Зображення обкладинки

Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів

Наведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок висо...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2000
Автори:	Аксьонов, І.І., Білоус, В.А.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
Теми:	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78212
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Перенесення катодного матеріалу в процесі вакуумно-дугового формування покриттів
за авторством: Аксьонов, І.І., та інші
Опубліковано: (2009)

Зниження насичення воднем цирконієвих сплавів при модифікації поверхні комплексною іонно-плазмовою обробкою
за авторством: Толстолуцька, Г.Д., та інші
Опубліковано: (2015)

Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2002)

Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2001)

Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)

CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)

Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)

Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)

Эволюция разрядной ячейки при вакуумно-дуговом разряде на меди
за авторством: Павлов, В.С.
Опубліковано: (2004)

Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)

Исследование стабильности вакуумно-дугового разряда на катодах из различных графитовых материалов
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2002)

Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы
за авторством: Стрельницкий, В.Е.
Опубліковано: (2002)

Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
за авторством: Сысоев, Ю.А.
Опубліковано: (2013)

Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2015)

Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Вакуумно-дуговые хромовые покрытия для защиты сплава Zr-1Nb от высокотемпературного окисления на воздухе
за авторством: Куприн, А.С., та інші
Опубліковано: (2015)

Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние давления азота на структуру конденсатов, полученных из высокоэнтропийного сплава AlCrTiZrNbY при вакуумно-дуговом осаждении
за авторством: Береснев, В.М., та інші
Опубліковано: (2016)

Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние термического отжига на структуру дефектов и свойства наностуктурного покрытия Ti-Si-N, полученного катодным вакуумно-дуговым осаждением
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2013)

Влияние лазерной обработки, карбонитрации и их сочетания с вакуумно-плазменным покрытием tin на некоторые свойства стали Р6М5
за авторством: Мацевитый, В.М., та інші
Опубліковано: (2001)

Проблеми оптимізації протирадіаційного захисту промислових радіаційних технологічних установок
за авторством: Сахно, В.І.
Опубліковано: (2005)

Усовершенствованный метод получения дисперсного диоксида циркония
за авторством: Кутовой, В.А.
Опубліковано: (2011)

Получение быстрозакаленных лент способом спиннингования при плазменно-дуговой плавке
за авторством: Шаповалов, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Исследование процесса осаждения нанометрических углеродных образований из газовой фазы на катализаторе - порошке никеля
за авторством: Гурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2004)

Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии
за авторством: Вирич, В.Д., та інші
Опубліковано: (2003)

Проблеми практичної реалізації радіаційної технології регенерації бутилкаучукових відходів
за авторством: Шлапацька, В.В., та інші
Опубліковано: (2000)

Деградаційні та відновні процеси у зворотньозміщених фосфідо-галієвих діодах, спричинені швидкими нейтронами реактора
за авторством: Друзенко, Н.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Методика имитационных испытаний материалов с помощью высокоэнергетических протонов из ядерной реакции (³He, d)
за авторством: Копанец, И.Е., та інші
Опубліковано: (2013)

Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене
за авторством: Литовченко, С.В., та інші
Опубліковано: (2001)

Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)