Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления - Юрченко, Г.В. (Вопросы атомной науки и техники, 2000)
Исследовались кристаллическая структура, электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных при температурах подложки от 200 до 500°С путем прямоточного нереактивного магнетронного распыления механической смеси содержащей 95 мас.% In₂O₃ и 5 мас.% SnO₂. Пленки ITO, осажденные при температуре подложки 300°С, текстурированы в направлении [400] и имеют минимальный уровень микродеформаций и обладают оптимальным сочетанием оптических и электрических свойств.