Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au

• Published in: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Date: 2009
• Main Authors: Бігун, Р.І., Стасюк, З.В., Бородчук, А.В., Пастирський, Я.А.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2009
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76441
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Вплив сурфактантних підшарів Sb та Ge на структуру плівок Cu і Au / Р.І. Бігун, З.В. Стасюк, А.В. Бородчук, Я.А. Пастирський // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 529-533. — Бібліогр.: 8 назв. — укр.

Встановлено межі впливу сурфактантних підшарів стибію та ґерманію різних товщин на структуру тонких плівок металів у широкому інтервалі товщин. Показано, що сурфактантні підшари, попередньо нанесені на діелектричне підложжя, зменшують середні лінійні розміри кристалітів у осаджених плівках міді та з...