Декомпозиция лазерно-индуцированных эмиссионных спектров

Предложен метод разделения эмиссионных спектров на отдельные линии с помощью оптимизации модели полного спектра. Presented paper deals with splitting of laser-induced spectrums into set of standalone spectral bands. Model of spectrum is created, different shapes of band are examined and co...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Радіофізика та електроніка
Дата:2011
Автори: Дзюбенко, М.И., Кулишенко, Д.Ф., Приемко, А.А., Колпаков, С.Н.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України 2011
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78039
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Декомпозиция лазерно-индуцированных эмиссионных спектров / М.И. Дзюбенко, Д.Ф. Кулишенко, А.А. Приемко, С.Н. Колпаков // Радіофізика та електроніка. — 2011. — Т. 2(16), № 1. — С. 46-49. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859587248422387712
author Дзюбенко, М.И.
Кулишенко, Д.Ф.
Приемко, А.А.
Колпаков, С.Н.
author_facet Дзюбенко, М.И.
Кулишенко, Д.Ф.
Приемко, А.А.
Колпаков, С.Н.
citation_txt Декомпозиция лазерно-индуцированных эмиссионных спектров / М.И. Дзюбенко, Д.Ф. Кулишенко, А.А. Приемко, С.Н. Колпаков // Радіофізика та електроніка. — 2011. — Т. 2(16), № 1. — С. 46-49. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Радіофізика та електроніка
description Предложен метод разделения эмиссионных спектров на отдельные линии с помощью оптимизации модели полного спектра. Presented paper deals with splitting of laser-induced spectrums into set of standalone spectral bands. Model of spectrum is created, different shapes of band are examined and comparison is presented. Запропоновано метод розділення емісійних спектрів на окремі лінії за допомогою оптимізації моделі повного спектра. Побудовано моделі спектрів на трьох різних контурах спектральних ліній, проведено порівняння результатів.
first_indexed 2025-11-27T11:16:42Z
format Article
fulltext ВВААККУУУУММННАА ТТАА ТТВВЕЕРРДДООТТІІЛЛЬЬННАА ЕЕЛЛЕЕККТТРРООННІІККАА _________________________________________________________________________________________________________________ __________ ISSN 1028–821X Радіофізика та електроніка, 2011, том 2(16), № 1 © ІРЕ НАН України, 2011 УДК 621.37:543.42 М. И. Дзюбенко, Д. Ф. Кулишенко, А. А. Приемко, С. Н. Колпаков ДЕКОМПОЗИЦИЯ ЛАЗЕРНО-ИНДУЦИРОВАННЫХ ЭМИССИОННЫХ СПЕКТРОВ Институт радиофизики и электроники им. А. Я. Усикова НАН Украины 12, ул. Ак. Проскуры, Харьков, 61085, Украина E-mail: Nalphein@ukr.net Предложен метод разделения эмиссионных спектров на отдельные линии с помощью оптимизации модели полного спек- тра. Построены модели спектров на трех различных контурах спектральных линий, проведено сравнение результатов. Ил. 1. Табл. 1. Библиогр.: 12 назв. Ключевые слова: эмиссионный спектр, перекрывающиеся линии, лазерно-индуцированный спектр, модель спектра. Измерение истинных ширин, формы и площади спектральных линий является одной из наиболее актуальных и трудных задач современ- ной спектроскопии. Две важные проблемы при- влекают в настоящее время внимание работающих в этой области: одна состоит в получении более точного математического выражения для экспери- ментально наблюдаемого контура спектральных линий, другая в учете различных аппаратурных факторов, искажающих его. Эти искажения воз- никают как в оптической, так и в электронной частях прибора. Наблюдаемый профиль спектральных линий обусловлен такими причинами. Во-первых, конечной разрешающей способностью спектраль- ного прибора (так называемым инструментальным профилем). Изображение узкой линии в реальном спектральном приборе получается несколько раз- мытым, в частности, из-за дифракции света в оп- тической системе прибора. Во-вторых, естествен- ным уширением спектральных линий, вызванным воздействием различных физических факторов на излучающую систему. Прежде всего, естествен- ное уширение вызвано радиационным затуха- нием потерей атомов энергии на излучение. Затухающее колебание не является монохромати- ческим, а содержит целый спектр частот. В по- давляющем большинстве случаев ширины спект- ральных линий во много раз превосходят радиа- ционные ширины, а профили оказываются значи- тельно