Эрозия вакуумно-дуговых TiN покрытий и нержавеющей стали при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2011
• Main Authors: Глазунов, Г.П., Андреев, А.А., Бондаренко, М.Н., Конотопский, А.Л., Моисеенко, В.Е., Столбовой, В.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76899
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Эрозия вакуумно-дуговых TiN покрытий и нержавеющей стали при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа / Г.П. Глазунов, А.А. Андреев, М.Н. Бондаренко, А.Л. Конотопский, В.Е. Моисеенко, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 3. — С. 250–255. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Исследован процесс эрозии TiN покрытий, полученных вакуумно-дуговым методом с использованием разных технологических приемов: при подаче высоковольтных импульсов отрицательной полярности на подложку и без таковых, при различных давлениях рабочего газа (азота). Для сравнения измерены также эрозионные...