Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії

Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії

На прикладі реальних наноструктурованих поверхонь проаналізовано характерні особливості застосування метод мінімізації «ефекту зонду» в топометричних дослідженнях методою сканівної атомно-силової мікроскопії (АСМ). Подано практичні параметри оцінки ефективности комп’ютерної реконструкції зображень...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Date:2008
Main Authors: Литвин, О.С., Литвин, П.М., Прокопенко, І.В., Шеремета, Т.І.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2008
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76014
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії / О.С. Литвин, П.М. Литвин, І.В. Прокопенко, Т.І. Шеремета // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2008. — Т. 6, № 1. — С. 33-44. — Бібліогр.: 32 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-76014
record_format dspace
spelling Литвин, О.С.
Литвин, П.М.
Прокопенко, І.В.
Шеремета, Т.І.
2015-02-07T12:31:26Z
2015-02-07T12:31:26Z
2008
Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії / О.С. Литвин, П.М. Литвин, І.В. Прокопенко, Т.І. Шеремета // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2008. — Т. 6, № 1. — С. 33-44. — Бібліогр.: 32 назв. — укр.
1816-5230
PACS numbers :07.79.Lh,61.46.-w,68.37.Ps,68.65.-k,81.07.-b,81.16.Ta,82.37.Gk
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76014
На прикладі реальних наноструктурованих поверхонь проаналізовано характерні особливості застосування метод мінімізації «ефекту зонду» в топометричних дослідженнях методою сканівної атомно-силової мікроскопії (АСМ). Подано практичні параметри оцінки ефективности комп’ютерної реконструкції зображень поверхні та її оптимізації. Показано, що комплексне застосування ріжних способів мінімізації спотворень геометричних розмірів наноструктурних елементів поверхонь, які виникають внаслідок скінченности розмірів вістря зонду, забезпечує одержання адекватних топометричних даних.
Peculiarities of ‘tip effect’ minimization techniques’ usage in topometric investigations using scanning atomic force microscopy are analyzed using real nanostructured surfaces as examples. Practical parameters for the computer surface-image reconstruction efficiency evaluation and optimization are presented. As shown, the combined use of various techniques for minimization of distortions in geometrical sizes of surface nanostructures caused by finite tip sizes provides adequate topometric data.
В работе на примере реальных наноструктурированных поверхностей проанализированы особенности применения методов минимизации «эффекта зонда» в топометрических исследованиях методом сканирующей атомносиловой микроскопии (АСМ). Представлены практические параметры оценки эффективности компьютерной реконструкции изображений поверхности и ее оптимизации. Показано, что комплексное применение разных способов минимизации искажений геометрических размеров наноструктурных элементов поверхностей, которые возникают вследствие конечных размеров острия зонда, обеспечивает получение адекватных топометрических данных.
Роботу виконано за підтримки Міністерства освіти та науки України (грант № М/175-2007).
uk
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії
Peculiarities of Nanostructures Topometry Studied by Atomic Force Microscopy Methods
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії
spellingShingle Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії
Литвин, О.С.
Литвин, П.М.
Прокопенко, І.В.
Шеремета, Т.І.
title_short Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії
title_full Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії
title_fullStr Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії
title_full_unstemmed Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії
title_sort особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії
author Литвин, О.С.
Литвин, П.М.
Прокопенко, І.В.
Шеремета, Т.І.
author_facet Литвин, О.С.
Литвин, П.М.
Прокопенко, І.В.
Шеремета, Т.І.
publishDate 2008
language Ukrainian
container_title Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
format Article
title_alt Peculiarities of Nanostructures Topometry Studied by Atomic Force Microscopy Methods
description На прикладі реальних наноструктурованих поверхонь проаналізовано характерні особливості застосування метод мінімізації «ефекту зонду» в топометричних дослідженнях методою сканівної атомно-силової мікроскопії (АСМ). Подано практичні параметри оцінки ефективности комп’ютерної реконструкції зображень поверхні та її оптимізації. Показано, що комплексне застосування ріжних способів мінімізації спотворень геометричних розмірів наноструктурних елементів поверхонь, які виникають внаслідок скінченности розмірів вістря зонду, забезпечує одержання адекватних топометричних даних. Peculiarities of ‘tip effect’ minimization techniques’ usage in topometric investigations using scanning atomic force microscopy are analyzed using real nanostructured surfaces as examples. Practical parameters for the computer surface-image reconstruction efficiency evaluation and optimization are presented. As shown, the combined use of various techniques for minimization of distortions in geometrical sizes of surface nanostructures caused by finite tip sizes provides adequate topometric data. В работе на примере реальных наноструктурированных поверхностей проанализированы особенности применения методов минимизации «эффекта зонда» в топометрических исследованиях методом сканирующей атомносиловой микроскопии (АСМ). Представлены практические параметры оценки эффективности компьютерной реконструкции изображений поверхности и ее оптимизации. Показано, что комплексное применение разных способов минимизации искажений геометрических размеров наноструктурных элементов поверхностей, которые возникают вследствие конечных размеров острия зонда, обеспечивает получение адекватных топометрических данных.
issn 1816-5230
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76014
citation_txt Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії / О.С. Литвин, П.М. Литвин, І.В. Прокопенко, Т.І. Шеремета // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2008. — Т. 6, № 1. — С. 33-44. — Бібліогр.: 32 назв. — укр.
work_keys_str_mv AT litvinos osoblivostítopometríínanostrukturmetodoûatomnosilovoímíkroskopíí
AT litvinpm osoblivostítopometríínanostrukturmetodoûatomnosilovoímíkroskopíí
AT prokopenkoív osoblivostítopometríínanostrukturmetodoûatomnosilovoímíkroskopíí
AT šeremetatí osoblivostítopometríínanostrukturmetodoûatomnosilovoímíkroskopíí
AT litvinos peculiaritiesofnanostructurestopometrystudiedbyatomicforcemicroscopymethods
AT litvinpm peculiaritiesofnanostructurestopometrystudiedbyatomicforcemicroscopymethods
AT prokopenkoív peculiaritiesofnanostructurestopometrystudiedbyatomicforcemicroscopymethods
AT šeremetatí peculiaritiesofnanostructurestopometrystudiedbyatomicforcemicroscopymethods
first_indexed 2025-12-07T15:23:04Z
last_indexed 2025-12-07T15:23:04Z
_version_ 1850863501857259521

Similar Items