Характерные особенности формирования структуры, состава и свойств пленок диборидов переходных металлов pvd-методами
Проведен анализ характерных особенностей формирования структуры, состава и свойств плёнок диборидов переходных металлов в аморфном, кластерном и нанокристаллическом состояниях. Показано, что наиболее характерной морфологической особенностью формирования пленок диборидов переходных металлов является...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2011 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75996 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Характерные особенности формирования структуры, состава и свойств пленок диборидов переходных металлов pvd-методами / А.А. Гончаров // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 4-14. — Бібліогр.: 41 назв. — рос. |