Зображення обкладинки

Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала

Приведены результаты исследований свойств покрытий, полученных осаждением Ti плазмы дугового разряда низкого давления в режиме положительного анодного падения потенциала в зависимости от давления активного газа (N₂ и N₂+C₂H₂) и ускоряющего отрицательного потенциала подложки. Часть экспериментов посв...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2000
Автори:	Кунченко, В.В., Аксенов, И.И.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
Теми:	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78214
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Формирование TiNx покрытий конденсацией плазмы падением потенциала / В.В. Кунченко, И.И. Аксенов // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 165-172. — Бібліогр.: 21 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Формирование радиальных потоков сепарированной эрозионной плазмы вакуумной дуги
за авторством: Аксенов, И.И.
Опубліковано: (2001)

CrNx покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)

Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Магнитоуправляемый вакуумно-дуговой источник плазмы
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2009)

Thin film nanopores (V, 10Ti)NxHy hydrogen storages
за авторством: Guglya, A.G., та інші
Опубліковано: (2014)

Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)

Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)

О повышении стойкости инструмента с нанослойными N-TiNx/CrNx покрытиями в процессе резания
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Об эффективности вакуумно-дуговых источников сепарированной плазмы
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2001)

Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)

Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2001)

Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)

Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Износостойкость и жаростойкость вакуумно-дуговых покрытий на основе TiN и TiAlN с добавками Si и Y
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)

About increase of resistance of the tool with nanolayer n-TiNx/CrNx coverings during cutting
за авторством: Ju. V. Kunchenko, та інші
Опубліковано: (2007)

Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние расположения подложки относительно потока фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы на структуру и свойства покрытий TіN
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Слоистые Ti-Cr–N-покрытия, получаемые методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2015)

Оценка диэлектрических свойств микродуговых покрытий на деформируемых алюминиевых сплавах
за авторством: Гуцаленко, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2018)

Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий
за авторством: Решетняк, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Излучательная способность металлокерамических покрытий
за авторством: Патокин, А.П., та інші
Опубліковано: (2006)

Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Изучение транспортирующих свойств T-образного фильтра при помощи многоканального зонда
за авторством: Аксенов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2017)

Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения
за авторством: Кунченко, В.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2002)

Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда
за авторством: Сысоев, Ю.А.
Опубліковано: (2013)

Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
за авторством: Опалев, О.А., та інші
Опубліковано: (2000)

Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене
за авторством: Литовченко, С.В., та інші
Опубліковано: (2001)

Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления
за авторством: Веревкин, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Электродуговой плазмотрон для высокопроизводительного синтеза алмазных покрытий
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2001)

Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме
за авторством: Поляков, Ю.И., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние защитных покрытий из алюминия и хрома на окисление циркония и его сплавов
за авторством: Петельгузов, И.А.
Опубліковано: (2012)

Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2007)

Образование кубического нитрида бора в термоупругих пиках ионов B⁺ при ионном осаждении покрытий
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2009)