Формирование радиальных потоков сепарированной эрозионной плазмы вакуумной дуги

• Опубліковано в: : Вопросы атомной науки и техники
• Дата: 2001
• Автор: Аксенов, И.И.
• Формат: Стаття
• Мова: Російська
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2001
• Теми: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78296
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Формирование радиальных потоков сепарированной эрозионной плазмы вакуумной дуги / И.И. Аксенов // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 4. — С. 90-96. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.

Исследована система с преобразованием двух встречных потоков вакуумно-дуговой плазмы в радиальный поток, очищенный от макрочастиц. Показано, что по эффективности транспортировки плазмы исследуемая система в несколько раз превосходит другие известные устройства: ионный ток на выходе составляет 8,4% от тока дугового разряда. С применением компьютерного моделирования система оптимизирована в отношении ее фильтрующих качеств. Предложен метод регулировки пространственного распределения плотности выходного потока. Получены образцы "бескапельных" покрытий из TixNy, TiCN, Al2O3, AlN, Ti, Al, Cu. Досліджено систему з перетворенням двох зустрічних потоків вакуумно-дугової плазми в радіальний потік, очищеній від макрочасток. Показано, що ефективність транспортування плазми в системі, що досліджувалася, у кілька разів перевершує цей показник для інших відомих пристроїв: іонний струм на виході становить 8,4 % від струму дугового розряду. З використанням комп'ютерного моделювання систему оптимізовано відносно її фільтруючих якостей. Запропоновано метод регулювання просторового розподілу густини вихідного потоку. Одержано зразки "безкрапельних" покриттів з ТixNу, ТіСN, АІ2О3, А1N, Ті, А1, Сu. A system with transformation of two opposite vacuum-arc plasma flows into a radial flow freed of macroparticles is investigated. It is shown that the system under study greatly surpasses the other known devices in the efficiency of plasma transport: the output ion current makes 8.4% of the arc discharge current. A computer simulation was used to optimize the filtering properties of the system. The method is proposed to control the space distribution of the output flow density. Specimens of "droplet-free" coatings from TixNy, TiCN, Al2O3, A1N, Ti, Al, Cu were obtained.