Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники

• Опубліковано в: : Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Дата: 2014
• Автори: Васькевич, В.В., Гайшун, В.Е., Коваленко, Д.Л.
• Формат: Стаття
• Мова: Ukrainian
• Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75976
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники / В.В. Васькевич, В.Е. Гайшун, Д.Л. Коваленко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 279-293. — Бібліогр.: 5 назв. — укр.

В работе рассмотрена возможность создания диэлектрических SiO2 - покрытий на основе золь–гель-метода путём гидролиза металлоорганических соединений кремния в водно-спиртовой смеси. Описаны оптимальные параметры нанесения и термообработки для получения однородных покрытий на поверхности монокриста...