Зображення обкладинки

Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники

В работе рассмотрена возможность создания диэлектрических SiO2 - покрытий на основе золь–гель-метода путём гидролиза металлоорганических соединений кремния в водно-спиртовой смеси. Описаны оптимальные параметры нанесения и термообработки для получения однородных покрытий н...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в:	Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Дата:	2014
ISSN:	1816-5230
Автори:	Васькевич, В.В., Гайшун, В.Е., Коваленко, Д.Л.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75976
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники / В.В. Васькевич, В.Е. Гайшун, Д.Л. Коваленко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 279-293. — Бібліогр.: 5 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Золь–гель синтез и свойства органо-силикатных гибридных композитов на основе олигоуретанов различной структуры
за авторством: Терещенко, Т.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Разработка золь-гель метода получения многокомпонентных ферримагнитных наноструктур
за авторством: Семченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2007)

СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники
за авторством: Гордиенко, Ю.Е., та інші
Опубліковано: (2015)

Золь-гель синтез и свойства легированных оловом манганитов лантана
за авторством: Товстолыткин, А.И., та інші
Опубліковано: (2011)

Золь-гель синтез та дослідження неорганічних сполук, гібридних функціональних матеріалів та дисперсних систем (II Конференція країн СНД «Золь-Гель — 2012»)
за авторством: Стрелко, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Золь-гель синтез и оптические свойства кварцевых стекол, легированных переходными металлами
за авторством: Борисенко, Н.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Золь-гель синтез монолитных слоев и их применение в тонкослойной хроматографии
за авторством: Фролова, А.М., та інші
Опубліковано: (2010)

Синтез безводных протонпроводящих полимерных электролитов золь–гель методом на основе олигоуретанмочевинных прекурсоров
за авторством: Шевченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Синтез нанорозмірних систем (Li, La){Ti, Nb}O₃ методом золь–гель
за авторством: Кобилянська, С.Д., та інші
Опубліковано: (2010)

Золь-гель синтез і оптичні властивості кварцових стекол, легованих перехідними металами
за авторством: Borysenko, M. V., та інші
Опубліковано: (2013)

Поліморфні перетворення полістронціосилоксанів за умов золь-гель процесу
за авторством: Малишев, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Особенности золь–гель синтеза SrPbO₃
за авторством: Солопан, С.А., та інші
Опубліковано: (2007)

Структура та діелектричні властивості боросилікофосфатних золь—ґель нанокомпозитів
за авторством: Клепко, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Золь–гель синтез плівок системи La₀.₇₇₅Sr₀.₂₂₅MnO₃ та їх властивості
за авторством: Солопан, С.О., та інші
Опубліковано: (2010)

Золь-гель синтез та дослідження структури мезопористих плівок бінарних цирконій-титанових оксидів
за авторством: Гнатюк, Ю.І., та інші
Опубліковано: (2004)

Золь-гель синтез та дослідження структури мезопористих плівок бінарних цирконій-титанових оксидів
за авторством: Gnatyuk, Yu. I., та інші
Опубліковано: (2004)

Золь-гель-SiO₂-матрицы, легированные люминесцентными материалами
за авторством: Ганина, И.И., та інші
Опубліковано: (2009)

Микро- и наноиндентирование пиролитических карбидохромовых покрытий
за авторством: Крохмаль, С.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Синтез гібридних органічно-неорганічних матеріалів з уретановими фрагментами з використанням золь–гель методу
за авторством: Робота, Л.П., та інші
Опубліковано: (2006)

Синтез та оптичні характеристики нанорозмірних пористих плівок ТіО₂, одержаних золь-гель методом
за авторством: Петрик, І.С., та інші
Опубліковано: (2004)

Структура, свойства и особенности синтеза никель-алюминиевых ферритов, полученных методом золь—гель с участием автогорения
за авторством: Копаев, А.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Кристалічні перетворення поліборoсилоксанів у процесі золь–гель синтезу
за авторством: Малишев, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Наноструктуроване золь-гель біоактивне скло 60S: синтез, модифіковані форми, композити з ванкоміцином, біоактивність in vitro
за авторством: Кусяк, A.П., та інші
Опубліковано: (2024)

Синтез та оптичні характеристики нанорозмірних пористих плівок ТіО2, одержаних золь-гель методом
за авторством: Petrik, I. S., та інші
Опубліковано: (2004)

SIO2-AL2O3 КСЕРОГЕЛІ, ПРИГОТОВАНІ ЗОЛЬ- ГЕЛЬ МЕТОДОМ: СИНТЕЗ ТА ЛЮМІНЕСЦЕНТНІ ВЛАСТИВОСТІ
за авторством: Smola, Sergii, та інші
Опубліковано: (2020)

Особенности получения наноразмерного порошка BaSnO₃ золь–гель методом
за авторством: Солопан, С.А., та інші
Опубліковано: (2007)

Золь-гель перехід у гідрогелях як фазовий перехід першого роду
за авторством: Zabashta, Yu.F., та інші
Опубліковано: (2024)

Експериментальна перевірка методу обробки даних золь-гель аналізу в логарифмічних координатах
за авторством: Шийчук, О.В., та інші
Опубліковано: (2000)

Структурные особенности, магнитные и резистивные свойства нанопорошковых лантан-стронциевых манганитов, полученных золь—гель-технологией
за авторством: Турченко, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Органо-неорганические мембраны со свойствами безводных протонпроводящих электролитов, полученные золь-гель методом
за авторством: Шевченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Cинтез наночасток і плівок BaTi₁₋ₓZrₓO₃ золь–гель методом
за авторством: Дурилін, Д.О., та інші
Опубліковано: (2013)

Золь-гель синтез TiO₂/ZrO₂ плівок для фотокаталітичного відновлення Cr(VI) у водному середовищі
за авторством: Вітюк, Н., та інші
Опубліковано: (2003)

Використання золь-гель методу для одержання полісилоксанових ксерогелів, функціоналізованих карбоксильними групами
за авторством: Dudarko, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Модель линии передачи для наноэлектроники
за авторством: Нелин, Е.А.
Опубліковано: (2009)

Влияние атмосферы кислорода на микроструктуру и физико-химические свойства сложных купратов, полученных золь—гель-методом
за авторством: Фесич, И.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Золь-гель синтез,оптичні властивості, морфологія та фотокаталітична активність діоксид титанових плівок, модифікованих етаноламінами як джерело азоту
за авторством: Linnik, O. P., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние температуры обработки на структурные и оптические свойства наноструктурированных ZnO:Al-плёнок, формируемых золь–гель-методом
за авторством: Сидский, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Структурні перетворення за підвищених температур нанодисперсного діоксиду кремнію, одержаного за золь—ґель технологією
за авторством: Свідерський, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Новые органо-неорганические системы на основе краун-эфирсодержащих прекурсоров, полученные золь-гель методом
за авторством: Серов, В. Г., та інші
Опубліковано: (2008)

О формировании микро, -нанослойных покрытий методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2004)