Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене

• Опубліковано в: : Вопросы атомной науки и техники
• Дата: 2001
• Автори: Литовченко, С.В., Нечипоренко, Е.П., Чишкала, В.А., Шеремет, В.И., Широков, Б.М.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2001
• Теми: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78263
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене / С.В. Литовченко, Е.П. Нечипоренко, В.А. Чишкала, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 4. — С. 108-110. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Исследован процесс аномально быстрого образования и роста силицидов молибдена при активированном диффузионном насыщении. Предложен механизм регулирования тепловыделения в реакционной зоне. Рассмотрены случаи примесного и беспримесного инициирования процесса. Досліджено процес аномально швидкого утворення та зростання силіцидів молібдену під час активованого дифузійного насичення. Запропоновано механізм регулювання тепловиділення в реакційній зоні. Розглянуто випадки домішкового та бездомішкового ініціювання процесу. The process of molybdenum silicides anomalous rapid forming and growth was studied. The heat emission control mechanism in reactionary zone was offered. The cases of initiation process by doping of admixtures and without them were considered.