Структурні, електричні та оптичні властивості тонких плівок ZnO:Al
Вивчалися структурні, електричні та оптичні властивості плівок ZnO:Al, виготовлених методою пульверизації. Наведено результати впливу температури осадження плівок на поверхневий опір плівок. Встановлено, що плівки, леґовані алюмінієм, мають переважно структуру з орієнтацією (002), а також зниженн...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
|---|---|
| Дата: | 2009 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2009
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76546 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структурні, електричні та оптичні властивості тонких плівок ZnO:Al / С.Л. Хрипко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 3. — С. 833-841. — Бібліогр.: 38 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-76546 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Хрипко, С.Л. 2015-02-10T19:54:34Z 2015-02-10T19:54:34Z 2009 Структурні, електричні та оптичні властивості тонких плівок ZnO:Al / С.Л. Хрипко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 3. — С. 833-841. — Бібліогр.: 38 назв. — укр. 1816-5230 PACS numbers: 68.55.Ln,68.55.Nq,73.61.Ga,78.20.Ci,78.66.Hf,81.15.Rs,81.40.Rs https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76546 Вивчалися структурні, електричні та оптичні властивості плівок ZnO:Al, виготовлених методою пульверизації. Наведено результати впливу температури осадження плівок на поверхневий опір плівок. Встановлено, що плівки, леґовані алюмінієм, мають переважно структуру з орієнтацією (002), а також зниження рівня кристалічности плівок із збільшенням концентрації алюмінію від 1,5 ат.% до 4,5 ат.%. Діяметер зерен становить близько 21—28 нм. Ширина забороненої зони за даними розрахунків складає 3,28—3,34 еВ. Оптичне пропускання плівок досить високе; у видимій та інфрачервоній ділянках воно складає 90—96%. Structural, electrical, and optical properties of ZnO:Al films fabricated by the spraying method are studied. The results of influence of films deposition temperature on their surface resistance are presented. As revealed, the films alloyed with aluminium mainly possess a structure of (002) orientation. Level of films crystallinity decreases with the increase of aluminium concentration from 1.5 at.% to 4.5 at.%. The grains diameter is about 21—28 nm. According to calculation data, forbidden-band width is 3.28—3.34 eV. Optical transmission of films is high enough and makes 90—96%in visible and infrared ranges. Изучались структурные, электрические и оптические свойства пленок ZnO:Al, изготовленных методом пульверизации. Приведены результаты влияния температуры осаждения пленок на их поверхностное сопротивление. Установлено, что пленки, легированные алюминием, преимущественно имеют структуру с ориентацией (002), а также снижение уровня кристалличности пленок с увеличением концентрации алюминия от 1,5 ат.% до 4,5 ат.%. Диаметр зерен составил около 21—28 нм. Ширина запрещенной зоны по данным расчетов составляет 3,28—3,34 эВ. Оптическое пропускание пленок достаточно высокое и составляет 90—96% в видимом и инфракрасном участках. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Структурні, електричні та оптичні властивості тонких плівок ZnO:Al Structural, Electrical and Optical Properties of ZnO:Al Thin Films Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Структурні, електричні та оптичні властивості тонких плівок ZnO:Al |
| spellingShingle |
Структурні, електричні та оптичні властивості тонких плівок ZnO:Al Хрипко, С.Л. |
| title_short |
Структурні, електричні та оптичні властивості тонких плівок ZnO:Al |
| title_full |
Структурні, електричні та оптичні властивості тонких плівок ZnO:Al |
| title_fullStr |
Структурні, електричні та оптичні властивості тонких плівок ZnO:Al |
| title_full_unstemmed |
Структурні, електричні та оптичні властивості тонких плівок ZnO:Al |
| title_sort |
структурні, електричні та оптичні властивості тонких плівок zno:al |
| author |
Хрипко, С.Л. |
| author_facet |
Хрипко, С.Л. |
| publishDate |
2009 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Structural, Electrical and Optical Properties of ZnO:Al Thin Films |
| description |
Вивчалися структурні, електричні та оптичні властивості плівок ZnO:Al,
виготовлених методою пульверизації. Наведено результати впливу температури осадження плівок на поверхневий опір плівок. Встановлено, що
плівки, леґовані алюмінієм, мають переважно структуру з орієнтацією
(002), а також зниження рівня кристалічности плівок із збільшенням
концентрації алюмінію від 1,5 ат.% до 4,5 ат.%. Діяметер зерен становить близько 21—28 нм. Ширина забороненої зони за даними розрахунків
складає 3,28—3,34 еВ. Оптичне пропускання плівок досить високе; у видимій та інфрачервоній ділянках воно складає 90—96%.
Structural, electrical, and optical properties of ZnO:Al films fabricated by
the spraying method are studied. The results of influence of films deposition
temperature on their surface resistance are presented. As revealed, the films
alloyed with aluminium mainly possess a structure of (002) orientation.
Level of films crystallinity decreases with the increase of aluminium concentration
from 1.5 at.% to 4.5 at.%. The grains diameter is about 21—28 nm.
According to calculation data, forbidden-band width is 3.28—3.34 eV. Optical
transmission of films is high enough and makes 90—96%in visible and infrared
ranges.
Изучались структурные, электрические и оптические свойства пленок
ZnO:Al, изготовленных методом пульверизации. Приведены результаты
влияния температуры осаждения пленок на их поверхностное сопротивление. Установлено, что пленки, легированные алюминием, преимущественно имеют структуру с ориентацией (002), а также снижение уровня
кристалличности пленок с увеличением концентрации алюминия от 1,5
ат.% до 4,5 ат.%. Диаметр зерен составил около 21—28 нм. Ширина запрещенной зоны по данным расчетов составляет 3,28—3,34 эВ. Оптическое пропускание пленок достаточно высокое и составляет 90—96% в видимом и инфракрасном участках.
|
| issn |
1816-5230 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76546 |
| citation_txt |
Структурні, електричні та оптичні властивості тонких плівок ZnO:Al / С.Л. Хрипко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 3. — С. 833-841. — Бібліогр.: 38 назв. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT hripkosl strukturníelektričnítaoptičnívlastivostítonkihplívokznoal AT hripkosl structuralelectricalandopticalpropertiesofznoalthinfilms |
| first_indexed |
2025-12-07T21:18:46Z |
| last_indexed |
2025-12-07T21:18:46Z |
| _version_ |
1850885880009457664 |