Buchumschlag

Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением

Описана конструкция лабораторной установки для получения наноразмерных аморфных плёнок фосфор-оксинитрида лития (LiPON) методом высокочастотного магнетронного напыления. Каждый блок установки был модернизирован, чтобы основные параметры напыления (ВЧ-мощность, температура подложк...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Datum:	2014
Hauptverfasser:	Вьюнов, О.И., Коваленко, Л.Л., Белоус, А.Г., Bohnke, O., Bohnke, C.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75980
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением / О.И. Вьюнов, Л.Л. Коваленко, А.Г. Белоус, O. Bohnke, C. Bohnke // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 303-311. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Fabrication of nanosize LiPON films by means of high-frequency magnetron sputtering
von: O. I. Vjunov, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Синтез стехиометрических пленок бинарных соединений реактивным магнетронным напылением и управление режимом напыления
von: Евсюков, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Получение наноразмерных порошков оксидов ниобия и тантала
von: Янчевский, О.З., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb
von: Макогон, Ю.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Синтез наноуглерода высокочастотным разрядно-импульсным методом
von: Богуславский, Л.З., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Получение наноразмерных металлов электрическим разрядом в жидкости
von: Артёмов, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние метода получения на свойства пленок La₀.₇₇₅Sr₀.₂₂₅MnО₃
von: Белоус, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Влияние эффекта "старения" на магнитные и транспортные свойства пленок La₀,₅Sr₀,₅CoO₃₋δ, полученных лазерным напылением
von: Прохоров, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Оптическая нелинейность полученного напылением ПВК, допированного фуллеренами С₆₀
von: Барабаш, Ю.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Лазерная сварка стыковых соединений с высокочастотным подогревом кромок
von: Хаскин, В.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Влияние Fe₂O₃ на структуру и свойства стабилизированного оксида циркония
von: Белоус, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Структурные особенности и природа ионной проводимости в системах Li₀.₅₋ᵧNaᵧLa₀.₅TiO₃ та Li₀.₅₋ᵧNaᵧLa₀.₅•(Nb,Ta)₂O₆
von: Кобылянская, С.Д., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Хаос в осцилляторе Дуффинга с высокочастотным и низкочастотным внешним воздействием
von: Ваврив, Д.М., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Система автоматической подстройки частоты гетеродина приемника радиолокационной станции с магнетронным передатчиком
von: Мыценко, И.М., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Свойства многослойных наноразмерных пленок Ni/Y₂O₃, выращенных в магнитном поле
von: Андреева, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов
von: Деревянко, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Поліморфізм гена параоксонази (PON-1) у населення м. Харкова
von: Тижненко, Т.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда
von: Варшавская, И.Г., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов
von: Макогон, Ю.Н., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени
von: Костановский, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Получение пленок и осадков ссленидов металлов с использованием селеносемикарбазида
von: Великанов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (1983)

Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
von: Березняк, Е.П., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Получение и характеристики тонких пленок металлополимера с координационными комплексами редкоземельных элементов
von: Денисова, З.Л., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Q192R polymorphism of PON-1 gene in type 2 diabetic patients
von: Ju. Gorshunskaja, et al.
Veröffentlicht: (2011)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
von: Венгер, Е.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Физико-химические свойства материалов систем (Ba₁₋ₓLnₓ)TiO₃ (Ln — Y, La, Nd, Sm)
von: Вьюнов, О.И., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Влияние добавки нитрида бора на образование и свойства сегнетоэлектрической полупроводниковой керамики на основе метатитаната бария–стронция
von: Вьюнов, О.И., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
von: Venger, E. F., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
von: Головяшкин, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Распределение генотипов по локусам PON1 и APM1 в группе доноров населения Харькова
von: Тыжненко, Т.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Полиморфизм Q192R гена PON-1 у больных сахарным диабетом 2-го типа
von: Горшунская, М.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Характерные особенности механического поведения наноразмерных порошков
von: Болтачев, Г.Ш., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Кристаллическая структура и магнитные свойства наноразмерных порошков и пленок мультиферроика BiMnO₃: влияние давления и замещения лантаном
von: Тарасенко, Т.Н., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Магниторезистивные свойства многослойных наноразмерных пленочных систем
von: Сынашенко, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Электронные свойства наноразмерных квазиатомных структур
von: Покутний, С.И., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Предиктори ожиріння у дітей шкільного віку: значення функціональних поліморфізмів за генами PON1 та FTO
von: Величко, В.І.
Veröffentlicht: (2012)

Мультиферроики: синтез, структура и свойства
von: Белоус, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
von: Наливайко, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
von: Белянин, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2005)