Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів

• Veröffentlicht in: Вопросы атомной науки и техники
• Datum: 2000
• Hauptverfasser: Аксьонов, І.І., Білоус, В.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainian
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
• Schlagworte: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78212
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.

Наведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок висо...