Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния
Методом рентгеновского диффузного рассеяния на длине волны 0,154 нм проведено исследование шероховатости и перемешивания на границах раздела многослойных пленочных композиций Cr/Sc и Co/C с периодами ~ 5 – 7 нм, полученных методом магнетронного распыления. Исследовано влияние на структуру границ раз...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76349 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния / И.А. Журавель, Е.А. Бугаев, А.Ю. Девизенко, Ю.П. Першин, В.В. Кондратенко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 134–141. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862648025533382656 |
|---|---|
| author | Журавель, И.А. Бугаев, Е.А. Девизенко, А.Ю. Першин, Ю.П. Кондратенко, В.В. |
| author_facet | Журавель, И.А. Бугаев, Е.А. Девизенко, А.Ю. Першин, Ю.П. Кондратенко, В.В. |
| citation_txt | Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния / И.А. Журавель, Е.А. Бугаев, А.Ю. Девизенко, Ю.П. Першин, В.В. Кондратенко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 134–141. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Методом рентгеновского диффузного рассеяния на длине волны 0,154 нм проведено исследование шероховатости и перемешивания на границах раздела многослойных пленочных композиций Cr/Sc и Co/C с периодами ~ 5 – 7 нм, полученных методом магнетронного распыления. Исследовано влияние на структуру границ раздела композиций Co/C часового отжига в интервале температур 100 – 330 °С. Полученные статистические характеристики шероховатости границ раздела позволяют предсказать рентгенооптические характеристики многослойных композиций, применяемых в рентгеновской оптике в диапазоне длин волн 3 – 5 нм.
Методом рентгенівського дифузного розсіювання на довжині хвилі 0,154 нм проведено дослідження шорсткості та перемішування на межах поділу багатошарових плівкових композицій Cr/Sc та Co/C із періодами ~ 5 – 7 нм, отриманих методом магнетронного розпилення при постійному струмі. Досліджений вплив на структуру меж поділу композицій Co/C годинного відпалу в інтервалі температур 100 – 330 °С. Отримані статистичні характеристики шорсткості меж поділу дозволяють передбачити рентгенооптичні характеристики багатошарових композицій, що використовуються у рентгенівській оптиці у діапазоні довжин хвиль 3 – 5 нм.
Study of the interface roughness and diffuseness of the Cr/Sc and Co/C multilayer with ~ 5 – 7 nm the periods on 0,154 wavelength obtained by DC magnetron sputtering has been conducted by X-ray diffuse scattering method. Influence of hour time annealing in 100 – 330 °С temperature range on the Co/C interface structure has been established. Obtained statistical characteristics of interface roughness are useful to forecast X-ray optic characteristics of multilayers using in X-ray optics in 3 – 5 nm wavelength
range.
|
| first_indexed | 2025-12-01T14:11:57Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-76349 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T14:11:57Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Журавель, И.А. Бугаев, Е.А. Девизенко, А.Ю. Першин, Ю.П. Кондратенко, В.В. 2015-02-09T20:04:31Z 2015-02-09T20:04:31Z 2011 Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния / И.А. Журавель, Е.А. Бугаев, А.Ю. Девизенко, Ю.П. Першин, В.В. Кондратенко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 134–141. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76349 536.248.1; 539.26; 538.971 Методом рентгеновского диффузного рассеяния на длине волны 0,154 нм проведено исследование шероховатости и перемешивания на границах раздела многослойных пленочных композиций Cr/Sc и Co/C с периодами ~ 5 – 7 нм, полученных методом магнетронного распыления. Исследовано влияние на структуру границ раздела композиций Co/C часового отжига в интервале температур 100 – 330 °С. Полученные статистические характеристики шероховатости границ раздела позволяют предсказать рентгенооптические характеристики многослойных композиций, применяемых в рентгеновской оптике в диапазоне длин волн 3 – 5 нм. Методом рентгенівського дифузного розсіювання на довжині хвилі 0,154 нм проведено дослідження шорсткості та перемішування на межах поділу багатошарових плівкових композицій Cr/Sc та Co/C із періодами ~ 5 – 7 нм, отриманих методом магнетронного розпилення при постійному струмі. Досліджений вплив на структуру меж поділу композицій Co/C годинного відпалу в інтервалі температур 100 – 330 °С. Отримані статистичні характеристики шорсткості меж поділу дозволяють передбачити рентгенооптичні характеристики багатошарових композицій, що використовуються у рентгенівській оптиці у діапазоні довжин хвиль 3 – 5 нм. Study of the interface roughness and diffuseness of the Cr/Sc and Co/C multilayer with ~ 5 – 7 nm the periods on 0,154 wavelength obtained by DC magnetron sputtering has been conducted by X-ray diffuse scattering method. Influence of hour time annealing in 100 – 330 °С temperature range on the Co/C interface structure has been established. Obtained statistical characteristics of interface roughness are useful to forecast X-ray optic characteristics of multilayers using in X-ray optics in 3 – 5 nm wavelength
 range. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния Article published earlier |
| spellingShingle | Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния Журавель, И.А. Бугаев, Е.А. Девизенко, А.Ю. Першин, Ю.П. Кондратенко, В.В. |
| title | Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния |
| title_full | Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния |
| title_fullStr | Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния |
| title_full_unstemmed | Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния |
| title_short | Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния |
| title_sort | исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях cr/sc и co/c методом рентгеновского диффузного рассеяния |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76349 |
| work_keys_str_mv | AT žuravelʹia issledovaniestrukturymežsloevyhgranicrazdelavmnogosloinyhperiodičeskihkompoziciâhcrscicocmetodomrentgenovskogodiffuznogorasseâniâ AT bugaevea issledovaniestrukturymežsloevyhgranicrazdelavmnogosloinyhperiodičeskihkompoziciâhcrscicocmetodomrentgenovskogodiffuznogorasseâniâ AT devizenkoaû issledovaniestrukturymežsloevyhgranicrazdelavmnogosloinyhperiodičeskihkompoziciâhcrscicocmetodomrentgenovskogodiffuznogorasseâniâ AT peršinûp issledovaniestrukturymežsloevyhgranicrazdelavmnogosloinyhperiodičeskihkompoziciâhcrscicocmetodomrentgenovskogodiffuznogorasseâniâ AT kondratenkovv issledovaniestrukturymežsloevyhgranicrazdelavmnogosloinyhperiodičeskihkompoziciâhcrscicocmetodomrentgenovskogodiffuznogorasseâniâ |