ZnO:Al wide zone “windows” deposited by magnetron sputtering on unheated substrate

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2000
• Main Authors: Boyko, B.Т., Khrypunov, G.S., Yurchenko, G.V.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
• Subjects: Пленочные материалы и покрытия
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78239
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: ZnO:Al wide zone “windows” deposited by magnetron sputtering on unheated substrate / B.Т. Boyko, G.S. Khrypunov, G.V. Yurchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 5. — С. 91-93. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

Electrical and optical properties of ZnO:Al films deposited on unheated glass substrate by non-reactive RF magnetron sputtering of target ZnO:Al₂O₃ (98/2 wt.%) were studied. It was shown that Zno:Al films with the thickness of 0.75 µm deposited at the magnetron power 130 W and 4 µbar argon pressure...