более сложными, чем радиационные. При- чины этого эффект Доплера и столкновительные эффекты. Уширение из-за взаимодействия с окру- жающими частицами обусловлено смещением уровней энергии атома под действием межатом- ных электрических полей (эффект Штарка) и пря- мыми столкновениями атома с нейтральными час- тицами или электронами, приводящими к сокра- щению времени жизни атома в данном состоянии. В-третьих, в связи с широким использованием цифровых фоторегистраторов возрастает влияние ошибок дискретизации и квантования информа- ционного сигнала. Возможно также уширение и расщепле- ние спектральных линий под действием магнит- ного поля, возмущающего излучающий атом. Еще в середине XX в. Вильсон и Уэллс показали, что фотометрические ошибки при ана- лизе эмиссионных спектров могут быть исключе- ны экстраполяционными методами [1]. К сожале- нию, на практике эти методы неэффективны и дают неудовлетворительные результаты, так как экстраполяции включают в себя измерения, вы- полненные с большими случайными ошибками. Позже были сделаны попытки развить простые приближенные методы измерения интенсивности линий. Обычно эти методы требуют знания фор- мы линии и включают в себя предположение, что контур линии может быть аппроксимирован ма- тематической функцией, которую можно интег- рировать в требуемом интервале частот [2]. Анализ эмиссионных спектров, получен- ных при взаимодействии лазерного излучения с материалом, широко используется при решении задач точных количественных измерений концент- рации компонентов металлических сплавов. На рынке представлен широкий ряд специализи- рованных инструментов, позволяющих решать эти задачи. Как правило, эти приборы включают в себя импульсный лазер с частотой до 10 Гц и мини- мальной энергией в импульсе 10 мДж, спектро- метр и систему обработки спектральной информа- ции [3]. Подавляющее большинство методов изме- рения концентрации металлов в сплавах основано на предварительном построении градуировочных кривых для каждого компонента сплава с учетом содержания всех остальных составляющих. После регистрации спектрометром эмиссионного спек- тра система обработки автоматически сопостав- ляет их с базой данных на основе заранее задан- ных критериев идентификации. Затем выбирается та или иная градуировочная кривая. Не менее сложным является прямое про- ведение качественного анализа, т. е. автоматиче- ское опознание компонентов сплава, что особенно актуально для случаев с совершенно неизвестным элементным составом. Одноимпульсный режим возбуждения не может привести к одновременно- mailto:Nalphein@ukr.net М. И. Дзюбенко и др. / Декомпозиция лазерно-индуцированных эмиссионных… _________________________________________________________________________________________________________________ 47 му проявлению в спектре линий всех элементов сплава, так как оптимальные условия возбуждения элементов существенно различаются. Это затруд- няет обработку эмиссионных спектров, но дает возможность использовать характеристики режи- ма возбуждения как дополнительный критерий при идентификации элементов. Широкое внедрение лазерных технологий размерной обработки материалов привели к необ- ходимости значительного сокращения времени проведения спектрального анализа. Экспресс- анализ составляющих сплава необходим для опти- мизации параметров лазера в процессе обработки и тотального контроля качества изделий. Энергетический метод обработки эмисси- онных спектров позволил существенно сократить время анализа с сохранением приемлемой точно- сти измерений [4]. Одной из возникших проблем, решение которой позволит существенно повысить точность, стала необходимость идентификации и измерения площади крыльев отдельных спек- тральных линий в общем спектре. Площадь крыльев может составлять до половины от полной площади линии, при этом их трудно выделить из- за взаимного перекрытия спектральных линий и фоновой засветки. Неоднократно предпринима- лись попытки решения этой задачи для атомно- эмиссионного анализа [5], но в этой области до сих пор не удавалось получить значимых результатов. На практике приходится работать с сильно пере- крывающимися системами линий, когда измерения их площади сводятся к эмпирически определяе- мым