Зображення обкладинки

Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники

В работе рассмотрена возможность создания диэлектрических SiO2 - покрытий на основе золь–гель-метода путём гидролиза металлоорганических соединений кремния в водно-спиртовой смеси. Описаны оптимальные параметры нанесения и термообработки для получения однородных покрытий на поверхности монокриста...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Дата:	2014
Автори:	Васькевич, В.В., Гайшун, В.Е., Коваленко, Д.Л.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75976
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники / В.В. Васькевич, В.Е. Гайшун, Д.Л. Коваленко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 279-293. — Бібліогр.: 5 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Золь–гель синтез и свойства органо-силикатных гибридных композитов на основе олигоуретанов различной структуры
за авторством: Терещенко, Т.А., та інші
Опубліковано: (2006)

СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники
за авторством: Гордиенко, Ю.Е., та інші
Опубліковано: (2015)

Золь-гель синтез и свойства легированных оловом манганитов лантана
за авторством: Товстолыткин, А.И., та інші
Опубліковано: (2011)

Золь-гель синтез та дослідження неорганічних сполук, гібридних функціональних матеріалів та дисперсних систем (II Конференція країн СНД «Золь-Гель — 2012»)
за авторством: Стрелко, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Синтез нанорозмірних систем (Li, La){Ti, Nb}O₃ методом золь–гель
за авторством: Кобилянська, С.Д., та інші
Опубліковано: (2010)

Золь-гель синтез монолітних шарів і їх застосування в тонкошаровій хроматографії
за авторством: Frolova, A. M., та інші
Опубліковано: (2010)

Особенности золь–гель синтеза SrPbO₃
за авторством: Солопан, С.А., та інші
Опубліковано: (2007)

Структура та діелектричні властивості боросилікофосфатних золь—ґель нанокомпозитів
за авторством: Клепко, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Золь–гель синтез плівок системи La₀.₇₇₅Sr₀.₂₂₅MnO₃ та їх властивості
за авторством: Солопан, С.О., та інші
Опубліковано: (2010)

Золь-гель синтез та дослідження структури мезопористих плівок бінарних цирконій-титанових оксидів
за авторством: Гнатюк, Ю.І., та інші
Опубліковано: (2004)

Золь-гель синтез активних шарів ZnO:Al:RE3+ сонячних елементів
за авторством: Semchenko, A. V., та інші
Опубліковано: (2013)

Золь-гель-SiO₂-матрицы, легированные люминесцентными материалами
за авторством: Ганина, И.И., та інші
Опубліковано: (2009)

Синтез гібридних органічно-неорганічних матеріалів з уретановими фрагментами з використанням золь–гель методу
за авторством: Робота, Л.П., та інші
Опубліковано: (2006)

Синтез та оптичні характеристики нанорозмірних пористих плівок ТіО₂, одержаних золь-гель методом
за авторством: Петрик, І.С., та інші
Опубліковано: (2004)

Структура, свойства и особенности синтеза никель-алюминиевых ферритов, полученных методом золь—гель с участием автогорения
за авторством: Копаев, А.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Кристалічні перетворення поліборoсилоксанів у процесі золь–гель синтезу
за авторством: Малишев, В.В., та інші
Опубліковано: (2013)

SIO2-AL2O3 КСЕРОГЕЛІ, ПРИГОТОВАНІ ЗОЛЬ- ГЕЛЬ МЕТОДОМ: СИНТЕЗ ТА ЛЮМІНЕСЦЕНТНІ ВЛАСТИВОСТІ
за авторством: Smola, Sergii, та інші
Опубліковано: (2020)

Золь-гель синтез та дослідження мезопористого діоксиду титану, модифікованого перехідними металами (Co, Ni, Mn, Cu)
за авторством: Kelyp, O. O., та інші
Опубліковано: (2013)

Експериментальна перевірка методу обробки даних золь-гель аналізу в логарифмічних координатах
за авторством: Шийчук, О.В., та інші
Опубліковано: (2000)

Особенности получения наноразмерного порошка BaSnO₃ золь–гель методом
за авторством: Солопан, С.А., та інші
Опубліковано: (2007)

Структурные особенности, магнитные и резистивные свойства нанопорошковых лантан-стронциевых манганитов, полученных золь—гель-технологией
за авторством: Турченко, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Cинтез наночасток і плівок BaTi₁₋ₓZrₓO₃ золь–гель методом
за авторством: Дурилін, Д.О., та інші
Опубліковано: (2013)

Золь-гель синтез TiO₂/ZrO₂ плівок для фотокаталітичного відновлення Cr(VI) у водному середовищі
за авторством: Вітюк, Н., та інші
Опубліковано: (2003)

Влияние атмосферы кислорода на микроструктуру и физико-химические свойства сложных купратов, полученных золь—гель-методом
за авторством: Фесич, И.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние температуры обработки на структурные и оптические свойства наноструктурированных ZnO:Al-плёнок, формируемых золь–гель-методом
за авторством: Сидский, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Структурні перетворення за підвищених температур нанодисперсного діоксиду кремнію, одержаного за золь—ґель технологією
за авторством: Свідерський, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Новые органо-неорганические системы на основе краун-эфирсодержащих прекурсоров, полученные золь-гель методом
за авторством: Серов, В. Г., та інші
Опубліковано: (2008)

Структурна характеристика та біоактивність (in vitro) синтезованого золь-гель скла 60S, легованого Cu
за авторством: Kusyak, A. P., та інші
Опубліковано: (2025)

Сравнение сенсорных свойств наноразмерных оксидных материалов, полученных с помощью золь-гель метода и метода соосаждения
за авторством: Бувайло, А.И., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние условий золь–гель-синтеза на свойства тонких плёнок гексаферрита бария М-типа
за авторством: Соловьева, Е.Д., та інші
Опубліковано: (2014)

Модель линии передачи для наноэлектроники
за авторством: Нелин, Е.А.
Опубліковано: (2009)

pH- и термочувствительные свойства гибридных систем на основе желатина и органомодифицированного SiO₂, полученных золь-гель методом
за авторством: Бей, И.Н., та інші
Опубліковано: (2016)

Кристаллофосфоры красного цвета свечения на основе SrTiO₃:Pr³⁺, полученного золь-гель методом
за авторством: Марчило, О.Н., та інші
Опубліковано: (2016)

Синтез, структура, оптичні та фотокаталітичні властивості радіяційно-стійких потрійних TiO₂/ZrO₂/SiO₂-золь–ґель-плівок та порошків
за авторством: Вітюк, Н.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники
за авторством: Борисенко, А.Г.
Опубліковано: (2013)

Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий
за авторством: Решетняк, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Особливості золь-гель синтезу напівпровідникових азотвмісних плівок TiO₂, модифікованих іонами металів (Zn²⁺, Zr⁴⁺, Pt²⁺)
за авторством: Ліннік, О.П., та інші
Опубліковано: (2020)

Оптичні властивості та РФЕС-характеризація біметалічних наночастинок Ag/Au в пористих сілікатних золь-гель плівках
за авторством: Eremenko, A. M., та інші
Опубліковано: (2010)

Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники
за авторством: Borisenko, A. G.
Опубліковано: (2013)

Обратимая ползучесть силикатных материалов в воде
за авторством: Лордкипанидзе, М., та інші
Опубліковано: (2009)