Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония
Рассмотрены вопросы, связанные с очисткой поверхности подложки путём бомбардировки ионами титана и циркония вакуумно-дуговым методом. Показано, что очистку подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий необходимо проводить в высоком вакууме (давление не более 0,004 Па) при отрицательном потенц...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2011 |
| Hauptverfasser: | Столбовой, В.А., Фурсов, С.С., Зуйко, И.С. |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76410 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония / В.А. Столбовой, С.С. Фурсов, И.С. Зуйко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 164–169. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineÄhnliche Einträge
Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода
von: Казаченко, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Казаченко, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
von: Столбовой, В.А.
Veröffentlicht: (2009)
von: Столбовой, В.А.
Veröffentlicht: (2009)
Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN
von: Гранкин, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Гранкин, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Структура и механические свойства вакуумно-дуговых многослойных конденсатов нитридов титана и его сплавов
von: Демчишин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)
von: Демчишин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)
Исследование фазового состава, структуры и свойств многослойных вакуумно-дуговых нанокристаллических покрытий Ti-Mo-N
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Сопоставление характеристик вакуумно-дуговых наноструктурных TiN покрытий, осаждаемых при подаче на подложку высоковольтных импульсов
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Формирование вакуумно-дуговых нитридных покрытий на основе молибдена, содержащих серу
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2003)
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2003)
Характиристики вакуумно-дуговых покрытий из чередующихся слоев TiN/ TiNCu
von: Лунёв, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Лунёв, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Об эффективности вакуумно-дуговых источников сепарированной плазмы
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2001)
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2001)
Влияние способа нанесения вакуумно-дуговых TiN покрытий на их газовыделение в вакууме при высоких температурах
von: Глазунов, Г.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Глазунов, Г.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Эрозия вакуумно-дуговых TiN покрытий и нержавеющей стали при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа
von: Глазунов, Г.П., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Глазунов, Г.П., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов
von: Решетняк, Е.Н.
Veröffentlicht: (2013)
von: Решетняк, Е.Н.
Veröffentlicht: (2013)
Прочность поверхностных слоев цирконииевых сплавов и вакуумно-дуговых покрытий при микроударном воздействии
von: Коваленко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)
von: Коваленко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)
Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
О влиянии атомарного азота на процесс синтеза вакуумно-дуговых покрытий Mо-N
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Errata: Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)
Программно-аппаратный комплекс для оптимизации транспортирующих свойств вакуумно-дуговых фильтров
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Модификация поверхности урана ионами титана, никеля, молибдена
von: Дикий, Н.П., et al.
Veröffentlicht: (2001)
von: Дикий, Н.П., et al.
Veröffentlicht: (2001)
Структура и твердость вакуумно-дуговых конденсатов титана и некоторых сплавов на его основе, полученных из несепарированных потоков плазмы
von: Демчишин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Демчишин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2006)
von: Шулаев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2006)
Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)
Поляриметрия подложек компакт-дисков
von: Савенков, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2005)
von: Савенков, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2005)
Электронно-лучевая плавка титана, циркония и гафния
von: Ажажа, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2002)
von: Ажажа, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2002)
Импеданс и адмиттанс смешанных диоксидов титана и марганца, апплицированных ионами Li⁺
von: Дзязько, Ю.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)
von: Дзязько, Ю.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)
Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)
Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Хороших, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Износостойкость и жаростойкость вакуумно-дуговых покрытий на основе TiN и TiAlN с добавками Si и Y
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)
Исследование закономерностей смачивания боридов циркония, титана, хрома и карбида титана самофлюсующимся сплавом на никелевой основе
von: Терентьев, А.Е., et al.
Veröffentlicht: (2012)
von: Терентьев, А.Е., et al.
Veröffentlicht: (2012)
Состав, структура и триботехнические свойства вакуумно-дуговых однослойных TiN, MoN и многослойных TiN/MoN покрытий
von: Бондар, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)
von: Бондар, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)
Нанокомпозиты диоксидов кремния, титана, циркония и церия – загустители пластичных смазок
von: Борисенко, Л.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)
von: Борисенко, Л.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)
Исследование триметафосфиматов титана (IV) и циркония (IV) термографическим методом
von: Беляков, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (1983)
von: Беляков, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (1983)
Исследование поляриметрических характеристик подложек оптических дисковых носителей
von: Петров, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
von: Петров, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)
Влияние плазменных вакуумно-дуговых покрытий CrN, CrAl и Al₂O₃ на процесс насыщения дейтерием сплава Zr + 1 % Nb
von: Бартак, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2016)
von: Бартак, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2016)
Ähnliche Einträge
-
Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2006) -
Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011) -
Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода
von: Казаченко, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2009) -
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
von: Столбовой, В.А.
Veröffentlicht: (2009) -
Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN
von: Гранкин, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2015)