Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au
Встановлено межі впливу сурфактантних підшарів стибію та ґерманію різних товщин на структуру тонких плівок металів у широкому інтервалі товщин. Показано, що сурфактантні підшари, попередньо нанесені на діелектричне підложжя, зменшують середні лінійні розміри кристалітів у осаджених плівках міді та з...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
|---|---|
| Дата: | 2009 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2009
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76441 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок
 Cu і Au / Р.І. Бігун, З.В. Стасюк, А.В. Бородчук, Я.А. Пастирський // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 529-533. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862534497668431872 |
|---|---|
| author | Бігун, Р.І. Стасюк, З.В. Бородчук, А.В. Пастирський, Я.А. |
| author_facet | Бігун, Р.І. Стасюк, З.В. Бородчук, А.В. Пастирський, Я.А. |
| citation_txt | Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок
 Cu і Au / Р.І. Бігун, З.В. Стасюк, А.В. Бородчук, Я.А. Пастирський // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 529-533. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| description | Встановлено межі впливу сурфактантних підшарів стибію та ґерманію різних товщин на структуру тонких плівок металів у широкому інтервалі товщин. Показано, що сурфактантні підшари, попередньо нанесені на діелектричне підложжя, зменшують середні лінійні розміри кристалітів у осаджених плівках міді та золота. Виявлено можливість керованого росту та
виготовлення тонких плівок металів з наперед заданими властивостями.
The effect of Sb and Ge surfactant underlayers of different thicknesses on
Cu and Au metal films in a wide range of film thickness is revealed. As
shown, the surfactant underlayers predeposited on dielectric substrates
cause decrease of average linear sizes of crystallites in deposited Cu and
Au films. The possibility of governed fabrication of thin metal films with
specified properties is revealed.
Установлены пределы влияния сурфактантных подслоев сурьмы и германия различных толщин на структуру тонких пленок металлов в широком диапазоне толщин. Показано, что сурфактантные подслои, предварительно нанесенные на диэлектрическую подложку, уменьшают
средние линейные размеры кристаллитов в осажденных пленках меди
и золота. Обнаружена возможность управляемого роста и изготовления
тонких пленок металлов с предварительно заданными свойствами.
|
| first_indexed | 2025-11-24T08:14:17Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-76441 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1816-5230 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-11-24T08:14:17Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Бігун, Р.І. Стасюк, З.В. Бородчук, А.В. Пастирський, Я.А. 2015-02-10T13:21:40Z 2015-02-10T13:21:40Z 2009 Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок
 Cu і Au / Р.І. Бігун, З.В. Стасюк, А.В. Бородчук, Я.А. Пастирський // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 529-533. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. 1816-5230 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76441 PACS numbers: 61.46.Bc, 68.55.A-, 68.55.J-, 81.10.Jt, 81.15.Ef, 81.15.Np Встановлено межі впливу сурфактантних підшарів стибію та ґерманію різних товщин на структуру тонких плівок металів у широкому інтервалі товщин. Показано, що сурфактантні підшари, попередньо нанесені на діелектричне підложжя, зменшують середні лінійні розміри кристалітів у осаджених плівках міді та золота. Виявлено можливість керованого росту та
 виготовлення тонких плівок металів з наперед заданими властивостями. The effect of Sb and Ge surfactant underlayers of different thicknesses on
 Cu and Au metal films in a wide range of film thickness is revealed. As
 shown, the surfactant underlayers predeposited on dielectric substrates
 cause decrease of average linear sizes of crystallites in deposited Cu and
 Au films. The possibility of governed fabrication of thin metal films with
 specified properties is revealed. Установлены пределы влияния сурфактантных подслоев сурьмы и германия различных толщин на структуру тонких пленок металлов в широком диапазоне толщин. Показано, что сурфактантные подслои, предварительно нанесенные на диэлектрическую подложку, уменьшают
 средние линейные размеры кристаллитов в осажденных пленках меди
 и золота. Обнаружена возможность управляемого роста и изготовления
 тонких пленок металлов с предварительно заданными свойствами. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au Impact of Sb and Ge Surfactant Underlayers on Cu and Au Films Structure Article published earlier |
| spellingShingle | Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au Бігун, Р.І. Стасюк, З.В. Бородчук, А.В. Пастирський, Я.А. |
| title | Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au |
| title_alt | Impact of Sb and Ge Surfactant Underlayers on Cu and Au Films Structure |
| title_full | Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au |
| title_fullStr | Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au |
| title_full_unstemmed | Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au |
| title_short | Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au |
| title_sort | вплив сурфактантних підшарів sb та ge на структуру плівок cu і au |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76441 |
| work_keys_str_mv | AT bígunrí vplivsurfaktantnihpídšarívsbtagenastrukturuplívokcuíau AT stasûkzv vplivsurfaktantnihpídšarívsbtagenastrukturuplívokcuíau AT borodčukav vplivsurfaktantnihpídšarívsbtagenastrukturuplívokcuíau AT pastirsʹkiiâa vplivsurfaktantnihpídšarívsbtagenastrukturuplívokcuíau AT bígunrí impactofsbandgesurfactantunderlayersoncuandaufilmsstructure AT stasûkzv impactofsbandgesurfactantunderlayersoncuandaufilmsstructure AT borodčukav impactofsbandgesurfactantunderlayersoncuandaufilmsstructure AT pastirsʹkiiâa impactofsbandgesurfactantunderlayersoncuandaufilmsstructure |