Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света

• Veröffentlicht in: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Datum: 2009
• Hauptverfasser: Барчук, О.И., Биленко, К.С., Голобородько, А.А., Курашов, В.Н., Оберемок, Е.А., Савенков, С.Н.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainian
• Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2009
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76413
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света / О.И. Барчук, К.С. Биленко, А.А. Голобородько, В.Н. Курашов, Е.А. Оберемок, С.Н. Савенков // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 421-431. — Бібліогр.: 13 назв. — укр.

Рассмотрены оптические характеристики сложных многослойных систем на основе кремния. Исследовано влияние структуры поликристаллических пленок с наноразмерными особенностями на характер угловых зависостей коэффициентов отражения Rp и Rs. Показано, что для интерпретации полученных экспериментальных р...