Cover Image

Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония

Рассмотрены вопросы, связанные с очисткой поверхности подложки путём бомбардировки ионами титана и циркония вакуумно-дуговым методом. Показано, что очистку подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий необходимо проводить в высоком вакууме (давление не более 0,004 Па) при отрицательном потенц...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Физическая инженерия поверхности
Date:	2011
Main Authors:	Столбовой, В.А., Фурсов, С.С., Зуйко, И.С.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76410
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония / В.А. Столбовой, С.С. Фурсов, И.С. Зуйко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 164–169. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2006)

Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2011)

Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода
by: Казаченко, В.П., et al.
Published: (2009)

Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
by: Столбовой, В.А.
Published: (2009)

Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN
by: Гранкин, С.С., et al.
Published: (2015)

Структура и механические свойства вакуумно-дуговых многослойных конденсатов нитридов титана и его сплавов
by: Демчишин, А.В., et al.
Published: (2014)

Исследование фазового состава, структуры и свойств многослойных вакуумно-дуговых нанокристаллических покрытий Ti-Mo-N
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2010)

Характиристики вакуумно-дуговых покрытий из чередующихся слоев TiN/ TiNCu
by: Лунёв, В.М., et al.
Published: (2011)

Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2009)

Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2007)

Эрозия вакуумно-дуговых TiN покрытий и нержавеющей стали при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа
by: Глазунов, Г.П., et al.
Published: (2011)

Влияние способа нанесения вакуумно-дуговых TiN покрытий на их газовыделение в вакууме при высоких температурах
by: Глазунов, Г.П., et al.
Published: (2009)

Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов
by: Решетняк, Е.Н.
Published: (2013)

Прочность поверхностных слоев цирконииевых сплавов и вакуумно-дуговых покрытий при микроударном воздействии
by: Коваленко, В.И., et al.
Published: (2008)

Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2013)

О влиянии атомарного азота на процесс синтеза вакуумно-дуговых покрытий Mо-N
by: Шулаев, В.М., et al.
Published: (2007)

Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
by: Васильев, В.В., et al.
Published: (2011)

Errata: Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
by: Андреев, А.А., et al.
Published: (2013)

Программно-аппаратный комплекс для оптимизации транспортирующих свойств вакуумно-дуговых фильтров
by: Аксёнов, Д.С., et al.
Published: (2016)

Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2016)

Структура и твердость вакуумно-дуговых конденсатов титана и некоторых сплавов на его основе, полученных из несепарированных потоков плазмы
by: Демчишин, А.В., et al.
Published: (2010)

Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения
by: Соболь, О.В., et al.
Published: (2011)

Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением
by: Кунченко, В.В., et al.
Published: (2001)

Поляриметрия подложек компакт-дисков
by: Савенков, С.Н., et al.
Published: (2005)

Импеданс и адмиттанс смешанных диоксидов титана и марганца, апплицированных ионами Li⁺
by: Дзязько, Ю.С., et al.
Published: (2007)

Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N
by: Береснев, В.М., et al.
Published: (2017)

Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода
by: Хороших, В.М., et al.
Published: (2009)

Исследование закономерностей смачивания боридов циркония, титана, хрома и карбида титана самофлюсующимся сплавом на никелевой основе
by: Терентьев, А.Е., et al.
Published: (2012)

Влияние плазменных вакуумно-дуговых покрытий CrN, CrAl и Al₂O₃ на процесс насыщения дейтерием сплава Zr + 1 % Nb
by: Бартак, В.А., et al.
Published: (2016)

Нанокомпозиты диоксидов кремния, титана, циркония и церия – загустители пластичных смазок
by: Борисенко, Л.И., et al.
Published: (2010)

Исследование триметафосфиматов титана (IV) и циркония (IV) термографическим методом
by: Беляков, В.Н., et al.
Published: (1983)

Исследование поляриметрических характеристик подложек оптических дисковых носителей
by: Петров, В.В., et al.
Published: (2009)

Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников
by: Григорьев, Н.Н., et al.
Published: (2003)

Анализ микотоксинов: подготовка проб
by: Стародуб, Н.Ф., et al.
Published: (2008)

Нейтронно-защитные свойства гидридов титана и циркония с повышенным содержанием водорода
by: Власенко, Н.И., et al.
Published: (2009)

Особенности взаимодействия ионов Cu (II) с оксигидратными сорбентами на основе титана и циркония
by: Яценко, Т.В., et al.
Published: (2006)

Методы пайки изделий в вакууме с помощью вакуумно-дугового разряда
by: Столбовой, В.А.
Published: (2016)

Компьютерная подготовка библиотекарей-профессионалов
by: Паршукова, Г.Б.
Published: (2003)

Подготовка кадров на сварочном факультете ПГТУ
by: Гулаков, С.В., et al.
Published: (2011)

Динамика поведения капельной фазы в плазменных потоках, формирующихся в разрядных промежутках вакуумно-дуговых разрядов с рабочим газом аргоном
by: Свавильный, Н.Е.
Published: (2016)