Зображення обкладинки

Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распылении на a-Si

Методами электронной микроскопии и рентгеновской дифрактометрии изучена структура слоев Мо, выращенных методом магнетронного распыления на аморфном кремнии в зависимости от номинальной толщины слоев молиодена. При номинальной толщине 1.5 ≤ t < 1.9 нм слой молибдена состоит из кластеров, которые с...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2011
Автори:	Севрюкова, В.А., Зубарев, Е.Н., Кондратенко, В.В., Першин, Ю.П., Цебенко, В.О.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76350
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распылении на a-Si / В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, Ю.П. Першин, В.О. Цебенко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 102–114. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
за авторством: Юрченко, Г.В.
Опубліковано: (2000)

Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
за авторством: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Опубліковано: (2003)

Эволюция структуры многослойных рентгеновских зеркал Si/Mg₂Si при термическом воздействии
за авторством: Конотопский, Л.Е., та інші
Опубліковано: (2016)

Эволюция структуры и механизм термического разрушения многослойных композиций C/Si
за авторством: Журавель, И.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
за авторством: Першин, Ю.П., та інші
Опубліковано: (2016)

Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени
за авторством: Костановский, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2012)

Диодные структуры и электрические свойства пленок ZnO, полученных методом атомного послойного осаждения
за авторством: Семикина, Т.В.
Опубліковано: (2016)

Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Мохненко, М.И., та інші
Опубліковано: (2015)

Изучение свойств пленок сплава Si-Ge на пучке протонов, полученных методом CVD
за авторством: Ковальчук, И.К., та інші
Опубліковано: (2007)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Rubtsevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)

Моделирование изменения морфологии поверхности Si при распылении ионами Ar⁺
за авторством: Харченко, Д.О., та інші
Опубліковано: (2011)

Столбчатая структура и оптические свойства пленок ZnO, полученных электрохимическим методом
за авторством: Чертопалов, С.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением
за авторством: Ушенин, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Формування антибактеріальних покриттів на хітозанових матрицях методом магнетронного напилення
за авторством: Kalinkevich, O. V., та інші
Опубліковано: (2017)

Температурная зависимость пленок Pr₀,₆₅Ca₀,₃₅MnO₃, полученных методом импульсного лазеpного осаждения
за авторством: Прохоров, В.Г., та інші
Опубліковано: (1999)

Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO
за авторством: Бажин, А.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Эволюция структуры объекта науки
за авторством: Кургаев, А.Ф.
Опубліковано: (2016)

Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Брус, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Прогнозирование дисперсности гранул и их производительности при центробежном распылении сплавов
за авторством: Махненко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния
за авторством: Журавель, И.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Адгезия толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода
за авторством: Курапов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Механизмы формирования фуллереноподобных структур из плазмы при электродуговом распылении графита
за авторством: Панарин, В.Е., та інші
Опубліковано: (2009)

Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа
за авторством: Левенец, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления
за авторством: Белецкая, О.Е., та інші
Опубліковано: (2007)

Вакуумний пост для нанесення покриттів на внутрішню поверхню труб методом магнетронного розпилення
за авторством: Коломієць, В.М., та інші
Опубліковано: (2020)

Молекулярная эволюция структуры гена, контролирующего синтез уратоксидазы
за авторством: Азарин, К.В.
Опубліковано: (2008)

Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
за авторством: Зыков, А.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Свойства гафниевых прутков, полученных методом ковки
за авторством: Волокита, Г.И., та інші
Опубліковано: (2002)

Эволюция напряженного состояния и структуры поверхности трения подшипника
за авторством: Зозуля, В.Л., та інші
Опубліковано: (2015)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Brus, V. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Khoverko, Yu. N.
Опубліковано: (2010)

Особенности структуры поверхностных нанослоев пленок железоиттриевых гранатов
за авторством: Азаренков, Н.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Особенности структуры двумерных поликристаллов меди, полученных методом рекристаллизации, и характер ее изменения в процессе пластического деформирования
за авторством: Бадиян, Е.Е., та інші
Опубліковано: (2016)

Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл
за авторством: Буранич, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)

До 100-річчя від дня народження М.О. Бурмистенка
за авторством: Кондратенко, Л.В., та інші
Опубліковано: (2002)

Адгезионная прочность нанокомпозитных покрытий Zr-Ti-Si-N, полученных вакуумно-дуговым методом
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)

Физико-механические характаристики аморфных углеродных пленок, полученных из паров бензола
за авторством: Грицкевич, Р.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь
за авторством: Соколюк, Д.В., та інші
Опубліковано: (2014)