Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распылении на a-Si

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2011
• Main Authors: Севрюкова, В.А., Зубарев, Е.Н., Кондратенко, В.В., Першин, Ю.П., Цебенко, В.О.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76350
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распылении на a-Si / В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, Ю.П. Першин, В.О. Цебенко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 102–114. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.

Методами электронной микроскопии и рентгеновской дифрактометрии изучена структура слоев Мо, выращенных методом магнетронного распыления на аморфном кремнии в зависимости от номинальной толщины слоев молиодена. При номинальной толщине 1.5 ≤ t < 1.9 нм слой молибдена состоит из кластеров, котор...