Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония

Рассмотрены вопросы, связанные с очисткой поверхности подложки путём бомбардировки ионами титана и циркония вакуумно-дуговым методом. Показано, что очистку подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий необходимо проводить в высоком вакууме (давление не более 0,004 Па) при отрицательном потенц...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Физическая инженерия поверхности
Дата:2011
Автори: Столбовой, В.А., Фурсов, С.С., Зуйко, И.С.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76410
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония / В.А. Столбовой, С.С. Фурсов, И.С. Зуйко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 164–169. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862722283383029760
author Столбовой, В.А.
Фурсов, С.С.
Зуйко, И.С.
author_facet Столбовой, В.А.
Фурсов, С.С.
Зуйко, И.С.
citation_txt Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония / В.А. Столбовой, С.С. Фурсов, И.С. Зуйко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 164–169. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Физическая инженерия поверхности
description Рассмотрены вопросы, связанные с очисткой поверхности подложки путём бомбардировки ионами титана и циркония вакуумно-дуговым методом. Показано, что очистку подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий необходимо проводить в высоком вакууме (давление не более 0,004 Па) при отрицательном потенциале не менее 900 В. Показано, что очистка поверхности подложки ионами хрома более эффективна, чем ионами титана или циркония. Розглянуто питання, пов’язані з очищенням поверхні підкладки шляхом бомбардування іонами титану й цирконію вакуумно-дуговим методом. Показано, що очищення підкладки перед нанесенням вакуумно-дугових покриттів необхідно проводити у високому вакуумі (тиск не більше 0,004 Па) при негативному потенціалі не менш 900 В. Показано, що очищення поверхні підкладки іонами хрому більше ефективна, чим іонами титану або цирконію. The problems associated with cleaning the surface of the substrate by bombardment of ion titanium and zirconium a vacuum-arc method investigation. Shown that treatment of substrates before application of vacuum arc coatings should be carried out in high vacuum (pressure less than 0.004 Pa) at a negative potential of 900 V. It is shown that cleaning the substrate surface with chromium ions is more effective than titanium or zirconium ions.
first_indexed 2025-12-07T18:35:05Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-76410
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1999-8074
language Russian
last_indexed 2025-12-07T18:35:05Z
publishDate 2011
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
record_format dspace
spelling Столбовой, В.А.
Фурсов, С.С.
Зуйко, И.С.
2015-02-10T12:05:04Z
2015-02-10T12:05:04Z
2011
Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония / В.А. Столбовой, С.С. Фурсов, И.С. Зуйко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 164–169. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76410
621.793.7
Рассмотрены вопросы, связанные с очисткой поверхности подложки путём бомбардировки ионами титана и циркония вакуумно-дуговым методом. Показано, что очистку подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий необходимо проводить в высоком вакууме (давление не более 0,004 Па) при отрицательном потенциале не менее 900 В. Показано, что очистка поверхности подложки ионами хрома более эффективна, чем ионами титана или циркония.
Розглянуто питання, пов’язані з очищенням поверхні підкладки шляхом бомбардування іонами титану й цирконію вакуумно-дуговим методом. Показано, що очищення підкладки перед нанесенням вакуумно-дугових покриттів необхідно проводити у високому вакуумі (тиск не більше 0,004 Па) при негативному потенціалі не менш 900 В. Показано, що очищення поверхні підкладки іонами хрому більше ефективна, чим іонами титану або цирконію.
The problems associated with cleaning the surface of the substrate by bombardment of ion titanium and zirconium a vacuum-arc method investigation. Shown that treatment of substrates before application of vacuum arc coatings should be carried out in high vacuum (pressure less than 0.004 Pa) at a negative potential of 900 V. It is shown that cleaning the substrate surface with chromium ions is more effective than titanium or zirconium ions.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония
Article
published earlier
spellingShingle Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония
Столбовой, В.А.
Фурсов, С.С.
Зуйко, И.С.
title Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония
title_full Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония
title_fullStr Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония
title_full_unstemmed Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония
title_short Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония
title_sort подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76410
work_keys_str_mv AT stolbovoiva podgotovkapoverhnostipodložekperednaneseniemvakuumnodugovyhpokrytiibombardirovkoiionamititanaicirkoniâ
AT fursovss podgotovkapoverhnostipodložekperednaneseniemvakuumnodugovyhpokrytiibombardirovkoiionamititanaicirkoniâ
AT zuikois podgotovkapoverhnostipodložekperednaneseniemvakuumnodugovyhpokrytiibombardirovkoiionamititanaicirkoniâ