Buchumschlag

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления

Исследовались кристаллическая структура, электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных при температурах подложки от 200 до 500°С путем прямоточного нереактивного магнетронного распыления механической смеси содержащей 95 мас.% In₂O₃ и 5 мас.% SnO₂. Пленки ITO, осажденные при температуре...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2000
ISSN:	1562-6016
1. Verfasser:	Юрченко, Г.В.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
Schlagworte:	Пленочные материалы и покрытия
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78241
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления / Г.В. Юрченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 5. — С. 97-98. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Структура тонких пленок С₆₀ на (100) NaCl
von: Горбенко, Н.И., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора
von: Батурин, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2002)

ZnO:Al wide zone “windows” deposited by magnetron sputtering on unheated substrate
von: Boyko, B.Т., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Особенности процессов фотостимулированного взаимодействия в светочувствительной системе As₄₀S₂₀Se₄₀-Ag
von: Стронский, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Електричні властивості двошарових плівок окислів металів
von: Новіков, В.О.
Veröffentlicht: (2000)

Использование эвтектических композиций для создания износостойких покрытий
von: Чишкала, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Влияние параметров импульсной работы вакуумно-дугового испарителя на концентрацию капель в формируемых пленках
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Thermoionic Vacuum Arc (TVA) - one of the best suitable method for high purity compact smooth thin films deposition
von: Ehrich, H., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO
von: Бажин, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
von: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Veröffentlicht: (2003)

Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
von: Брус, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Механизм начального этапа роста пленок Cr, полученных при помощи магнетронного распыления на постоянном токе
von: Перекрестов, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
von: Мохненко, М.И., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Столбчатая структура и оптические свойства пленок ZnO, полученных электрохимическим методом
von: Чертопалов, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Диодные структуры и электрические свойства пленок ZnO, полученных методом атомного послойного осаждения
von: Семикина, Т.В.
Veröffentlicht: (2016)

Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распылении на a-Si
von: Севрюкова, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
von: Brus, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
von: Khoverko, Yu. N.
Veröffentlicht: (2010)

Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe
von: Катеринчук, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Свойства покрытий из высокоэнтропийного сплава Al–Cr–Fe–Co–Ni–Cu–V, получаемых методом магнетронного распыления
von: Шагинян, Л.Р., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Влияние кластеров с металлической проводимостью на электрические и оптические свойства аморфных пленок a-C‹N›
von: Варюхин, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления
von: Василенко, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Влияние термообработки на электрические и оптические характеристики Nd₀.₅₂Sr₀.₄₈MnO₃₋δ-пленок
von: Хохлов, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Оптические свойства тонких плёнок TbSb₂
von: Джабуа, З.У.
Veröffentlicht: (2016)

Оптические свойства и наноструктура пленок аморфного WO₃
von: Краснов, Ю.С., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Влияние электронного облучения на оптические свойства пленок нанокристаллического SiC на подложках из монокристалла Al₂O₃
von: Семенов, A.В., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Структура и оптические свойства пористых плёнок золота и серебра, полученных импульсным лазерным осаждением в вакууме
von: Каганович, Э.Б., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Оптические и механические свойства плёнок TbSb
von: Джабуа, З., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
von: Рубцевич, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Использование комплексно-легированных порошков, полученных методом термоцентробежного распыления, в порошковых проволоках
von: Жудра, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Оптические свойства тонких плёнок диантимонида празеодима золотистой окраски
von: Джабуа, З.У., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
von: Першин, Ю.П., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Радиационные повреждения и оптические свойства твердых пленок С₇₀
von: Дмитренко, О.П., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода
von: Изотов, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Электрические свойства пленок BiSrCaCuO (2223)
von: Окунев, В.Д., et al.
Veröffentlicht: (1996)

Адгезия толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода
von: Курапов, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Электрические свойства металлических нанопроволок, полученных в квантованных вихрях сверхтекучего гелия
von: Гордон, Е.Б., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Оптические свойства субмикронных пленок оксида кремния после высокотемпературной обработки
von: Литвиненко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)