Зображення обкладинки

Порівняльні дослідження плазмохемічних плівок SіCN, одержаних із різних прекурсорів

Виконано дослідження впливу природи прекурсору на основні фізичні і трибологічні характеристики плівок SiCN, одержаних методою газофазового осадження, активованого високочастотною плазмою (PECVD). Для порівняння обрано такі рідкі вихідні матеріяли, як метилтрихльорсилан (МТХС) і гексаметилдісилан...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Дата:	2009
Автори:	Іващенко, Л.А., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Карпець, М.В., Бутенко, О.О., Закієв, І.М.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2009
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76542
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Порівняльні дослідження плазмохемічних плівок SіCN, одержаних із різних прекурсорів / Л.А. Іващенко, В.І. Іващенко, О.К. Порада, М.В. Карпець, О.О. Бутенко, І.М. Закієв // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 3. — С. 867-875. — Бібліогр.: 10 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок
за авторством: Порада, О.К., та інші
Опубліковано: (2019)

Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття
за авторством: Порада, О.К., та інші
Опубліковано: (2016)

Властивості тонких плівок оксиду цинку, одержаних електрохімічним методом
за авторством: Горбик, П.П., та інші
Опубліковано: (2004)

Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням
за авторством: Козак, А.О., та інші
Опубліковано: (2015)

Електричні та фотоелектричні властивості гетеропереходів a-SiCN/c-Si
за авторством: Сукач, А.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Синтез та оптичні характеристики нанорозмірних пористих плівок ТіО₂, одержаних золь-гель методом
за авторством: Петрик, І.С., та інші
Опубліковано: (2004)

Характеризація та фотоактивність оксиду титану (ІV), одержаного з різних прекурсорів
за авторством: Dontsova, T. A., та інші
Опубліковано: (2015)

Нідерландська та Українська національні революції: деякі порівняльні аспекти
за авторством: Бутенко, Р.
Опубліковано: (2009)

Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C
за авторством: Куликовський, B.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

ТРИБОЛОГІЯ КОМПОЗИТІВ Fe-Cu-Ni-Sn і Fe-Cu-Ni-Sn-VN, ОДЕРЖАНИХ МЕТОДАМИ ПОРОШКОВОЇ МЕТАЛУРГІЇ
за авторством: Мечник, В. А., та інші
Опубліковано: (2019)

Порівняльні інтегральні оцінки впливу на фізіологічну активність води "Нафтуся" різних методів її дезинфекції
за авторством: Ковальчук, Г.Я., та інші
Опубліковано: (2005)

Порівняльні властивості цеолітних кислотних каталізаторів різного приготування
за авторством: Патриляк, Л.К., та інші
Опубліковано: (2003)

Порівняльні морфологічні критерії плодів пастернаку
за авторством: Palamarchuk, E.P.
Опубліковано: (2002)

Порівняльні дослідження процесів рідкого шлаковидалення при різних технологіях пилоподачі на пальники котла ТПП-210А
за авторством: Kesova L.O., та інші
Опубліковано: (2017)

Розвиток та порівняльні характеристики логіко-онтологічних формальних теорій
за авторством: Палагін, О.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Порівняльні конструкції зі сполучником як у мові Михайла Коцюбинського
за авторством: Марчук, О.
Опубліковано: (2002)

Модифікування магнетиту діоксидом титану та властивості одержаних нанокомпозитів
за авторством: Семко, Л.С., та інші
Опубліковано: (2007)

Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
за авторством: Порада, А.К., та інші
Опубліковано: (2010)

Порівняльні конструкції в поетичному ідіолекті Миколи Дмитренка
за авторством: Філінюк, В.
Опубліковано: (2015)

Павло Филипович: "Порівняльні студії... поширюють наш обрій"
за авторством: Александрова, Г.
Опубліковано: (2016)

Дослідження формування структури прекурсорів для отримання нанопорошків на основі фази типу перовскиту
за авторством: Lobunets, T. F., та інші
Опубліковано: (2020)

Дослідження розкладу цитратних прекурсорів до оксиду цинку методом температурно-програмованої мас-спектрометрії
за авторством: Romanova, I. V., та інші
Опубліковано: (2012)

Особливості структури полікристалів кубічного BN, одержаних прямим конверсійним спіканням
за авторством: Петруша, І.А., та інші
Опубліковано: (2017)

Європейські візії та розрізнення: порівняльні дослідження в удосконаленні викладання соціології
за авторством: Куценко, О., та інші
Опубліковано: (2009)

Порівняльні дослідження фізико-хімічних і технологічних властивостей вуглецевих нанотрубок і вуглецевих ниткоподібних кристалів
за авторством: Полторацький, В. Г., та інші
Опубліковано: (2018)

Isolation of к-CN-1P and в-CN-5R fractions from native casein micelles
за авторством: V. G. Yukalo, та інші
Опубліковано: (2018)

Фізико-хімічні властивості порошків срібла, одержаних контактним осадженням магнієм
за авторством: Яворський, В.Т., та інші
Опубліковано: (2013)

Переосмислення компонентів високотемпературних полімерів: масштабований синтез і de novo шляхи до структурно різноманітних прекурсорів
за авторством: Kurganov, Roman M., та інші
Опубліковано: (2024)

Державне регулювання системи факторів оцінки та мінімізації ризиків легалізації коштів, одержаних злочинним шляхом в процесі фінансового моніторингу комерційних банків України
за авторством: Патюта, І.М.
Опубліковано: (2012)

Моделювання електронної будови мікрокристалічних поверхневих шарів, одержаних лазерним модифікуванням
за авторством: Дурягіна, З.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Вплив низькомолекулярних фрагментів колагену, одержаних з луски риб антарктичного регіону, на розвиток ожиріння
за авторством: Нагірняк, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2016)

Нанорельєф поверхонь поліімідних плівок, похило оброблених плазмовим жмутом
за авторством: Губарєв, С.М., та інші
Опубліковано: (2009)

On the units of integral group ring of Cn×C₆
за авторством: Küsmüş, Ö.
Опубліковано: (2015)

Hard plasmachemical a-SiCN coatings
за авторством: O. K. Porada, та інші
Опубліковано: (2016)

On the units of integral group ring of Cn × C₆
за авторством: Küsmüş, Ö.
Опубліковано: (2015)

Магнетні та магнеторезистивні властивості плівок феромагнетних металів
за авторством: Воробйов, С.І., та інші
Опубліковано: (2015)

Пріоритети аграрної науки в Україні
за авторством: Іващенко, О.О.
Опубліковано: (2006)

Дослідження поверхневого тиску мономолекулярних плівок поліортометоксіаніліну
за авторством: Опайнич, І., та інші
Опубліковано: (2008)

Магнеторезистивні властивості нанокристалічних плівок кобальту
за авторством: Шкурдода, Ю.О., та інші
Опубліковано: (2016)

Військова діяльність Петра Калнишевського
за авторством: Іващенко, О.В.
Опубліковано: (2006)