величинам. Полуширина полосы в комбина- ции с интенсивностью в максимуме может быть использована в качестве показателя площади по- лосы, и она часто поддается измерению при частично перекрывающихся полосах. Однако этой информации не всегда достаточно для точного проведения спектрального анализа. Обзор работ по этому вопросу показал, что лишь некоторые авторы в лучшем случае констатируют наличие крыльев, не предлагая методов их идентификации [6]. Основная слож- ность заключается в выборе оптимальной формы кривой, аппроксимирующей контур эмиссионной линии. В статье рассмотрены три метода ап- проксимации эмиссионных линий, позволяющих учитывать форму крыльев. Проведено сравнение этих методов применительно к использованию их в энергетическом методе анализа эмиссионных спектров. Выделим наиболее употребляемые функ- ции для аппроксимации профиля спектральных линий. Основная теория уширения линий была первоначально развита для электронных спектров атомов и простых молекул; она рассмотрена в обзорах Маргенау, Уотсона и Толанского. В ряде работ [7, 8] показано, что в общем виде контур спектральной линии может быть описан диспер- сионной формулой вида 22 0 ))(())(( )( ~)( wwww w wL , где )(w ширина линии с центром 0w и сдви- гом максимума )(w . Согласно общей теории [5], основными механизмами, формирующими профиль линии, являются радиационное затухание, эффект Доп- лера и столкновительное уширение. Радиацион- ное затухание и столкновительное уширение, в отсутствие других воздействий, формирует пол- ный контур Лоренца 22 0 2 )2/()( )2/( )( ww wLL , доплеровское уширение – контур Гаусса )(wLD )36,0/)(exp( 22 00 wwwL , их совместное влияние – контур Фойгта, который является сверткой двух вышеназванных контуров. Более сложные аналитические контуры в практических задачах используются редко в силу сложности определения участвующих в них параметров [9]. Рассмотрим подробнее лоренцевский и гауссовский контуры. В центральной части они близки к дисперсионному контуру (что соответст- вует теории и экспериментальным данным), но сильно различаются поведением крыльев. В случае густозаполненных спектров бывает довольно сложно выделить отдельную линию для определе- ния правильного контура аппроксимации; непра- вильный же выбор приведет к искажению не толь- ко параметров рассматриваемой линии, но и фор- мы соседних линий. Задача усложняется еще и тем, что рассматриваемые функции описывают однородно уширенные линии, тогда как на прак- тике во многих случаях линии обладают асиммет- рией – неоднородно уширены. Как следствие, большинство расчетов проводится на полуэмпири- ческой основе, когда в методику вводится набор параметров контуров линий, которые определяют- ся по некоторому эталону и в дальнейшем исполь- зуются для исследуемых образцов. Из-за сложнос- ти учета аналитической формы линий в литературе предлагается довольно много эмпирических кон- туров, позволяющих варьировать форму линии и ее асимметрию в широких пределах для получения лучшего совпадения, например четырехпарамет- рическая унифицированная функция, предложен- ная в работе [9], 0, 1)/|(| )/)(exp( ;0, 1)/|(| )/)(exp( ),,,( 1 )( 0 0 0 0 0 0 21 2 1 ww ww ww ww ww ww nn wL n n М. И. Дзюбенко и др. / Декомпозиция лазерно-индуцированных эмиссионных… _________________________________________________________________________________________________________________ 48 позволяет учитывать не только асимметрию, но и разный характер спадания крыльев. Были сделаны также попытки аппрокси- мировать линии поглощения другими функциями. Некоторые из них были рассмотрены, например, Джонсом и Сандорфпом [5]. В случае лазерного возбуждения образцов фактически регистрируемые спектры являются спектрами свечения абляционной плазмы, пара- метры которой (а следовательно, и профили ее спектральных линий) сильно зависят от погло- щающих свойств образца и характеристик исполь- зуемого лазера. Так, в ряде работ [10, 11] показано, что при значительной энергии импульса лазера профили линий близки к гауссовому контуру, тогда как при небольшой энергии или слабом по- глощении излучения – к лоренцевскому. Если случайные ошибки измерений уменьшены до приемлемого уровня, то представ- ляет интерес детально исследовать форму контура регистрируемых линий. Описание контура линии с помощью высоты в максимуме и полуширины недостаточно точно, поскольку оно не учитывает асимметрию полосы и не является определяющим даже для симметричной полосы. До тех пор, пока это не сделано, мы будем отбрасывать большое количество дополнительной информации, ставшей доступной благодаря современным спектрометрам с высоким разрешением. При рассмотрении спектра и отдельных линий как математических функций спектр F можно представить в виде )...,,,()...,,,( 21 1 21 m n i i k ii i lllKpppfF , где n общее количество линий в диапазоне; )...,,,( 21 i k ii i pppf параметрическая функция, опи- сывающая контур i-й линии; i k ii ppp ...,,, 21 пара- метры функции, описывающей контур i-й линии; )...,,,( 21 mlllK функция, описывающая фоновую засветку и собственные шумы регистратора спектра. Проведя оптимизацию функции F путем подбора параметров i jp и jl до совпадения функ- ции F c зарегистрированным спектром, можно утверждать, что найденные значения i jp и есть ис- комые параметры контуров спектральных линий. При условии гладкости функций ,( 1 i i pf )...,,2 i k i pp и )...,,,( 21 mlllK функция F также должна быть гладкой, и следовательно, к ней можно применять любые методы оптимизации. Тем не менее, важно учесть также практическую сторону вычислений. Типичное количество реги- стрируемых линий, например, в спектрах метал- лов больше 100. При этом необходимое количест- во параметров для описания одного контура в за- висимости от используемой функции f от двух (полуширина и высота) до 10 (полуширина, высота, положение центра, параметры асиммет- ричности контура, параметры, характеризующие скорость спадания крыльев линии и т. д.), что при- водит к оптимизации параметрической функции с количеством параметров до нескольких тысяч. Так как в каждой итерации градиентных методов оптимизации проводится расчет производных по всем оптимизируемым параметрам, то общее вре- мя оптимизации оказывается неприемлемым. С учетом вышесказанного для оптимиза- ции данной функции нами был выбран метод ге- нетической оптимизации [12] с генетическим ко- дом, состоящим из параметров линий. В таблице представлены результаты ап- проксимации ряда спектров, полученных при воз- буждении образцов импульсно-периодическим лазером с частотой 10 кГц и энергией в импульсе 0,5 Дж, с использованием различных контуров линий. Целевой функцией оптимизации являлся квадрат разности зарегистрированного спектра и его аппроксимирующей функции, нормирован- ный на единицу длины. ___________________________________________ Образец Контур Лоренца Контур Гаусса Унифицированная спектральная функция Целевая функция Время Т, К Целевая функция Время Т, К Целевая функция Время Т, К ЗлМ-375 0,0923 8 мин 8342 0,5161 14 мин 7805 0,0679 24 мин 8418 ЗлСрМ-750-80 0,3428 7 мин 8215 1,2841 17 мин 7594 0,2019 27 мин 8186 ЗлИПдМ-958-10-10 0,9450 5 мин 8162 3,9743 14 мин 7642 0,5994 23 мин 8243 ___________________________________________ Используемые спектры перед аппрокси- мацией нормированы на максимальное значение. В качестве фоновой функции использовалась сумма темнового шума фотоприемника (измерен- ного экспериментально) и излучения абсолютно черного тела, рассчитанного по формуле Планка 1)exp( 12 )( 2 3 kThvc hv vI , М. И. Дзюбенко и др. / Декомпозиция лазерно-индуцированных эмиссионных… _________________________________________________________________________________________________________________ 49 где температура T была включена в список па- раметров оптимизации. Критерием прекращения оптимизации служила неизменность лучшего решения на про- тяжении 100 итераций. На основании полученных данных можно сделать вывод, что линии лазерно- индуцированных спектров, полученных с помо- щью низкоэнергетических лазеров, по форме близки к контуру Лоренца, но при этом обладают асимметрией (рисунок). Поскольку из используе- мых контуров асимметрию линий учитывает только унифицированная спектральная функция, результат ее применения является наилучшим. Тем не менее, использование контура Лоренца также дает хорошее приближение, которое, с уче- том более быстрого расчета, может быть исполь- зовано для начальных или приближенных вычис- лений. Интересным является тот факт, что полу- ченная из формулы Планка температура излуче- ния абсолютно черного тела лежит в диапазоне 7 500…8 500 К для всех образцов, т. е. слабо за- висит от состава образца. Можно предположить, что температура излучения абляционной плазмы может быть использована для учета стабильности излучения возбуждающего лазера или служить критерием нормировки спектра. 340 350 0,00 0,06 Длина волны, отн. ед. Аппроксимация отдельной спектральной линии (сплошная) с помощью контура Лоренца (пунктир), контура Гаусса (точки) и унифицированной спектральной функции (штрихпунктир) Выводы. Таким образом, результаты сви- детельствуют о возможности декомпозиции эмис- сионных спектров на отдельные линии при помо- щи оптимизации модели полного спектра, что су- щественно повысит точность измерения парамет- ров слабых и сильно перекрывающихся линий. На основе проведенных исследований предполагается дальнейшее улучшение методов количественного спектрального анализа, осно- ванных на выделении парциальных спектров компонентов сплава. 1. Wilson E. B. The Experimental Determination of the Intensi- ties of Infra-Red Absorption Bands I. Theory of the Method / E. B. Wilson, A. I. Wells // J. Chem. Phys. 1946. 14, N 10. P. 578 580. 2. Seshadri К. S. The Shapes and Intensities of Infrared Absorp- tion Bands / К. S. Seshadri, R. N. Jones // Spectrochimica Acta. 1963. 19, N 6. P. 1013 1085. 3. Ocean Optics Inventors of the World s First Miniature Spectrometer [Электронный ресурс]. Режим доступа: www/URL: http://www.oceanoptics.com. Загл. с экрана. 4. Экспресс-анализ эмиссионных сплавов золота / М. И. Дзю- бенко, С. Н. Колпаков, Д. Ф. Кулишенко, А. А. Приемко // Журн. прикладной спектроскопии. 2010. 77, № 2. C. 299 304. 5. Демтредер В. Лазерная спектроскопия. Основные прин- ципы и техника эксперимента / В. Демтредер. М.: Нау- ка, 1985. 607 с. 6. Jurado-Lopes M. D. Luque de Castro Chemometric Approach to Laser-Induced Breadown Analysis of Gold Alloys / M. D. Jurado-Lopes // Applied Spectroscopy. 2003. 57, N 3. P. 349 352. 7. Fano U. Spectral Distribution of Atomic Oscillator Strengths / U. Fano, J. W. Cooper // Rev. Mod. Phys. 1969. 41, N 4. P. 724 725. 8. Pagel B. E. J. Importance of spectral line shapes in astrophysics / B. E. J. Pagel // J. Phys. B: At. Mol. Phys. 1971. 4, N 3. P. 279 287. 9. Черкасов М. Р. Унифицированная функция для аппрокси- мации контура спектральной линии / М. Р. Черкасов // Журн. прикладной спектроскопии. 2005. 72, № 6. С. 883 886. 10. Безэталонный лазерный спектральный микроанализ спла- вов золота / М. В. Бельков, В. С. Бураков, В. В. Кирис и др. // Журн. прикладной спектроскопии. 2005. 72, № 3. C. 352 357. 11. Першин С. М. Коррекция спектров лазерной плазмы для количественного анализа сплавов / С. М. Першин, F. Colao // Письма в журн. техн. физики. 2005. 31, № 17. С. 48 57. 12. Емельянов В. В. Теория и практика эволюционного модели- рования / В. В. Емельянов, В. В. Курейчик, В. М. Курейчик. М.: Физматлит, 2003. 432 c. M. I. Dzjubenko, D. F. Kulishenko, A. A. Priyomko, S. N. Kolpakov DECOMPOSITION OF THE LASER-INDUCED EMISSION SPECTRUMS Presented paper deals with splitting of laser-induced spectrums into set of standalone spectral bands. Model of spectrum is created, different shapes of band are examined and comparison is presented. Key words: emission spectrum, overlapped lines, laser- induced spectrum, spectrum model. М. І. Дзюбенко, Д. Ф. Кулішенко, О. О. Прийомко, С. М. Колпаков ДЕКОМПОЗИЦІЯ ЛАЗЕРНО-ІНДУКОВАНИХ ЕМІСІЙНИХ СПЕКТРІВ Запропоновано метод розділення емісійних спект- рів на окремі лінії за допомогою оптимізації моделі повного спектра. Побудовано моделі спектрів на трьох різних конту- рах спектральних ліній, проведено порівняння результатів. Ключові слова: емісійний спектр, перекривні лінії, лазерно-індукований спектр, модель спектра. Рукопись поступила 09.09.10 г. Н о р м и р о в ан н ая и н те н си в н о ст ь
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-78039
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1028-821X
language Russian
last_indexed 2025-11-27T11:16:42Z
publishDate 2011
publisher Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України
record_format dspace
spelling Дзюбенко, М.И.
