Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии
Определена адгезионная прочность тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах (кремнии Кр0, оптическом стекле К8) c применением метода атомноиловой микроскопии и использованием многопроходного сканирования образца с постепенным внедрением зонда атомно-силового микроскопа в исследуемую пове...
Saved in:
| Published in: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
|---|---|
| Date: | 2014 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2014
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75964 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии / С.А. Билоконь, М.А. Бондаренко, Ю.Ю. Бондаренко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 295-302. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-75964 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Билоконь, С.А. Бондаренко, М.А. Бондаренко, Ю. Ю. 2015-02-06T16:33:51Z 2015-02-06T16:33:51Z 2014 Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии / С.А. Билоконь, М.А. Бондаренко, Ю.Ю. Бондаренко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 295-302. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 1816-5230 PACSnumbers:07.79.Lh,62.20.Qp,68.35.Np,68.37.Ps,68.47.Gh,85.35.-p,85.85.+j https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75964 Определена адгезионная прочность тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах (кремнии Кр0, оптическом стекле К8) c применением метода атомноиловой микроскопии и использованием многопроходного сканирования образца с постепенным внедрением зонда атомно-силового микроскопа в исследуемую поверхность. Подобран режим качественного определения адгезионной прочности тонких покрытий путём подбора шага внедрения зонда в диапазоне глубин 1–10 нм. Установлено, что с увеличением толщины покрытия его адгезионная прочность уменьшается по экспоненциальному закону. Визначено адгезійну міцність тонких оксидних покриттів на діелектричних матеріялах (кремній Кр0, оптичне скло К8) із застосуванням методи атомно-силової мікроскопії з використанням багатопрохідного сканування зразка з поступовим втіленням зонда атомно-силового мікроскопа у досліджувану поверхню. Підібрано режим якісного визначення адгезійної міцности тонких покриттів шляхом підбору кроку втілення зонда в діяпазоні глибин 1–10 нм. Встановлено, що зі збільшенням товщини покриття його адгезійна міцність зменшується за експоненційним законом. Adhesion strength of thin oxide coatings on dielectric materials (silicon, optical glass) is determined. The method of atomic-force microscopy and multiple-pass scanning of sample is used with a gradual indentation of the atomicforce microscope probe into the investigated surface. The mode of qualitative determination of adhesion strength of thin coatings by means of the selection of probe indentation step within the depth range of 1–10 nm is proposed. As established, with the increase of coating thickness, its adhesion strength decreases exponentially. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии |
| spellingShingle |
Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии Билоконь, С.А. Бондаренко, М.А. Бондаренко, Ю. Ю. |
| title_short |
Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии |
| title_full |
Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии |
| title_fullStr |
Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии |
| title_full_unstemmed |
Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии |
| title_sort |
определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии |
| author |
Билоконь, С.А. Бондаренко, М.А. Бондаренко, Ю. Ю. |
| author_facet |
Билоконь, С.А. Бондаренко, М.А. Бондаренко, Ю. Ю. |
| publishDate |
2014 |
| language |
Russian |
| container_title |
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| format |
Article |
| description |
Определена адгезионная прочность тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах (кремнии Кр0, оптическом стекле К8) c применением метода атомноиловой микроскопии и использованием многопроходного сканирования образца с постепенным внедрением зонда атомно-силового микроскопа в исследуемую поверхность. Подобран режим
качественного определения адгезионной прочности тонких покрытий путём подбора шага внедрения зонда в диапазоне глубин 1–10 нм. Установлено, что с увеличением толщины покрытия его адгезионная прочность
уменьшается по экспоненциальному закону.
Визначено адгезійну міцність тонких оксидних покриттів на діелектричних матеріялах (кремній Кр0, оптичне скло К8) із застосуванням методи
атомно-силової мікроскопії з використанням багатопрохідного сканування зразка з поступовим втіленням зонда атомно-силового мікроскопа у
досліджувану поверхню. Підібрано режим якісного визначення адгезійної міцности тонких покриттів шляхом підбору кроку втілення зонда в
діяпазоні глибин 1–10 нм. Встановлено, що зі збільшенням товщини покриття його адгезійна міцність зменшується за експоненційним законом.
Adhesion strength of thin oxide coatings on dielectric materials (silicon, optical
glass) is determined. The method of atomic-force microscopy and multiple-pass
scanning of sample is used with a gradual indentation of the atomicforce
microscope probe into the investigated surface. The mode of qualitative
determination of adhesion strength of thin coatings by means of the selection
of probe indentation step within the depth range of 1–10 nm is proposed. As
established, with the increase of coating thickness, its adhesion strength decreases
exponentially.
|
| issn |
1816-5230 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75964 |
| citation_txt |
Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии / С.А. Билоконь, М.А. Бондаренко, Ю.Ю. Бондаренко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 295-302. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT bilokonʹsa opredelenieadgezionnoipročnostitonkihoksidnyhpokrytiinadiélektričeskihmaterialahmetodomatomnosilovoimikroskopii AT bondarenkoma opredelenieadgezionnoipročnostitonkihoksidnyhpokrytiinadiélektričeskihmaterialahmetodomatomnosilovoimikroskopii AT bondarenkoûû opredelenieadgezionnoipročnostitonkihoksidnyhpokrytiinadiélektričeskihmaterialahmetodomatomnosilovoimikroskopii |
| first_indexed |
2025-12-07T16:34:35Z |
| last_indexed |
2025-12-07T16:34:35Z |
| _version_ |
1850868001065140224 |