Характиристики вакуумно-дуговых покрытий из чередующихся слоев TiN/ TiNCu

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2011
• Main Authors: Лунёв, В.М., Непипенко, И.П., Решетняк, Е.Н., Колодий, И.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76347
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Характиристики вакуумно-дуговых покрытий из чередующихся слоев TiN/ TiNCu / В.М. Лунёв, И.П. Непипенко, Е.Н. Решетняк, И.В. Колодий // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 125–133. — Бібліогр.: 21 назв. — рос.

Исследованы характеристики вакуумно-дуговых покрытий, состоящих из чередующихся слоев TiN и слоев TiN, легированных Сu при одновременной работе источника с титановым катодом в постоянном режиме, а с медным катодом в импульсном. Установлено, что с ростом концентрации Cu от 0,3 до 34 вес.% размер ОКР...