Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением

• Veröffentlicht in: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Datum: 2014
• Hauptverfasser: Вьюнов, О.И., Коваленко, Л.Л., Белоус, А.Г., Bohnke, O., Bohnke, C.
• Format: Artikel
• Sprache: Russisch
• Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75980
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением / О.И. Вьюнов, Л.Л. Коваленко, А.Г. Белоус, O. Bohnke, C. Bohnke // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2014. — Т. 12, № 2. — С. 303-311. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Описана конструкция лабораторной установки для получения наноразмерных аморфных плёнок фосфор-оксинитрида лития (LiPON) методом высокочастотного магнетронного напыления. Каждый блок установки был модернизирован, чтобы основные параметры напыления (ВЧ-мощность, температура подложки, время напылен...