Зображення обкладинки

Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением

Описана конструкция лабораторной установки для получения наноразмерных аморфных плёнок фосфор-оксинитрида лития (LiPON) методом высокочастотного магнетронного напыления. Каждый блок установки был модернизирован, чтобы основные параметры напыления (ВЧ-мощность, температура подложки, время напылен...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Дата:	2014
Автори:	Вьюнов, О.И., Коваленко, Л.Л., Белоус, А.Г., Bohnke, O., Bohnke, C.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75980
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением / О.И. Вьюнов, Л.Л. Коваленко, А.Г. Белоус, O. Bohnke, C. Bohnke // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 303-311. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Fabrication of nanosize LiPON films by means of high-frequency magnetron sputtering
за авторством: O. I. Vjunov, та інші
Опубліковано: (2014)

Синтез стехиометрических пленок бинарных соединений реактивным магнетронным напылением и управление режимом напыления
за авторством: Евсюков, А.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Синтез наноуглерода высокочастотным разрядно-импульсным методом
за авторством: Богуславский, Л.З., та інші
Опубліковано: (2012)

Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb
за авторством: Макогон, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2014)

Получение наноразмерных металлов электрическим разрядом в жидкости
за авторством: Артёмов, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние метода получения на свойства пленок La₀.₇₇₅Sr₀.₂₂₅MnО₃
за авторством: Белоус, А.Г., та інші
Опубліковано: (2006)

Влияние эффекта "старения" на магнитные и транспортные свойства пленок La₀,₅Sr₀,₅CoO₃₋δ, полученных лазерным напылением
за авторством: Прохоров, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)

Оптическая нелинейность полученного напылением ПВК, допированного фуллеренами С₆₀
за авторством: Барабаш, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2009)

Структурные особенности и природа ионной проводимости в системах Li₀.₅₋ᵧNaᵧLa₀.₅TiO₃ та Li₀.₅₋ᵧNaᵧLa₀.₅•(Nb,Ta)₂O₆
за авторством: Кобылянская, С.Д., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние Fe₂O₃ на структуру и свойства стабилизированного оксида циркония
за авторством: Белоус, А.Г., та інші
Опубліковано: (2012)

Свойства многослойных наноразмерных пленок Ni/Y₂O₃, выращенных в магнитном поле
за авторством: Андреева, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)

Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов
за авторством: Деревянко, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Система автоматической подстройки частоты гетеродина приемника радиолокационной станции с магнетронным передатчиком
за авторством: Мыценко, И.М., та інші
Опубліковано: (2018)

Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов
за авторством: Макогон, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2017)

Поліморфізм гена параоксонази (PON-1) у населення м. Харкова
за авторством: Тижненко, Т.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени
за авторством: Костановский, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
за авторством: Березняк, Е.П., та інші
Опубліковано: (2011)

Получение пленок и осадков ссленидов металлов с использованием селеносемикарбазида
за авторством: Великанов, А.А., та інші
Опубліковано: (1983)

Получение и характеристики тонких пленок металлополимера с координационными комплексами редкоземельных элементов
за авторством: Денисова, З.Л., та інші
Опубліковано: (2013)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)

Q192R polymorphism of PON-1 gene in type 2 diabetic patients
за авторством: Ju. Gorshunskaja, та інші
Опубліковано: (2011)

Физико-химические свойства материалов систем (Ba₁₋ₓLnₓ)TiO₃ (Ln — Y, La, Nd, Sm)
за авторством: Вьюнов, О.И., та інші
Опубліковано: (2007)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)

Распределение генотипов по локусам PON1 и APM1 в группе доноров населения Харькова
за авторством: Тыжненко, Т.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Полиморфизм Q192R гена PON-1 у больных сахарным диабетом 2-го типа
за авторством: Горшунская, М.Ю., та інші
Опубліковано: (2011)

Характерные особенности механического поведения наноразмерных порошков
за авторством: Болтачев, Г.Ш., та інші
Опубліковано: (2014)

Кристаллическая структура и магнитные свойства наноразмерных порошков и пленок мультиферроика BiMnO₃: влияние давления и замещения лантаном
за авторством: Тарасенко, Т.Н., та інші
Опубліковано: (2010)

Магниторезистивные свойства многослойных наноразмерных пленочных систем
за авторством: Сынашенко, О.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Электронные свойства наноразмерных квазиатомных структур
за авторством: Покутний, С.И., та інші
Опубліковано: (2013)

Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2012)

Радиоспектроскопические исследования наноразмерных порошков диоксида циркония
за авторством: Быков, И.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Предиктори ожиріння у дітей шкільного віку: значення функціональних поліморфізмів за генами PON1 та FTO
за авторством: Величко, В.І.
Опубліковано: (2012)

Влияние наноразмерных порошков металлов на свойства цеолитных катализаторов нефтепереработки
за авторством: Величкина, Л.М., та інші
Опубліковано: (2009)

Association of genotypes by polymorphic variant C-108T of PON1 gene with the risk of developing breast cancer and hypertensive disease in women
за авторством: Fishchuk, L.Ye.
Опубліковано: (2014)

Association of genotypes by polymorphic variant C-108T of PON1 gene with the risk of developing breast cancer and hypertensive disease in women
за авторством: Ye. Fishchuk
Опубліковано: (2014)

О механизме уменьшения трения наноразмерных многослойных покрытий
за авторством: Григорьев, С.Н., та інші
Опубліковано: (2013)

Аллотропные превращения алмаза под действием наноразмерных катализаторов
за авторством: Ножкина, А.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Электроразрядный синтез наноразмерных металл-углеродных композиционных порошков
за авторством: Сизоненко, О.Н., та інші
Опубліковано: (2012)

Эффекты локализации экситонов в наноразмерных молекулярных кластерах (J-агрегатах)
за авторством: Ефимова, С.Л., та інші
Опубліковано: (2011)

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)