Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы
Предложена математическая модель, учитывающая влияние лазерного излучения на распре¬деление температуры и формирование осадка тугоплавкого металла на диэлектрическую под¬ложку при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы. Модель учитывает параметры лазерного излучения для получения поверхност...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2011 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2011
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76954 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы / И.Г. Величко, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 4. — С. 363–368. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862690135727931392 |
|---|---|
| author | Величко, И.Г. Недоля, А.В. Титов, И.Н. |
| author_facet | Величко, И.Г. Недоля, А.В. Титов, И.Н. |
| citation_txt | Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы / И.Г. Величко, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 4. — С. 363–368. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Предложена математическая модель, учитывающая влияние лазерного излучения на распре¬деление температуры и формирование осадка тугоплавкого металла на диэлектрическую под¬ложку при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы. Модель учитывает параметры лазерного излучения для получения поверхностных структур с наперед заданными размерами и формой.
Запропонована математична модель, яка враховує вплив лазерного випромінювання на розподіл температури і формування осаду тугоплавкого металу на діелектричну підкладку при лазерно- індукованому піролізі з парової фази. Модель враховує параметри лазерного випромінювання для отримання поверхневих структур з наперед установленими розмірами і формою.
The mathematical model, which considers the effect of the laser radiation on the temperature dist¬ribution and shaping of sediment of refractory metal on dielectric substrate by pyrolysis LCVD is proposed. The model takes into account the parameters of laser radiation for obtaining surface structures with predetermined size and shape.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:12:14Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-76954 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:12:14Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Величко, И.Г. Недоля, А.В. Титов, И.Н. 2015-02-14T16:59:27Z 2015-02-14T16:59:27Z 2011 Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы / И.Г. Величко, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 4. — С. 363–368. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76954 535-1:519.8:66.092-977 Предложена математическая модель, учитывающая влияние лазерного излучения на распре¬деление температуры и формирование осадка тугоплавкого металла на диэлектрическую под¬ложку при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы. Модель учитывает параметры лазерного излучения для получения поверхностных структур с наперед заданными размерами и формой. Запропонована математична модель, яка враховує вплив лазерного випромінювання на розподіл температури і формування осаду тугоплавкого металу на діелектричну підкладку при лазерно- індукованому піролізі з парової фази. Модель враховує параметри лазерного випромінювання для отримання поверхневих структур з наперед установленими розмірами і формою. The mathematical model, which considers the effect of the laser radiation on the temperature dist¬ribution and shaping of sediment of refractory metal on dielectric substrate by pyrolysis LCVD is proposed. The model takes into account the parameters of laser radiation for obtaining surface structures with predetermined size and shape. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы Article published earlier |
| spellingShingle | Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы Величко, И.Г. Недоля, А.В. Титов, И.Н. |
| title | Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы |
| title_full | Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы |
| title_fullStr | Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы |
| title_full_unstemmed | Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы |
| title_short | Влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы |
| title_sort | влияние параметров лазерного излучения на образование металлического микроосадка при лазерно-индуцированном пиролизе из паровой фазы |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/76954 |
| work_keys_str_mv | AT veličkoig vliânieparametrovlazernogoizlučeniânaobrazovaniemetalličeskogomikroosadkaprilazernoinducirovannompirolizeizparovoifazy AT nedolâav vliânieparametrovlazernogoizlučeniânaobrazovaniemetalličeskogomikroosadkaprilazernoinducirovannompirolizeizparovoifazy AT titovin vliânieparametrovlazernogoizlučeniânaobrazovaniemetalličeskogomikroosadkaprilazernoinducirovannompirolizeizparovoifazy |