Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония
Рассмотрены вопросы, связанные с очисткой поверхности подложки путём бомбардировки ионами титана и циркония вакуумно-дуговым методом. Показано, что очистку подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий необходимо проводить в высоком вакууме (давление не более 0,004 Па) при отрицательном потенц...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| Автори: | Столбовой, В.А., Фурсов, С.С., Зуйко, И.С. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76410 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония / В.А. Столбовой, С.С. Фурсов, И.С. Зуйко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 164–169. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода
за авторством: Казаченко, В.П., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Казаченко, В.П., та інші
Опубліковано: (2009)
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
за авторством: Столбовой, В.А.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Столбовой, В.А.
Опубліковано: (2009)
Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2015)
Структура и механические свойства вакуумно-дуговых многослойных конденсатов нитридов титана и его сплавов
за авторством: Демчишин, А.В., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Демчишин, А.В., та інші
Опубліковано: (2014)
Исследование фазового состава, структуры и свойств многослойных вакуумно-дуговых нанокристаллических покрытий Ti-Mo-N
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Характиристики вакуумно-дуговых покрытий из чередующихся слоев TiN/ TiNCu
за авторством: Лунёв, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Лунёв, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)
Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)
Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)
Эрозия вакуумно-дуговых TiN покрытий и нержавеющей стали при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2011)
Влияние способа нанесения вакуумно-дуговых TiN покрытий на их газовыделение в вакууме при высоких температурах
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2009)
Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов
за авторством: Решетняк, Е.Н.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Решетняк, Е.Н.
Опубліковано: (2013)
Прочность поверхностных слоев цирконииевых сплавов и вакуумно-дуговых покрытий при микроударном воздействии
за авторством: Коваленко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Коваленко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
О влиянии атомарного азота на процесс синтеза вакуумно-дуговых покрытий Mо-N
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2007)
Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Errata: Использование импульсной ионной стимуляции для модификации структурно-напряжённого состояния и механических свойств вакуумно-дуговых TiN-покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Программно-аппаратный комплекс для оптимизации транспортирующих свойств вакуумно-дуговых фильтров
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2016)
Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2016)
Структура и твердость вакуумно-дуговых конденсатов титана и некоторых сплавов на его основе, полученных из несепарированных потоков плазмы
за авторством: Демчишин, А.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Демчишин, А.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2001)
Поляриметрия подложек компакт-дисков
за авторством: Савенков, С.Н., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Савенков, С.Н., та інші
Опубліковано: (2005)
Импеданс и адмиттанс смешанных диоксидов титана и марганца, апплицированных ионами Li⁺
за авторством: Дзязько, Ю.С., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Дзязько, Ю.С., та інші
Опубліковано: (2007)
Влияние высокотемпературного отжига на структуру и механические свойства вакуумно-дуговых покрытий из Мо/(Ti + 6 % (по массе) Si)N
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)
Об эффективности вакуумно-дуговых источников плазмы с сепарацией капельной фазы эрозии катода
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
Исследование закономерностей смачивания боридов циркония, титана, хрома и карбида титана самофлюсующимся сплавом на никелевой основе
за авторством: Терентьев, А.Е., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Терентьев, А.Е., та інші
Опубліковано: (2012)
Влияние плазменных вакуумно-дуговых покрытий CrN, CrAl и Al₂O₃ на процесс насыщения дейтерием сплава Zr + 1 % Nb
за авторством: Бартак, В.А., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Бартак, В.А., та інші
Опубліковано: (2016)
Нанокомпозиты диоксидов кремния, титана, циркония и церия – загустители пластичных смазок
за авторством: Борисенко, Л.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Борисенко, Л.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Исследование триметафосфиматов титана (IV) и циркония (IV) термографическим методом
за авторством: Беляков, В.Н., та інші
Опубліковано: (1983)
за авторством: Беляков, В.Н., та інші
Опубліковано: (1983)
Исследование поляриметрических характеристик подложек оптических дисковых носителей
за авторством: Петров, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Петров, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников
за авторством: Григорьев, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Григорьев, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2003)
Анализ микотоксинов: подготовка проб
за авторством: Стародуб, Н.Ф., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Стародуб, Н.Ф., та інші
Опубліковано: (2008)
Нейтронно-защитные свойства гидридов титана и циркония с повышенным содержанием водорода
за авторством: Власенко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Власенко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2009)
Особенности взаимодействия ионов Cu (II) с оксигидратными сорбентами на основе титана и циркония
за авторством: Яценко, Т.В., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Яценко, Т.В., та інші
Опубліковано: (2006)
Методы пайки изделий в вакууме с помощью вакуумно-дугового разряда
за авторством: Столбовой, В.А.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Столбовой, В.А.
Опубліковано: (2016)
Компьютерная подготовка библиотекарей-профессионалов
за авторством: Паршукова, Г.Б.
Опубліковано: (2003)
за авторством: Паршукова, Г.Б.
Опубліковано: (2003)
Подготовка кадров на сварочном факультете ПГТУ
за авторством: Гулаков, С.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Гулаков, С.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Динамика поведения капельной фазы в плазменных потоках, формирующихся в разрядных промежутках вакуумно-дуговых разрядов с рабочим газом аргоном
за авторством: Свавильный, Н.Е.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Свавильный, Н.Е.
Опубліковано: (2016)
Схожі ресурси
-
Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2006) -
Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2011) -
Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода
за авторством: Казаченко, В.П., та інші
Опубліковано: (2009) -
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
за авторством: Столбовой, В.А.
Опубліковано: (2009) -
Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2015)