Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии

• Published in: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Date: 2014
• Main Authors: Билоконь, С.А., Бондаренко, М.А., Бондаренко, Ю. Ю.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75964
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии / С.А. Билоконь, М.А. Бондаренко, Ю.Ю. Бондаренко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 295-302. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Определена адгезионная прочность тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах (кремнии Кр0, оптическом стекле К8) c применением метода атомноиловой микроскопии и использованием многопроходного сканирования образца с постепенным внедрением зонда атомно-силового микроскопа в исследуемую пове...