Влияние потенциала подложки при осаждении и размерного фактора на структуру, напряженное состояние и физико-механические характеристики многослойных TiN/Ti покрытий

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2011
• Main Authors: Соболь, О.В., Андреев, А.А., Горбань, В.Ф., Столбовой, В.А., Фильчиков, В.Е.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76897
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Влияние потенциала подложки при осаждении и размерного фактора на структуру, напряженное состояние и физико-механические характеристики многослойных TiN/Ti покрытий / О.В. Соболь, А.А. Андреев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой, В.Е. Фильчиков // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 3. — С. 221–228. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Установлено, что в слоях нитрида титана, толщиной 300 нм и более при подаче потенциала смещения развивается текстура [111]. Степень совершенства текстуры повышается с увеличением толщины слоя, что свидетельствует о ростовом характере зарождения такого типа текстуры, стимулированной ионной бомбардиро...