Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС
При взаємодії корпускулярного і електромагнетного випромінення з твердим тілом (структурою ІС) відбувається пересилання енергії останньому, в
 результаті чого змінюються його властивості. Характер взаємодії і ефекти,
 що при цьому виявляються, в загальному випадку визначаються видом...
Saved in:
| Published in: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2009
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76340 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів
 при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС / С.П. Новосядлий, В.М. Бережанський // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 1. — С. 73-120. — Бібліогр.: 31 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862646286896857088 |
|---|---|
| author | Новосядлий, С.П. Бережанський, В.М. |
| author_facet | Новосядлий, С.П. Бережанський, В.М. |
| citation_txt | Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів
 при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС / С.П. Новосядлий, В.М. Бережанський // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 1. — С. 73-120. — Бібліогр.: 31 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| description | При взаємодії корпускулярного і електромагнетного випромінення з твердим тілом (структурою ІС) відбувається пересилання енергії останньому, в
результаті чого змінюються його властивості. Характер взаємодії і ефекти,
що при цьому виявляються, в загальному випадку визначаються видом випромінення, його енергією та інтенсивністю, видом структур ІС, які при
цьому опромінюються. Дані радіяційні дослідження можуть лягти в основу
побудови радіяційно-тривкої технології для формування як біполярних,
так і польових структур ІС. Детально проаналізовано радіяційні ефекти в
структурах із субмікронними глибинами залягання p—n-переходів та з ізопланарною діелектричною ізоляцією.
Energy transfer to solids (IC structures) takes place at their interaction with
corpuscular and electromagnetic radiation. As a result, properties of these solids
change. In general case, the type of radiation, its energy and intensity, and
the type of IC structures, which are irradiated, determine the character of this
interaction and effects, which manifest themselves here. Radiation investigations
presented here can underlie development of radiation-hardened technology
for fabrication of both bipolar and unipolar IC structures. Radiation effects
in structures with submicron junction depths and with isoplanar dielectric
isolation are analyzed in detail.
При взаимодействии корпускулярного и электромагнитного излучения с
твердым телом (структурой ИС) происходит передача энергии последнему, в результате чего изменяются его свойства. Характер взаимодействия
и эффекты, которые при этом проявляются, в общем случае определяются
видом излучения, его энергией и интенсивностью, видом структур ИС,
которые при этом облучаются. Данные радиационные исследования могут лечь в основу построения радиационно-стойкой технологии для формирования как биполярных, так и полевых структур ИС. Детально проанализированы радиационные эффекты в структурах с субмикронными
глубинами залегания p—n-переходов, а также с изопланарной диэлектрической изоляцией.
|
| first_indexed | 2025-12-01T11:03:23Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-76340 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1816-5230 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-01T11:03:23Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Новосядлий, С.П. Бережанський, В.М. 2015-02-09T19:34:57Z 2015-02-09T19:34:57Z 2009 Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів
 при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС / С.П. Новосядлий, В.М. Бережанський // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 1. — С. 73-120. — Бібліогр.: 31 назв. — укр. 1816-5230 PACS numbers: 61.72.U-,61.80.Jh,73.40.Qv,85.30.Pq,85.40.Qx,85.40.Ry,85.40.Sz https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76340 При взаємодії корпускулярного і електромагнетного випромінення з твердим тілом (структурою ІС) відбувається пересилання енергії останньому, в
 результаті чого змінюються його властивості. Характер взаємодії і ефекти,
 що при цьому виявляються, в загальному випадку визначаються видом випромінення, його енергією та інтенсивністю, видом структур ІС, які при
 цьому опромінюються. Дані радіяційні дослідження можуть лягти в основу
 побудови радіяційно-тривкої технології для формування як біполярних,
 так і польових структур ІС. Детально проаналізовано радіяційні ефекти в
 структурах із субмікронними глибинами залягання p—n-переходів та з ізопланарною діелектричною ізоляцією. Energy transfer to solids (IC structures) takes place at their interaction with
 corpuscular and electromagnetic radiation. As a result, properties of these solids
 change. In general case, the type of radiation, its energy and intensity, and
 the type of IC structures, which are irradiated, determine the character of this
 interaction and effects, which manifest themselves here. Radiation investigations
 presented here can underlie development of radiation-hardened technology
 for fabrication of both bipolar and unipolar IC structures. Radiation effects
 in structures with submicron junction depths and with isoplanar dielectric
 isolation are analyzed in detail. При взаимодействии корпускулярного и электромагнитного излучения с
 твердым телом (структурой ИС) происходит передача энергии последнему, в результате чего изменяются его свойства. Характер взаимодействия
 и эффекты, которые при этом проявляются, в общем случае определяются
 видом излучения, его энергией и интенсивностью, видом структур ИС,
 которые при этом облучаются. Данные радиационные исследования могут лечь в основу построения радиационно-стойкой технологии для формирования как биполярных, так и полевых структур ИС. Детально проанализированы радиационные эффекты в структурах с субмикронными
 глубинами залегания p—n-переходов, а также с изопланарной диэлектрической изоляцией. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС Phenomenological Approach to Analysis of Radiation Effects at Designing of Submicron Structures of Bipolar ІС Article published earlier |
| spellingShingle | Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС Новосядлий, С.П. Бережанський, В.М. |
| title | Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС |
| title_alt | Phenomenological Approach to Analysis of Radiation Effects at Designing of Submicron Structures of Bipolar ІС |
| title_full | Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС |
| title_fullStr | Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС |
| title_full_unstemmed | Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС |
| title_short | Феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів при проєктуванні субмікронних структур біполярних ІС |
| title_sort | феноменологічний підхід до аналізи радіяційних ефектів при проєктуванні субмікронних структур біполярних іс |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76340 |
| work_keys_str_mv | AT novosâdliisp fenomenologíčniipídhíddoanalíziradíâcíinihefektívpriproêktuvannísubmíkronnihstrukturbípolârnihís AT berežansʹkiivm fenomenologíčniipídhíddoanalíziradíâcíinihefektívpriproêktuvannísubmíkronnihstrukturbípolârnihís AT novosâdliisp phenomenologicalapproachtoanalysisofradiationeffectsatdesigningofsubmicronstructuresofbipolarís AT berežansʹkiivm phenomenologicalapproachtoanalysisofradiationeffectsatdesigningofsubmicronstructuresofbipolarís |