Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
Исследовались кристаллическая структура, электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных при температурах подложки от 200 до 500°С путем прямоточного нереактивного магнетронного распыления механической смеси содержащей 95 мас.% In₂O₃ и 5 мас.% SnO₂. Пленки ITO, осажденные при температуре...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2000 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2000
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78241 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления / Г.В. Юрченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 5. — С. 97-98. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862548906374594560 |
|---|---|
| author | Юрченко, Г.В. |
| author_facet | Юрченко, Г.В. |
| citation_txt | Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления / Г.В. Юрченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 5. — С. 97-98. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Исследовались кристаллическая структура, электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных при температурах подложки от 200 до 500°С путем прямоточного нереактивного магнетронного распыления механической смеси содержащей 95 мас.% In₂O₃ и 5 мас.% SnO₂. Пленки ITO, осажденные при температуре подложки 300°С, текстурированы в направлении [400] и имеют минимальный уровень микродеформаций и обладают оптимальным сочетанием оптических и электрических свойств.
|
| first_indexed | 2025-11-25T20:24:15Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-78241 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-25T20:24:15Z |
| publishDate | 2000 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Юрченко, Г.В. 2015-03-13T06:45:37Z 2015-03-13T06:45:37Z 2000 Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления / Г.В. Юрченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 5. — С. 97-98. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78241 537. 221:537.221 Исследовались кристаллическая структура, электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных при температурах подложки от 200 до 500°С путем прямоточного нереактивного магнетронного распыления механической смеси содержащей 95 мас.% In₂O₃ и 5 мас.% SnO₂. Пленки ITO, осажденные при температуре подложки 300°С, текстурированы в направлении [400] и имеют минимальный уровень микродеформаций и обладают оптимальным сочетанием оптических и электрических свойств. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Пленочные материалы и покрытия Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления Article published earlier |
| spellingShingle | Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления Юрченко, Г.В. Пленочные материалы и покрытия |
| title | Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления |
| title_full | Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления |
| title_fullStr | Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления |
| title_full_unstemmed | Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления |
| title_short | Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления |
| title_sort | электрические и оптические свойства пленок ito, полученных методом магнетронного распыления |
| topic | Пленочные материалы и покрытия |
| topic_facet | Пленочные материалы и покрытия |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78241 |
| work_keys_str_mv | AT ûrčenkogv élektričeskieioptičeskiesvoistvaplenokitopolučennyhmetodommagnetronnogoraspyleniâ |