Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала
Приведены результаты исследований свойств покрытий, полученных осаждением Ti плазмы дугового разряда низкого давления в режиме положительного анодного падения потенциала в зависимости от давления активного газа (N₂ и N₂+C₂H₂) и ускоряющего отрицательного потенциала подложки. Часть экспериментов посв...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2000 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2000
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78214 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала / В.В. Кунченко, И.И. Аксенов // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 165-172. — Бібліогр.: 21 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862729447101169664 |
|---|---|
| author | Кунченко, В.В. Аксенов, И.И. |
| author_facet | Кунченко, В.В. Аксенов, И.И. |
| citation_txt | Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала / В.В. Кунченко, И.И. Аксенов // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 165-172. — Бібліогр.: 21 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Приведены результаты исследований свойств покрытий, полученных осаждением Ti плазмы дугового разряда низкого давления в режиме положительного анодного падения потенциала в зависимости от давления активного газа (N₂ и N₂+C₂H₂) и ускоряющего отрицательного потенциала подложки. Часть экспериментов посвящена изучению роли добавки ацетилена в формировании свойств получаемых покрытий. Показана перспективность практического применения получаемых таким способом покрытий.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:14:52Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-78214 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T19:14:52Z |
| publishDate | 2000 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Кунченко, В.В. Аксенов, И.И. 2015-03-12T20:11:21Z 2015-03-12T20:11:21Z 2000 Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала / В.В. Кунченко, И.И. Аксенов // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 165-172. — Бібліогр.: 21 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78214 533.9 Приведены результаты исследований свойств покрытий, полученных осаждением Ti плазмы дугового разряда низкого давления в режиме положительного анодного падения потенциала в зависимости от давления активного газа (N₂ и N₂+C₂H₂) и ускоряющего отрицательного потенциала подложки. Часть экспериментов посвящена изучению роли добавки ацетилена в формировании свойств получаемых покрытий. Показана перспективность практического применения получаемых таким способом покрытий. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала Article published earlier |
| spellingShingle | Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала Кунченко, В.В. Аксенов, И.И. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала |
| title_full | Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала |
| title_fullStr | Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала |
| title_full_unstemmed | Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала |
| title_short | Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала |
| title_sort | формирование tinx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78214 |
| work_keys_str_mv | AT kunčenkovv formirovanietinxpokrytiikondensacieiplazmypadeniempotenciala AT aksenovii formirovanietinxpokrytiikondensacieiplazmypadeniempotenciala |