Buchumschlag

Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів

Наведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок висо...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2000
Hauptverfasser:	Аксьонов, І.І., Білоус, В.А.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
Schlagworte:	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78212
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
von: Аксьонов, І.І., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Зниження насичення воднем цирконієвих сплавів при модифікації поверхні комплексною іонно-плазмовою обробкою
von: Толстолуцька, Г.Д., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)

CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
von: Аксенов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Эволюция разрядной ячейки при вакуумно-дуговом разряде на меди
von: Павлов, В.С.
Veröffentlicht: (2004)

Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы
von: Стрельницкий, В.Е.
Veröffentlicht: (2002)

Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
von: Сысоев, Ю.А.
Veröffentlicht: (2013)

Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN
von: Гранкин, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Вакуумно-дуговые хромовые покрытия для защиты сплава Zr-1Nb от высокотемпературного окисления на воздухе
von: Куприн, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
von: Кунченко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
von: Васильев, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние давления азота на структуру конденсатов, полученных из высокоэнтропийного сплава AlCrTiZrNbY при вакуумно-дуговом осаждении
von: Береснев, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Влияние термического отжига на структуру дефектов и свойства наностуктурного покрытия Ti-Si-N, полученного катодным вакуумно-дуговым осаждением
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Влияние лазерной обработки, карбонитрации и их сочетания с вакуумно-плазменным покрытием tin на некоторые свойства стали Р6М5
von: Мацевитый, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Проблеми оптимізації протирадіаційного захисту промислових радіаційних технологічних установок
von: Сахно, В.І.
Veröffentlicht: (2005)

Усовершенствованный метод получения дисперсного диоксида циркония
von: Кутовой, В.А.
Veröffentlicht: (2011)

Получение быстрозакаленных лент способом спиннингования при плазменно-дуговой плавке
von: Шаповалов, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Исследование процесса осаждения нанометрических углеродных образований из газовой фазы на катализаторе - порошке никеля
von: Гурин, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии
von: Вирич, В.Д., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Проблеми практичної реалізації радіаційної технології регенерації бутилкаучукових відходів
von: Шлапацька, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Деградаційні та відновні процеси у зворотньозміщених фосфідо-галієвих діодах, спричинені швидкими нейтронами реактора
von: Друзенко, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Методика имитационных испытаний материалов с помощью высокоэнергетических протонов из ядерной реакции (³He, d)
von: Копанец, И.Е., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене
von: Литовченко, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий
von: Аксёнов, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)