Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів
Наведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок висо...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2000 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2000
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78212 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862673364954382336 |
|---|---|
| author | Аксьонов, І.І. Білоус, В.А. |
| author_facet | Аксьонов, І.І. Білоус, В.А. |
| citation_txt | Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Наведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок високоефективних торцевих джерел плазми, вакуумно-дугових випарювачів з протяглими (циліндричними та планарними) катодами, магнітні фільтри для очищення плазми від макрочасток, а також ряд установок для формування покриттів різного призначення.
|
| first_indexed | 2025-12-07T15:38:20Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-78212 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T15:38:20Z |
| publishDate | 2000 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Аксьонов, І.І. Білоус, В.А. 2015-03-12T20:07:23Z 2015-03-12T20:07:23Z 2000 Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78212 546.25.-162 Наведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок високоефективних торцевих джерел плазми, вакуумно-дугових випарювачів з протяглими (циліндричними та планарними) катодами, магнітні фільтри для очищення плазми від макрочасток, а також ряд установок для формування покриттів різного призначення. uk Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів Article published earlier |
| spellingShingle | Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів Аксьонов, І.І. Білоус, В.А. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| title_full | Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| title_fullStr | Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| title_full_unstemmed | Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| title_short | Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| title_sort | вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78212 |
| work_keys_str_mv | AT aksʹonovíí vakuumnodugoveobladnannâdlâíonnoplazmovogoosadžennâpokrittív AT bílousva vakuumnodugoveobladnannâdlâíonnoplazmovogoosadžennâpokrittív |