Cover Image

Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів

Наведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок висо...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2000
Main Authors: Аксьонов, І.І., Білоус, В.А.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
Subjects:
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78212
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items