Зображення обкладинки

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления

Исследовались кристаллическая структура, электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных при температурах подложки от 200 до 500°С путем прямоточного нереактивного магнетронного распыления механической смеси содержащей 95 мас.% In₂O₃ и 5 мас.% SnO₂. Пленки ITO, осажденные при температуре...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2000
Автор:	Юрченко, Г.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
Теми:	Пленочные материалы и покрытия
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78241
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления / Г.В. Юрченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 5. — С. 97-98. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Структура тонких пленок С₆₀ на (100) NaCl
за авторством: Горбенко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2002)

Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)

ZnO:Al wide zone “windows” deposited by magnetron sputtering on unheated substrate
за авторством: Boyko, B.Т., та інші
Опубліковано: (2000)

Особенности процессов фотостимулированного взаимодействия в светочувствительной системе As₄₀S₂₀Se₄₀-Ag
за авторством: Стронский, А.В., та інші
Опубліковано: (2000)

Електричні властивості двошарових плівок окислів металів
за авторством: Новіков, В.О.
Опубліковано: (2000)

Использование эвтектических композиций для создания износостойких покрытий
за авторством: Чишкала, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)

Влияние параметров импульсной работы вакуумно-дугового испарителя на концентрацию капель в формируемых пленках
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)

Thermoionic Vacuum Arc (TVA) - one of the best suitable method for high purity compact smooth thin films deposition
за авторством: Ehrich, H., та інші
Опубліковано: (2002)

Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO
за авторством: Бажин, А.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
за авторством: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Опубліковано: (2003)

Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Брус, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Механизм начального этапа роста пленок Cr, полученных при помощи магнетронного распыления на постоянном токе
за авторством: Перекрестов, В.И., та інші
Опубліковано: (2000)

Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2012)

Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Мохненко, М.И., та інші
Опубліковано: (2015)

Столбчатая структура и оптические свойства пленок ZnO, полученных электрохимическим методом
за авторством: Чертопалов, С.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Диодные структуры и электрические свойства пленок ZnO, полученных методом атомного послойного осаждения
за авторством: Семикина, Т.В.
Опубліковано: (2016)

Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распылении на a-Si
за авторством: Севрюкова, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Brus, V. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Khoverko, Yu. N.
Опубліковано: (2010)

Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe
за авторством: Катеринчук, В.Н., та інші
Опубліковано: (2010)

Свойства покрытий из высокоэнтропийного сплава Al–Cr–Fe–Co–Ni–Cu–V, получаемых методом магнетронного распыления
за авторством: Шагинян, Л.Р., та інші
Опубліковано: (2016)

Влияние кластеров с металлической проводимостью на электрические и оптические свойства аморфных пленок a-C‹N›
за авторством: Варюхин, В.Н., та інші
Опубліковано: (2005)

Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления
за авторством: Василенко, Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Влияние термообработки на электрические и оптические характеристики Nd₀.₅₂Sr₀.₄₈MnO₃₋δ-пленок
за авторством: Хохлов, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Оптические свойства тонких плёнок TbSb₂
за авторством: Джабуа, З.У.
Опубліковано: (2016)

Оптические свойства и наноструктура пленок аморфного WO₃
за авторством: Краснов, Ю.С., та інші
Опубліковано: (2005)

Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2005)

Оптические и механические свойства плёнок TbSb
за авторством: Джабуа, З., та інші
Опубліковано: (2017)

Структура и оптические свойства пористых плёнок золота и серебра, полученных импульсным лазерным осаждением в вакууме
за авторством: Каганович, Э.Б., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние электронного облучения на оптические свойства пленок нанокристаллического SiC на подложках из монокристалла Al₂O₃
за авторством: Семенов, A.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Рубцевич, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)

Использование комплексно-легированных порошков, полученных методом термоцентробежного распыления, в порошковых проволоках
за авторством: Жудра, А.П., та інші
Опубліковано: (2014)

Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
за авторством: Першин, Ю.П., та інші
Опубліковано: (2016)

Оптические свойства тонких плёнок диантимонида празеодима золотистой окраски
за авторством: Джабуа, З.У., та інші
Опубліковано: (2012)

Радиационные повреждения и оптические свойства твердых пленок С₇₀
за авторством: Дмитренко, О.П., та інші
Опубліковано: (2005)

Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода
за авторством: Изотов, А.И., та інші
Опубліковано: (2017)

Электрические свойства пленок BiSrCaCuO (2223)
за авторством: Окунев, В.Д., та інші
Опубліковано: (1996)

Адгезия толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода
за авторством: Курапов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Электрические свойства металлических нанопроволок, полученных в квантованных вихрях сверхтекучего гелия
за авторством: Гордон, Е.Б., та інші
Опубліковано: (2010)

Оптические свойства субмикронных пленок оксида кремния после высокотемпературной обработки
за авторством: Литвиненко, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)