М.А. Бондаренко, Ю. Ю. |
| author_facet | Билоконь, С.А. Бондаренко, М.А. Бондаренко, Ю. Ю. |
| citation_txt | Определение адгезионной прочности тонких оксидных
 покрытий на диэлектрических материалах
 методом атомно-силовой микроскопии / С.А. Билоконь, М.А. Бондаренко, Ю.Ю. Бондаренко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 295-302. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| description | Определена адгезионная прочность тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах (кремнии Кр0, оптическом стекле К8) c применением метода атомноиловой микроскопии и использованием многопроходного сканирования образца с постепенным внедрением зонда атомно-силового микроскопа в исследуемую поверхность. Подобран режим
качественного определения адгезионной прочности тонких покрытий путём подбора шага внедрения зонда в диапазоне глубин 1–10 нм. Установлено, что с увеличением толщины покрытия его адгезионная прочность
уменьшается по экспоненциальному закону.
Визначено адгезійну міцність тонких оксидних покриттів на діелектричних матеріялах (кремній Кр0, оптичне скло К8) із застосуванням методи
атомно-силової мікроскопії з використанням багатопрохідного сканування зразка з поступовим втіленням зонда атомно-силового мікроскопа у
досліджувану поверхню. Підібрано режим якісного визначення адгезійної міцности тонких покриттів шляхом підбору кроку втілення зонда в
діяпазоні глибин 1–10 нм. Встановлено, що зі збільшенням товщини покриття його адгезійна міцність зменшується за експоненційним законом.
Adhesion strength of thin oxide coatings on dielectric materials (silicon, optical
glass) is determined. The method of atomic-force microscopy and multiple-pass
scanning of sample is used with a gradual indentation of the atomicforce
microscope probe into the investigated surface. The mode of qualitative
determination of adhesion strength of thin coatings by means of the selection
of probe indentation step within the depth range of 1–10 nm is proposed. As
established, with the increase of coating thickness, its adhesion strength decreases
exponentially.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:34:35Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-75964 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1816-5230 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:34:35Z |
| publishDate | 2014 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Билоконь, С.А. Бондаренко, М.А. Бондаренко, Ю. Ю. 2015-02-06T16:33:51Z 2015-02-06T16:33:51Z 2014 Определение адгезионной прочности тонких оксидных
 покрытий на диэлектрических материалах
 методом атомно-силовой микроскопии / С.А. Билоконь, М.А. Бондаренко, Ю.Ю. Бондаренко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 295-302. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 1816-5230 PACSnumbers:07.79.Lh,62.20.Qp,68.35.Np,68.37.Ps,68.47.Gh,85.35.-p,85.85.+j https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75964 Определена адгезионная прочность тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах (кремнии Кр0, оптическом стекле К8) c применением метода атомноиловой микроскопии и использованием многопроходного сканирования образца с постепенным внедрением зонда атомно-силового микроскопа в исследуемую поверхность. Подобран режим
 качественного определения адгезионной прочности тонких покрытий путём подбора шага внедрения зонда в диапазоне глубин 1–10 нм. Установлено, что с увеличением толщины покрытия его адгезионная прочность
 уменьшается по экспоненциальному закону. Визначено адгезійну міцність тонких оксидних покриттів на діелектричних матеріялах (кремній Кр0, оптичне скло К8) із застосуванням методи
 атомно-силової мікроскопії з використанням багатопрохідного сканування зразка з поступовим втіленням зонда атомно-силового мікроскопа у
 досліджувану поверхню. Підібрано режим якісного визначення адгезійної міцности тонких покриттів шляхом підбору кроку втілення зонда в
 діяпазоні глибин 1–10 нм. Встановлено, що зі збільшенням товщини покриття його адгезійна міцність зменшується за експоненційним законом. Adhesion strength of thin oxide coatings on dielectric materials (silicon, optical
 glass) is determined. The method of atomic-force microscopy and multiple-pass
 scanning of sample is used with a gradual indentation of the atomicforce
 microscope probe into the investigated surface. The mode of qualitative
 determination of adhesion strength of thin coatings by means of the selection
 of probe indentation step within the depth range of 1–10 nm is proposed. As
 established, with the increase of coating thickness, its adhesion strength decreases
 exponentially. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии Article published earlier |
| spellingShingle | Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии Билоконь, С.А. Бондаренко, М.А. Бондаренко, Ю. Ю. |
| title | Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии |
| title_full | Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии |
| title_fullStr | Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии |
| title_full_unstemmed | Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии |
| title_short | Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии |
| title_sort | определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75964 |
| work_keys_str_mv | AT bilokonʹsa opredelenieadgezionnoipročnostitonkihoksidnyhpokrytiinadiélektričeskihmaterialahmetodomatomnosilovoimikroskopii AT bondarenkoma opredelenieadgezionnoipročnostitonkihoksidnyhpokrytiinadiélektričeskihmaterialahmetodomatomnosilovoimikroskopii AT bondarenkoûû opredelenieadgezionnoipročnostitonkihoksidnyhpokrytiinadiélektričeskihmaterialahmetodomatomnosilovoimikroskopii |