Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене
Исследован процесс аномально быстрого образования и роста силицидов молибдена при активированном диффузионном насыщении. Предложен механизм регулирования тепловыделения в реакционной зоне. Рассмотрены случаи примесного и беспримесного инициирования процесса. Досліджено процес аномально швидкого утво...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2001 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2001
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78263 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене / С.В. Литовченко, Е.П. Нечипоренко, В.А. Чишкала, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 4. — С. 108-110. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |