Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів
Наведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок висо...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2000 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2000
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78212 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-78212 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Аксьонов, І.І. Білоус, В.А. 2015-03-12T20:07:23Z 2015-03-12T20:07:23Z 2000 Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78212 546.25.-162 Наведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок високоефективних торцевих джерел плазми, вакуумно-дугових випарювачів з протяглими (циліндричними та планарними) катодами, магнітні фільтри для очищення плазми від макрочасток, а також ряд установок для формування покриттів різного призначення. uk Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| spellingShingle |
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів Аксьонов, І.І. Білоус, В.А. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title_short |
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| title_full |
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| title_fullStr |
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| title_full_unstemmed |
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| title_sort |
вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| author |
Аксьонов, І.І. Білоус, В.А. |
| author_facet |
Аксьонов, І.І. Білоус, В.А. |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| publishDate |
2000 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| description |
Наведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок високоефективних торцевих джерел плазми, вакуумно-дугових випарювачів з протяглими (циліндричними та планарними) катодами, магнітні фільтри для очищення плазми від макрочасток, а також ряд установок для формування покриттів різного призначення.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78212 |
| citation_txt |
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT aksʹonovíí vakuumnodugoveobladnannâdlâíonnoplazmovogoosadžennâpokrittív AT bílousva vakuumnodugoveobladnannâdlâíonnoplazmovogoosadžennâpokrittív |
| first_indexed |
2025-12-07T15:38:20Z |
| last_indexed |
2025-12-07T15:38:20Z |
| _version_ |
1850864462068711424 |