Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au

Встановлено межі впливу сурфактантних підшарів стибію та ґерманію різних товщин на структуру тонких плівок металів у широкому інтервалі товщин. Показано, що сурфактантні підшари, попередньо нанесені на діелектричне підложжя, зменшують середні лінійні розміри кристалітів у осаджених плівках міді та з...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Date:2009
Main Authors: Бігун, Р.І., Стасюк, З.В., Бородчук, А.В., Пастирський, Я.А.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2009
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76441
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au / Р.І. Бігун, З.В. Стасюк, А.В. Бородчук, Я.А. Пастирський // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 529-533. — Бібліогр.: 8 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-76441
record_format dspace
spelling Бігун, Р.І.
Стасюк, З.В.
Бородчук, А.В.
Пастирський, Я.А.
2015-02-10T13:21:40Z
2015-02-10T13:21:40Z
2009
Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au / Р.І. Бігун, З.В. Стасюк, А.В. Бородчук, Я.А. Пастирський // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 529-533. — Бібліогр.: 8 назв. — укр.
1816-5230
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76441
PACS numbers: 61.46.Bc, 68.55.A-, 68.55.J-, 81.10.Jt, 81.15.Ef, 81.15.Np
Встановлено межі впливу сурфактантних підшарів стибію та ґерманію різних товщин на структуру тонких плівок металів у широкому інтервалі товщин. Показано, що сурфактантні підшари, попередньо нанесені на діелектричне підложжя, зменшують середні лінійні розміри кристалітів у осаджених плівках міді та золота. Виявлено можливість керованого росту та виготовлення тонких плівок металів з наперед заданими властивостями.
The effect of Sb and Ge surfactant underlayers of different thicknesses on Cu and Au metal films in a wide range of film thickness is revealed. As shown, the surfactant underlayers predeposited on dielectric substrates cause decrease of average linear sizes of crystallites in deposited Cu and Au films. The possibility of governed fabrication of thin metal films with specified properties is revealed.
Установлены пределы влияния сурфактантных подслоев сурьмы и германия различных толщин на структуру тонких пленок металлов в широком диапазоне толщин. Показано, что сурфактантные подслои, предварительно нанесенные на диэлектрическую подложку, уменьшают средние линейные размеры кристаллитов в осажденных пленках меди и золота. Обнаружена возможность управляемого роста и изготовления тонких пленок металлов с предварительно заданными свойствами.
uk
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au
Impact of Sb and Ge Surfactant Underlayers on Cu and Au Films Structure
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au
spellingShingle Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au
Бігун, Р.І.
Стасюк, З.В.
Бородчук, А.В.
Пастирський, Я.А.
title_short Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au
title_full Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au
title_fullStr Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au
title_full_unstemmed Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au
title_sort вплив сурфактантних підшарів sb та ge на структуру плівок cu і au
author Бігун, Р.І.
Стасюк, З.В.
Бородчук, А.В.
Пастирський, Я.А.
author_facet Бігун, Р.І.
Стасюк, З.В.
Бородчук, А.В.
Пастирський, Я.А.
publishDate 2009
language Ukrainian
container_title Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
format Article
title_alt Impact of Sb and Ge Surfactant Underlayers on Cu and Au Films Structure
description Встановлено межі впливу сурфактантних підшарів стибію та ґерманію різних товщин на структуру тонких плівок металів у широкому інтервалі товщин. Показано, що сурфактантні підшари, попередньо нанесені на діелектричне підложжя, зменшують середні лінійні розміри кристалітів у осаджених плівках міді та золота. Виявлено можливість керованого росту та виготовлення тонких плівок металів з наперед заданими властивостями. The effect of Sb and Ge surfactant underlayers of different thicknesses on Cu and Au metal films in a wide range of film thickness is revealed. As shown, the surfactant underlayers predeposited on dielectric substrates cause decrease of average linear sizes of crystallites in deposited Cu and Au films. The possibility of governed fabrication of thin metal films with specified properties is revealed. Установлены пределы влияния сурфактантных подслоев сурьмы и германия различных толщин на структуру тонких пленок металлов в широком диапазоне толщин. Показано, что сурфактантные подслои, предварительно нанесенные на диэлектрическую подложку, уменьшают средние линейные размеры кристаллитов в осажденных пленках меди и золота. Обнаружена возможность управляемого роста и изготовления тонких пленок металлов с предварительно заданными свойствами.
issn 1816-5230
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76441
fulltext
citation_txt Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au / Р.І. Бігун, З.В. Стасюк, А.В. Бородчук, Я.А. Пастирський // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 529-533. — Бібліогр.: 8 назв. — укр.
work_keys_str_mv AT bígunrí vplivsurfaktantnihpídšarívsbtagenastrukturuplívokcuíau
AT stasûkzv vplivsurfaktantnihpídšarívsbtagenastrukturuplívokcuíau
AT borodčukav vplivsurfaktantnihpídšarívsbtagenastrukturuplívokcuíau
AT pastirsʹkiiâa vplivsurfaktantnihpídšarívsbtagenastrukturuplívokcuíau
AT bígunrí impactofsbandgesurfactantunderlayersoncuandaufilmsstructure
AT stasûkzv impactofsbandgesurfactantunderlayersoncuandaufilmsstructure
AT borodčukav impactofsbandgesurfactantunderlayersoncuandaufilmsstructure
AT pastirsʹkiiâa impactofsbandgesurfactantunderlayersoncuandaufilmsstructure
first_indexed 2025-11-24T08:14:17Z
last_indexed 2025-11-24T08:14:17Z
_version_ 1850844454148112384