Cover Image

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления

Исследовались кристаллическая структура, электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных при температурах подложки от 200 до 500°С путем прямоточного нереактивного магнетронного распыления механической смеси содержащей 95 мас.% In₂O₃ и 5 мас.% SnO₂. Пленки ITO, осажденные при температуре...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Вопросы атомной науки и техники
Date:	2000
Main Author:	Юрченко, Г.В.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
Subjects:	Пленочные материалы и покрытия
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78241
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления / Г.В. Юрченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 5. — С. 97-98. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Структура тонких пленок С₆₀ на (100) NaCl
by: Горбенко, Н.И., et al.
Published: (2002)

Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора
by: Батурин, В.А., et al.
Published: (2002)

Особенности процессов фотостимулированного взаимодействия в светочувствительной системе As₄₀S₂₀Se₄₀-Ag
by: Стронский, А.В., et al.
Published: (2000)

ZnO:Al wide zone “windows” deposited by magnetron sputtering on unheated substrate
by: Boyko, B.Т., et al.
Published: (2000)

Thermoionic Vacuum Arc (TVA) - one of the best suitable method for high purity compact smooth thin films deposition
by: Ehrich, H., et al.
Published: (2002)

Влияние параметров импульсной работы вакуумно-дугового испарителя на концентрацию капель в формируемых пленках
by: Белоус, В.А., et al.
Published: (2002)

Использование эвтектических композиций для создания износостойких покрытий
by: Чишкала, В.А., et al.
Published: (2002)

Влияние режима магнетронного распыления и состава реакционного газа на структуру и свойства пленок ITO
by: Бажин, А.И., et al.
Published: (2012)

Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
by: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Published: (2003)

Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
by: Брус, В.В., et al.
Published: (2010)

Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления
by: Погребняк, А.Д., et al.
Published: (2012)

Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
by: Мохненко, М.И., et al.
Published: (2015)

Столбчатая структура и оптические свойства пленок ZnO, полученных электрохимическим методом
by: Чертопалов, С.В., et al.
Published: (2010)

Диодные структуры и электрические свойства пленок ZnO, полученных методом атомного послойного осаждения
by: Семикина, Т.В.
Published: (2016)

Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распылении на a-Si
by: Севрюкова, В.А., et al.
Published: (2011)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
by: Brus, V. V., et al.
Published: (2010)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
by: Khoverko, Yu. N.
Published: (2010)

Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe
by: Катеринчук, В.Н., et al.
Published: (2010)

Свойства покрытий из высокоэнтропийного сплава Al–Cr–Fe–Co–Ni–Cu–V, получаемых методом магнетронного распыления
by: Шагинян, Л.Р., et al.
Published: (2016)

Влияние кластеров с металлической проводимостью на электрические и оптические свойства аморфных пленок a-C‹N›
by: Варюхин, В.Н., et al.
Published: (2005)

Структура и оптические свойства пористых плёнок золота и серебра, полученных импульсным лазерным осаждением в вакууме
by: Каганович, Э.Б., et al.
Published: (2012)

Оптические и механические свойства плёнок TbSb
by: Джабуа, З., et al.
Published: (2017)

Влияние электронного облучения на оптические свойства пленок нанокристаллического SiC на подложках из монокристалла Al₂O₃
by: Семенов, A.В., et al.
Published: (2017)

Оптические свойства тонких плёнок диантимонида празеодима золотистой окраски
by: Джабуа, З.У., et al.
Published: (2012)

Использование комплексно-легированных порошков, полученных методом термоцентробежного распыления, в порошковых проволоках
by: Жудра, А.П., et al.
Published: (2014)

Радиационные повреждения и оптические свойства твердых пленок С₇₀
by: Дмитренко, О.П., et al.
Published: (2005)

Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
by: Першин, Ю.П., et al.
Published: (2016)

Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода
by: Изотов, А.И., et al.
Published: (2017)

Электрические свойства пленок BiSrCaCuO (2223)
by: Окунев, В.Д., et al.
Published: (1996)

Адгезия толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода
by: Курапов, Ю.А., et al.
Published: (2015)

Электрические свойства металлических нанопроволок, полученных в квантованных вихрях сверхтекучего гелия
by: Гордон, Е.Б., et al.
Published: (2010)

Оптические свойства радиационно-сенсибилизированных пленок TiO₂ со структурой анатаза
by: Буско, Т.О., et al.
Published: (2008)

Электрические свойства анизотипных гетеропереходов n-TiO₂:Mn/p-CdTe
by: Мостовой, А.И., et al.
Published: (2013)

Влияние морфологии поверхности подложек ZnSe:Te на их оптические свойства
by: Махний, В.П., et al.
Published: (2016)

Влияние температуры обработки на структурные и оптические свойства наноструктурированных ZnO:Al-плёнок, формируемых золь–гель-методом
by: Сидский, В.В., et al.
Published: (2014)

Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe
by: Katerynchuk, V. M., et al.
Published: (2010)

Влияние оксидных добавок на спектрально-оптические свойства моноалюмината гадолиния
by: Габелков, С.В., et al.
Published: (2002)

Свойства гафниевых прутков, полученных методом ковки
by: Волокита, Г.И., et al.
Published: (2002)

Морфология поверхности и тонкая структура толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода
by: Курапов, Ю.А., et al.
Published: (2017)

Процессы переноса электронов, низкотемпературные электрические и гальваномагнитные свойства пленок оксидов цинка и индия
by: Кульбачинский, В.А., et al.
Published: (2015)