Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2001
• Main Authors: Литовченко, С.В., Нечипоренко, Е.П., Чишкала, В.А., Шеремет, В.И., Широков, Б.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2001
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78263
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене / С.В. Литовченко, Е.П. Нечипоренко, В.А. Чишкала, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 4. — С. 108-110. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Исследован процесс аномально быстрого образования и роста силицидов молибдена при активированном диффузионном насыщении. Предложен механизм регулирования тепловыделения в реакционной зоне. Рассмотрены случаи примесного и беспримесного инициирования процесса. Досліджено процес аномально швидкого утво...