Кулишенко, Д.Ф.
Приемко, А.А.
Колпаков, С.Н.
2015-03-10T16:34:37Z
2015-03-10T16:34:37Z
2011
Декомпозиция лазерно-индуцированных эмиссионных спектров / М.И. Дзюбенко, Д.Ф. Кулишенко, А.А. Приемко, С.Н. Колпаков // Радіофізика та електроніка. — 2011. — Т. 2(16), № 1. — С. 46-49. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
1028-821X
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78039
621.37:543.42
Предложен метод разделения эмиссионных спектров на отдельные линии с помощью оптимизации модели полного спектра.
Presented paper deals with splitting of laser-induced spectrums into set of standalone spectral bands. Model of spectrum is created, different shapes of band are examined and comparison is presented.
Запропоновано метод розділення емісійних спектрів на окремі лінії за допомогою оптимізації моделі повного спектра. Побудовано моделі спектрів на трьох різних контурах спектральних ліній, проведено порівняння результатів.
ru
Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України
Радіофізика та електроніка
Вакуумна та твердотільна електроніка
Декомпозиция лазерно-индуцированных эмиссионных спектров
Decomposition of the laser-induced emission spectrums
Декомпозиція лазерно-індукованих емісійних спектрів
Article
published earlier
spellingShingle Декомпозиция лазерно-индуцированных эмиссионных спектров
Дзюбенко, М.И.
Кулишенко, Д.Ф.
Приемко, А.А.
Колпаков, С.Н.
Вакуумна та твердотільна електроніка
title Декомпозиция лазерно-индуцированных эмиссионных спектров
title_alt Decomposition of the laser-induced emission spectrums
Декомпозиція лазерно-індукованих емісійних спектрів
title_full Декомпозиция лазерно-индуцированных эмиссионных спектров
title_fullStr Декомпозиция лазерно-индуцированных эмиссионных спектров
title_full_unstemmed Декомпозиция лазерно-индуцированных эмиссионных спектров
title_short Декомпозиция лазерно-индуцированных эмиссионных спектров
title_sort декомпозиция лазерно-индуцированных эмиссионных спектров
topic Вакуумна та твердотільна електроніка
topic_facet Вакуумна та твердотільна електроніка
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78039
work_keys_str_mv AT dzûbenkomi dekompoziciâlazernoinducirovannyhémissionnyhspektrov
AT kulišenkodf dekompoziciâlazernoinducirovannyhémissionnyhspektrov
AT priemkoaa dekompoziciâlazernoinducirovannyhémissionnyhspektrov
AT kolpakovsn dekompoziciâlazernoinducirovannyhémissionnyhspektrov
AT dzûbenkomi decompositionofthelaserinducedemissionspectrums
AT kulišenkodf decompositionofthelaserinducedemissionspectrums
AT priemkoaa decompositionofthelaserinducedemissionspectrums
AT kolpakovsn decompositionofthelaserinducedemissionspectrums
AT dzûbenkomi dekompozicíâlazernoíndukovanihemísíinihspektrív
AT kulišenkodf dekompozicíâlazernoíndukovanihemísíinihspektrív
AT priemkoaa dekompozicíâlazernoíndukovanihemísíinihspektrív
AT kolpakovsn dekompozicíâlazernoíndukovanihemísíinihspektrív