Зображення обкладинки

Оптические свойства субмикронных пленок оксида кремния после высокотемпературной обработки

В работе рассматривается влияние высокотемпературной обработки тонких (100 ÷ 500 нм) пленок оксида кремния на кремниевой подложке, полученных в вакууме методом электронно-лучевого испарения. Обнаружена структурная перестройка полученных тонких пленок SiOx и изменение их состава вплоть до SiO2 при вы...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2011
Автори:	Литвиненко, В.В., Родионов, В.Е., Родионова, Н.А., Шмидко, И.Н.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2011
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76937
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Оптические свойства субмикронных пленок оксида кремния после высокотемпературной обработки / В.В. Литвиненко, В.Е. Родионов, Н.А. Родионова, И.Н. Шмидко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 4. — С. 346–349. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Оптические параметры нанокомпозитных плёнок пористого оксида алюминия c квантовыми точками кремния или германия
за авторством: Ушенин, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Высокояркий пленочный люминофор красного цвета свечения на основе оксида гадолиния
за авторством: Литвиненко, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Структура и свойства сплава Мл-5 после высокотемпературной обработки расплава
за авторством: Шаломеев, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода
за авторством: Изотов, А.И., та інші
Опубліковано: (2017)

Сорбционные свойства композитных пленок на основе оксида кремния, синтезированных в присутствии поверхностно-активных веществ
за авторством: Наджафова, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2007)

Радиационные повреждения и оптические свойства твердых пленок С₇₀
за авторством: Дмитренко, О.П., та інші
Опубліковано: (2005)

Оптические свойства и наноструктура пленок аморфного WO₃
за авторством: Краснов, Ю.С., та інші
Опубліковано: (2005)

Оптические свойства тонких плёнок TbSb₂
за авторством: Джабуа, З.У.
Опубліковано: (2016)

Оптические и механические свойства плёнок TbSb
за авторством: Джабуа, З., та інші
Опубліковано: (2017)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Рубцевич, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)

Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия
за авторством: Максимчук, Н.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Оптические свойства тонких плёнок диантимонида празеодима золотистой окраски
за авторством: Джабуа, З.У., та інші
Опубліковано: (2012)

Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
за авторством: Глушко, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)

Влияние температуры обработки на структурные и оптические свойства наноструктурированных ZnO:Al-плёнок, формируемых золь–гель-методом
за авторством: Сидский, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Оптические свойства радиационно-сенсибилизированных пленок TiO₂ со структурой анатаза
за авторством: Буско, Т.О., та інші
Опубліковано: (2008)

Фотокаталитические свойства пленок оксида титана (IV) в средах различной кислотности
за авторством: Сахненко, Н.Д., та інші
Опубліковано: (2013)

Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия
за авторством: Maksimchuk, N. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Оптоэлектронные свойства тонких пленок гидрогенизированного аморфного кремния-углерода и нанокристаллического кремния
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
за авторством: Юрченко, Г.В.
Опубліковано: (2000)

Столбчатая структура и оптические свойства пленок ZnO, полученных электрохимическим методом
за авторством: Чертопалов, С.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Поликластерная структура и электрохромизм плёнок оксида вольфрама
за авторством: Краснов, Ю.С., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
за авторством: Барчук, О.И., та інші
Опубліковано: (2009)

Способы управления активностью оксида кремния в шлаковых расплавах сварочных флюсов
за авторством: Гончаров, И.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Микробный фактор, топливосодержащие материалы и образование субмикронных частиц в объекте «Укрытие»
за авторством: Рыбалка, В.Б., та інші
Опубліковано: (2005)

Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (2002)

Приготовление тонких плёнок TmTe и их оптические, электрофизические и механические свойства
за авторством: Джабуа, З., та інші
Опубліковано: (2017)

Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
за авторством: Дружинин, А.A., та інші
Опубліковано: (2007)

Свойства твердых растворов, легированных пленок и нанокомпозитных систем на основе оксида цинка
за авторством: Лашкарев, Г.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
за авторством: Куликовский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)

Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
за авторством: Druzhynin, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)

Спектроскопия плёнок нанокомпозитов полисиланы/пористые оксиды кремния и титана
за авторством: Остапенко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2011)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Rubtsevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние кластеров с металлической проводимостью на электрические и оптические свойства аморфных пленок a-C‹N›
за авторством: Варюхин, В.Н., та інші
Опубліковано: (2005)

Электрофизические и электрохимические свойства поликристаллов, спеченных из субмикронных диэлектрических алмазных порошков
за авторством: Новоселова, И.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние высокоскоростного охлаждения на физико-механические свойства алюминие-вого сплава АМг6 после высокотемпературной выдержки
за авторством: Кузьмицкая, А.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Фазовые превращения в композитах на основе пирогенного оксида алюминия, смешанных оксидов алюминия и кремния и оксида меди
за авторством: Оранская, Е.И.
Опубліковано: (2011)

Структура и оптические свойства пористых плёнок золота и серебра, полученных импульсным лазерным осаждением в вакууме
за авторством: Каганович, Э.Б., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние электронного облучения на оптические свойства пленок нанокристаллического SiC на подложках из монокристалла Al₂O₃
за авторством: Семенов, A.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Влияние термообработки на электрические и оптические характеристики Nd₀.₅₂Sr₀.₄₈MnO₃₋δ-пленок
за авторством: Хохлов, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Синтез, оптические и фотокаталитические свойства пленок TiO₂/ZrO₂/SiO₂, модифицированных наночастицами золота
за авторством: Витюк, Н.В., та інші
Опубліковано: (2007)