Характерные особенности формирования структуры, состава и свойств пленок диборидов переходных металлов pvd-методами

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2011
• Main Author: Гончаров, А.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/75996
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Характерные особенности формирования структуры, состава и свойств пленок диборидов переходных металлов pvd-методами / А.А. Гончаров // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 1. — С. 4-14. — Бібліогр.: 41 назв. — рос.

Проведен анализ характерных особенностей формирования структуры, состава и свойств плёнок диборидов переходных металлов в аморфном, кластерном и нанокристаллическом состояниях. Показано, что наиболее характерной морфологической особенностью формирования пленок диборидов переходных металлов является...